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Fターム[2G051FA00]の内容

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装飾家具パネル、装飾床積層、壁パネル等のような、多色パターンを有する表面の視覚色印象の最終品質は、依然として、印刷プロセスを使用して実質的に製造される実際の装飾、いわゆる一次装飾において測定することができない。なぜなら、中でも含浸及び比較、保護ニスコーティングのような後続のプロセスによって、いわゆる二次装飾を形成するのに色印象が変化するためである。したがって、そのような製品の場合、印刷プロセスを連続してモニタリングしても、最終製品の色印象又はさらなるプロセスステップの後の色印象に関する、印刷技術を使用して生成される、品質に関連するステートメントを、印刷機に連続して提供することができない。本発明によれば、一次装飾のサンプルのnチャネル画像から色印象特徴を求めると共に、該特徴を二次装飾のための特徴に変換する(直接的な予測)か、又は一次装飾のサンプルのnチャネル画像から二次装飾の画像を計算すると共に二次装飾の画像を使用して色印象特性を計算する(間接的な予測)ために、各装飾に関する習得フェーズ中に、一次装飾のサンプル及び二次装飾のサンプルを使用して予測規則が求められる。 (もっと読む)


【課題】作業者によるバラツキが少なく、確実に照明位置を設定することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】落射照明により照明したウェハの正反射像を撮像する撮像部を備えた表面検査装置を用いて、ウェハの端部近傍を検査する表面検査方法であって、LED照明によるウェハの端部近傍における照明位置を設定する設定工程(S101)と、設定工程(S101)で設定した照明位置へLED照明により照明光を照射する照明工程(S102)と、照明位置において生じる散乱光をフォトダイオードにより検出することで、ウェハの端部近傍における異常を検出する検査工程(S103)とを有し、設定工程(S101)において、撮像部によりウェハの端部近傍の正反射像を撮像し、撮像したウェハの端部近傍の正反射画像を利用してLED照明による照明位置を設定するようになっている。 (もっと読む)


【課題】
微小欠陥を試料にダメージを与えることなく高速に検査すること。さらに大欠陥についても、散乱光量を精度良く検出し、欠陥寸法および欠陥座標を高精度に算出すること。
【解決手段】
互いに異なる複数の照度による照明、あるいは互いに異なる複数の感度の画素による検出により、互いに実効感度の異なる複数の信号を得、それらを選択利用することで、高感度、広ダイナミックレンジ検査を実現する。さらに上記複数の信号を同時並列に出力し、処理することにより、高速検査を実現する。 (もっと読む)


【課題】人手によらずプレス鋼板における微小な凹凸を検出することのできる、表面検査システム及びこれを用いた表面検査方法を提供する。
【解決手段】プレスされた鋼板に向けて赤外光を含む光を照射するライト21と、鋼板に反射した赤外光を含む光を検知するカメラ22と、このカメラ22により撮像された画像から凹凸を検出する画像処理装置3と、この画像処理装置3により算出された情報を出力する出力装置としての表示装置4及び記録装置5とを有する表面検査システム1を構成する。 (もっと読む)


【課題】基板搬送時に振動が発生しても、基板の検査精度の低下を防止できる基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板を一方向に搬送する搬送部、搬送される被検査基板の1次元画像を取得する撮像部、被検査基板を一方向に搬送しながら撮像部により取得された複数の1次元画像を合成して2次元画像を生成する画像生成部と、生成された2次元画像のラインプロファイルから、被検査基板の振動の位相を抽出する位相抽出部と、欠陥のない基準基板を撮影して取得された振動の位相が異なる2次元画像を、振動の位相と関連付けて複数枚記憶する記憶部と、記憶された2次元画像の中から、位相抽出部により抽出された振動の位相に近い位相に関連付けられている画像を基準画像として選択する画像選択部と、画像選択部により選択された基準基板の基準画像と被検査基板の画像とを比較し、被検査基板の表面状態を検査する検査部とを備える基板検査装置を採用する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス100のガラス面/センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス100を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 (もっと読む)


【課題】複数の角度位置での試料画像に含まれる各欠陥を表す部分を単一の画像に集約させて表し、欠陥の属性(位置、形状、大きさ、数等)をより正確に判断することができるようにした検査装置及び方法を提供することである。
【解決手段】表面検査装置及び方法は、回転される半導体ウエーハ10の表面を前記撮像カメラ30にて撮影して得られる複数の角度位置での半導体ウエーハ画像のそれぞれから所定の基準画像を差し引いて差分画像を生成し、前記複数の角度位置での差分画像を角度位置の補正を行いつつ合成して合成画像を生成し、該合成画像から前記試料表面の欠陥を検出するようにした。 (もっと読む)


【課題】表面パターンを含む回折面上の欠陥を検出するための改良された高感度光学検査システムの提供
【解決手段】本発明のシステムは、回折面上の所定の領域を照射して、欠陥または表面パタンに応答して散乱強度分布を生成する第1および第2の照射手段と、回折面のまわりの複数の位置において散乱強度分布の強度レベルを検出する手段と、検出された最小強度レベルを確定する手段と、検出された最小強度レベルが閾値強度レベル未満である場合に回折面の照射領域上に欠陥が存在しないことを示し、検出された最小強度レベルが閾値強度レベルを超える場合に回折面の照射領域上に欠陥が存在することを示す、検出された最小強度レベルに応答する手段と、回折面を移動させ回折面上に走査パターンを生成し表面全体を検査する手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止する。
【解決手段】基板Pを検査する検査ユニット50と、この検査ユニット50に手動で基板Pを供給可能な基板供給ユニット24と、上記基板Pの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ4とを備えた基板の検査装置1において、上記基板Pに付与される識別情報を認識するカメラ52と、このカメラ52を通じて取得された識別情報に基づいて上記基板Pの検査履歴を確認するとともに、その基板Pが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ4にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット50による基板Pの検査動作の実行を禁止するように制御するコントロールユニット60とを設ける。 (もっと読む)


【課題】カメラで撮像した画像を処理する画像処理装置において、検査処理の高速化を図ると共に、対象物の画像処理の判定データと撮像画像の画像データの整合性を高める。
【解決手段】画像処理装置1は、撮像装置2により撮像された対象物の画像データに画像番号を付加し画像処理部4と画像表示部5に分岐転送する画像分岐部31と、この画像データの画像検査の判定データに画像番号を付加して画像表示演算部52に伝送する画像処理演算部42と、この画像データを表示画像として記憶する表示画像保持部54とを備える。画像表示演算部52は、判定データの画像番号と同じ番号の画像データを表示画像保持部54で検索し、この画像データに判定データを重畳して表示出力を行う。これにより、画像処理と画像表示の並列処理による検査処理の高速化が図れると共に、判定データと撮像画像の画像データとを確実に整合して表示出力することができる。 (もっと読む)


【課題】基板に印刷されたシルク印刷パターンを高い精度で検査することができるようにする。
【解決手段】基板の画像を取得する画像取得部と、画像取得部が取得した基板の画像からシルク印刷パターンの画像を切り出すシルク領域切り出し部と、シルク領域切り出し部が切り出したシルク印刷パターンの画像を保存する切り出し画像格納部と、シルク印刷パターンのCAD画像を読み込むCAD画像データ読み込み部と、CAD画像データ読み込み部が読み込んだCAD画像と、シルク印刷パターンの画像とをずらしながら一致度合いを集計する手段と、ずらした座標に対して一致度合いの集計結果を格納する照合結果格納部と、照合結果格納部に格納された集計結果からシルク印刷パターンのずれ量を判定する位置ずれ判定部と、位置ずれ判定部が判定したシルク印刷パターンのずれ量に基づいてシルク印刷パターンの不良を判定する不良判定部とを有する。 (もっと読む)


【課題】材料の表面粗さ、色相などにより生じる縞模様や加工後のバリを外観不良として誤検出しない生産性の高い外観検査方法を提供する。
【解決手段】予め登録しておいた基準画像(s−1)と、n回目の検査対象物2の検査画像(n)との差異を比較して良否の判定を行う電子部品の外観検査方法であって、良品と判定された前記検査画像(n)のみを新たに基準画像(s)として順次更新登録するプレス加工品2の外観検査方法であり、良品の検査画像(n)を常に最新の基準画像(s)として次の検査画像(n+1)とを比較判定を行うため、同一ロット内で生じる経時的な緩やかな揺らぎを外観不良として誤検出しない。 (もっと読む)


【課題】ウェハの表面の膜厚のムラや膜の欠損等の異常を高速度で検査でき、かつ安価なウェハ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ10に形成された膜の検査方法において、所定の位置にウェハ10を載置し、ウェハ10に対し垂直に置かれた平板光源19で、ウェハ10の全体を含みウェハ10の幅より大きい領域を略均一に照射し、ウェハ10の領域外に位置するカメラ18で、ウェハ10の全体より大きい視野でウェハ10の表面を撮影し、ウェハ10の表面の色が変化している部分を膜のムラがある部分や膜の欠損している部分と判断した。 (もっと読む)


【課題】凹凸性筋状欠陥が帯状体の表面のどの位置に存在してもその検出が可能となり、かつ、凹凸性筋状欠陥を人間が認知することが容易なパタンとして可視化することが可能な表面欠陥検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥検出装置1は、帯状体Sの表面に対し、明暗マルチストライプパタンの光を、そのストライプの延びる方向が帯状体Sの流れ方向に対して斜傾する方向となるように照射する照明手段2と、帯状体Sの表面からの反射光を撮像する撮像手段3とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電極部とはんだ付け部分における接合部の検査,接合状態の良否判定の確度および信頼性を高める。
【解決手段】レーザ光Loによるスキャニングが電極部21先端からはんだ22に切り替わる第1のスキャナライン(電極部先端の測定,検知データの1ドット目)の高さ画像によって、電極部21近傍のはんだ高さhを計測する。電極部21の回路基板15からの高さをT、電極部21の厚さをtとすると、(T−t)によって電極部21下面の回路基板15からの高さ(電極下面高さ)Δtが得られる。そして、電極下面高さΔtとはんだ高さhとを比較して、h>Δtであれば電極部21の下面とはんだ22の上面とが接合していることになる。よって、h>Δtであればはんだ接合が良であり、h<Δtであれば不良と判断する。 (もっと読む)


【課題】 限られたタクトタイムにおいても正確に判定できるようにすること。
【解決手段】 欠陥検査装置は、供試体の表面を撮像して原画像を取得し(ステップA1)、原画像に基づいて注目画素とその周辺画素の輝度値の平均値を算出し、算出した平均値と前記注目画素の輝度値とを入れ替えたフィルタ処理画像を作成し(ステップA2)、前記原画像の画素の輝度値から対応する前記フィルタ処理画像の画素の輝度値を減算した差分処理画像を作成し(ステップA3)、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上の場合に当該画素の輝度値を1に入れ替えるとともに、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上でない場合に当該画素の輝度値を0に入れ替えた2値化処理画像を作成し(ステップA4)、前記2値化処理画像に対して欠陥の有無を判定する(ステップA5、A6)。 (もっと読む)


【課題】
薄膜デバイスを対象とした自動欠陥分類機能を有する外観検査装置において、欠陥分類の条件だしを行うための欠陥種教示を短時間で実現する。
【解決手段】
本発明は、光学式あるいは電子式欠陥検出手段により取得される検査画像に基づいて、比較検査により欠陥を検出すると同時にその欠陥の特徴量を算出し、分類条件設定手段に予め設定した分類条件に従って欠陥分類を行う外観検査方法及び装置であって、前記分類条件設定手段は、予め欠陥検出手段より得られる多数の欠陥に亘る欠陥の特徴量を収集し、該収集された多数の欠陥に亘る欠陥特徴量分布に基づいて欠陥のサンプリングを行い、サンプリング欠陥のレビュー結果に基づいて欠陥分類条件を設定する構成とする。 (もっと読む)


【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム7の下側の面に光源部15を配してあり、フイルム7に光を照射する。フイルム7からの透過光を受光する受光器16は、フイルム7を俯瞰するように配置されており、その光軸Pとフイルム7に垂直な基準線(法線)Lnと交差角度θ1が30°≦θ1≦50°となっている。また、受光器16は、基準線Lnを回転中心として搬送方向Sを基準に回転角度θ2だけ回転してあり、−60°≦θ2≦+60°を満たすようになっている。 (もっと読む)


【課題】 半田材の劣化状態を容易に評価することができる半田材検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半田材検査装置は、スキージ13とマスク14との、それぞれの表面に接するように半田材15が介在している状態から、スキージ13とマスク14とが引き離された状態において、当該スキージ13とマスク14との間に位置する半田材15へ光を出射する投光部11と、半田材15を通過した通過光を受光する受光部12とを備えている。これにより、半田材15の劣化状態を容易に評価することが可能となり、特に、インラインにおける半田材15の劣化評価に有効である。 (もっと読む)


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