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【課題】複数の検査対象部位を有する検査対象物の検査を行う場合でも、各検査対象部位に対してそれぞれ適切に照明して、検査精度を良好に維持しつつ検査時間を短縮する。
【解決手段】互いに異なる色の光を出射する複数の光源装置LG、LB、LRと、各光源装置からの光を変調する空間光変調素子25と、空間光変調素子からの光を基板Sの被検査面Saに投射する投射光学系28と、空間光変調素子を所定の映像信号にしたがって制御することにより、投射光学系からの光の投射パターンを形成する画像表示制御部74とを備え、投影パターンを形成するための映像信号は、被検査面における検査対象部位の位置情報に基づき生成され、これにより、空間光変調素子制御部が、検査対象部位に対応する画像領域を含む投射パターンを形成する構成とする。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板K0上にモリブデン層K1が形成されると共にモリブデン層K1上に薄膜K2,K3が形成された基板Kの、薄膜K2,K3側から形成されたパターニングを検査する検査装置1であって、移送中の基板Kのガラス基板K0側に光を照射する下部照明10と、移送中の基板Kの薄膜K2,K3側に光を照射する上部照明20とを設けると共に、基板Kを透過する下部照明10の光軸P上で且つ基板Kで乱反射する上部照明20の光軸D上に配置された第1ラインセンサカメラ11と、基板Kで正反射する上部照明20の光軸S上に配置された第2ラインセンサカメラ21とを設け、ラインセンサカメラ11,21で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン12及び擦れ検査用パソコン22を具備する。 (もっと読む)


【課題】ヒストグラムを目視で確認しつつ、検査対象物の良否を判定する基準である判定閾値を容易に設定することができる画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法を提供する。
【解決手段】撮像部で撮像された検査対象物の画像と、事前に記憶してある検査対象物と比較する基準となるマスタ画像との一致度を算出する。複数の検査対象物について算出した一致度の度数分布を示すヒストグラムを表示し、撮像部で撮像された検査対象物について算出した一致度を、表示されたヒストグラムに対応付けて表示する。ヒストグラムと一致度とが同じ画面上に表示された状態で、検査対象物の良否判定に用いる閾値を設定する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の部分画像データを検査に用いる場合であっても、検査対象物の特徴部分まで視認することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像部と、該撮像部で撮像して取得した画像データに対して圧縮処理を実行して圧縮画像データを生成する圧縮処理部と、検査のための画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、取得した画像データの一部である部分画像データを生成し、画像処理に用いる画像データとして、圧縮画像データ又は部分画像データのいずれかの選択を受け付ける。画像処理部は、選択を受け付けた圧縮画像データ又は部分画像データを用いて、検査のための画像処理を実行する。 (もっと読む)


【課題】検査に必要な画像データを、撮影条件を変更しながら複数回撮影することにより、適正な画像データを用いた高精度な検査装置を得る。
【解決手段】撮影条件の異なる複数の画像を撮影する撮像手段2と、撮像手段2の撮影画像を複数の領域に分割して符号化する符号化手段3と、符号化手段3の符号化データを複数画像分だけ格納する記憶手段4と、記憶手段4に格納された符号化データを送信する送信手段5と、送信手段5からの符号化データを復号する復号手段9と、復号手段9により復号された画像から被写体の検査を行う検査手段10と、検査手段10からの検査命令および送信命令に応答して記憶手段4内の符号化データを検査手段10へ送信する制御手段6とを備える。検査手段10は、記憶手段4に格納された符号化データのうち、複数の画像データの中から任意の領域を指定して送信させる。 (もっと読む)


【課題】 リファレンス画像に基づき印刷した印刷物を検査する際に、印刷物を読み取った印刷画像とリファレンス画像との位置合わせを行うと、リファレンス画像によっては位置合わせの精度が低い場合があり、検査精度が低下する。
【解決手段】 リファレンス画像と印刷画像との位置合わせを行って印刷物の検査を行う処理、または、位置合わせを行わずに印刷物の検査を行う処理を、リファレンス画像の特性に基づいて選択する。 (もっと読む)


【課題】 印刷途上において、簡便に欠陥分類の調整を行うことが可能な画像検査装置を提供する。
【解決手段】 画像像検査装置100は、印刷用紙5の第1面51に形成された印刷画像の検査を行う第1面検査処理部70と、印刷用紙5の第2面52に形成された印刷画像の検査を行う第2面検査処理部80と、印刷結果情報等を保存する記憶手段90と、オペレータによる入力部62からの選択操作を受け付けて、第1面撮影画像、第2面撮影画像、第1面検査処理部70および第2面検査処理部80の検査結果等のうち選択された内容を所定の表示態様で表示部61に表示する表示制御部92を備える。 (もっと読む)


【目的】インテグレータレンズによって形成される複数の集光点に起因した光学素子の劣化を回避可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置100は、レーザ光を発生する光源103と、レーザ光を入射し、入射されたレーザ光を分割して光源群を形成するインテグレータレンズ206と、インテグレータレンズの入射面の手前に配置され、インテグレータレンズに入射するレーザ光を散乱させる散乱板204と、インテグレータレンズを通過したレーザ光を照明光として用いて、複数の図形パターンが形成された被検査試料におけるパターンの欠陥を検査する検査部150と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】箱体の姿勢にかかわらず接合部の精度を正確に検査でき、箱体の形状精度や印刷品質、異物の有無も同時に検査することができ、検査スペースの効率化を図ることができる品質検査装置を提供する。
【解決手段】接合部を挟んで隣り合う2つの領域を撮像する撮像手段3と、照明手段4と、基準形状データ記憶部、及び基準画像データ記憶部を有する記憶手段50と、撮像される画像に基づき形状データを検出し、各領域の基準形状データと対比することにより各領域のずれ量を算出し、各領域の形状精度の良否を判定する形状精度判定手段と、形状精度判定手段により算出される各領域のずれ量に基づき、当該箱体の接合精度の良否を判定する手段と、撮像手段により撮像される画像に基づき各領域の画像データと基準画像データ記憶部に記憶された各領域の基準画像データとを対比することにより各領域の印刷品質の良否及び異物の有無を判定する手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板検査用マスタデータ作成方法は、部品Pa1〜Pa8を実装した基板Bを検査する際に用いられ、複数の部品Pa1〜Pa8に対して共用されるマスタデータL1〜L4を作成するデータ作成工程と、基板Bを検査して、作成したマスタデータL1〜L4の妥当性を検証する検証工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】原子力容器の外観検査のためのシステムおよび装置を提供する。
【解決手段】システムは、原子力容器101の中の領域へ移動可能である、潜水可能に遠隔作動される車両(SROV)システム105を含む。SROVシステム105は、原子力容器コンポーネントの外観検査のための操縦可能な検査カメラ組立体を含み、検査カメラ組立体は、SROVシステム105に関連して操縦可能である。また、システムは、原子力容器の中の領域から離れた領域に配置された制御システム115も含む。制御システム115は、SROVシステム105の移動および検査カメラ組立体の操縦を制御するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】プレスキャン機能を実施することによって、表面欠陥が存在するときの光ディスク再生デバイスの読み出し性能を向上させる。
【解決手段】光ディスク再生デバイスは、第1および第2のレーザと、光学アセンブリと、第1および第2の光学検波器と、光学検波器に結合されたコントローラ回路とを備える。光学アセンブリは、第1および第2のレーザからの入射光を光ディスクの表面上にそれぞれ前走査スポットおよび後走査スポットを形成するように導くように構成され、さらに、光ディスクの表面上の前走査スポットおよび後走査スポットからの対応する反射光をそれぞれの光学検波器に導くように構成される。コントローラ回路は、後走査スポットが光ディスクの表面欠陥に到達する前に前走査スポットに関連する反射光を処理することによって光ディスクの表面欠陥を識別するように構成される。 (もっと読む)


【課題】ユーザそれぞれが、自身がその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように、そのレシピの存在自体も含めてレシピの設定内容を隠蔽しておくことができる検査装置及びその隠蔽方法を提供する。
【解決手段】ユーザそれぞれが、自身の閲覧設定画面500上でその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ID情報を生成するレシピ隠蔽情報作成機能部116と、ユーザそれぞれの閲覧設定画面500を表示する際、隠蔽ID情報ファイル240に格納されている隠蔽ID情報に基づいて、ユーザそれぞれの閲覧設定画面500の生成のためのレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部120とを備える。 (もっと読む)


【課題】検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得するが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】後処理手段111のブロック化手段300は前処理手段からのデータを任意のデータ数で1ブロックとし1ブロックで1データを取り出す。ブロック化手段300は状態監視手段302の指示でブロック化数を変更する。閾値処理手段301は設定閾値に従いブロック化手段300からのデータに対し閾値を越えた場合にデータを取得しメモリ303へ送る。状態監視手段302はメモリ303の空容量を監視しメモリ303内の空き容量の減少を検知した場合ブロック化手段300に対し、メモリ303がオーバーフローしないように1ブロックのデータ数を増加させる。 (もっと読む)


【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ6により砥石3の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部123により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部124の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石3の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石3の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 (もっと読む)


【課題】電線・ケーブルの表面印刷を、電線・ケーブルの条長や押出速度の制限なく全長確認することができ、印刷不具合箇所の見逃しを抑制可能な電線・ケーブルの表面印刷検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】電線・ケーブル2の表面印刷3の不具合を検査する電線・ケーブルの表面印刷検査方法であって、走行中の電線・ケーブル2の表面印刷3をカメラ4で順次撮影すると共に、カメラ4で撮影した画像を記憶しておき、記憶した画像を複数並べた複合画像10を生成すると共に、その複合画像10を順次モニターに表示することで、表面印刷3の不具合の検査を行う。 (もっと読む)


【課題】不良が生じている検査ポイント、および正常な検査ポイントを確実かつ容易に認識させる。
【解決手段】検査結果表示装置2は、個別的に付与された基板情報が二次元コードによって基板表面に記されると共に各検査ポイント毎の検査結果データD1が基板情報に関連付けて記録されている被検査基板10を撮像して撮像データD2を出力する撮像部21と、データD2に基づいて、データD2の画像内における二次元コードの位置決め用シンボルの位置を特定すると共に、被検査基板10における位置決め用シンボルと各検査ポイントとの位置関係を特定可能な位置データD0に基づいてデータD2の画像内における検査ポイントの位置を特定し、かつ、データD1に基づいて特定した各検査ポイント毎の検査結果を示す結果表示をデータD2の画像内における検査ポイントの位置に重ねた検査結果表示画面を表示部24に表示させる処理部25とを備えている。 (もっと読む)


【課題】第1撮像部による撮像画像では印刷物の全領域を認識可能であり、第2撮像部による撮像画像では印刷物に利用される特殊インクの部分のみを認識できる印刷物の印刷状態を検査する。
【解決手段】第1検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第1画像を撮像し、第1検査光と異なる波長の第2検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第2画像を撮像し、第1画像上で所定の印刷内容の位置を特定するとともに該印刷内容の位置に基づいて印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第1画像に含まれる印刷内容の検査を行うとともに、第1画像で特定された印刷物の範囲と検査基準マークとの相対的な位置関係に基づいて第2画像上で印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第2画像に含まれる印刷内容の検査を行う。 (もっと読む)


【課題】ウェブの特徴付けのためのシステムを提供する。
【解決手段】材料のウェブ30をマーキングするシステムであって、基準マーク40をウェブに適用する基準マーカと、基準マーク40に対して識別された領域を定位する位置情報を決定する検査モジュール24と、基準マーク40から定位情報を読み取るとともに提供する基準リーダ62と、ウェブに位置特定マークを適用するウェブマーカ64と、欠陥を構成する異常のうちの少なくとも一つの位置を識別する位置特定マークをウェブに適用するようにウェブマーカを制御するウェブマーカコントローラ60と、基準マーク40の各々が、ウェブ30内の特定の位置に厳密に位置している1つ以上の基準位置特定マークと、各基準位置特定マーク用の一意の識別子を符号化するバーコードと、を含む、システム。 (もっと読む)


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