【課題】印刷検査によって取得される印刷状態計測情報に基づいて印刷不良の原因解析を合理的且つ容易に行うことができる印刷状態不良原因の解析装置および解析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷検査装置Ｍ２による印刷検査において基板３のランドに印刷されたペーストの平面形状における面積値の正規の印刷面積に対する比率を示す面積率を複数のランドのそれぞれについて求めた面積率計測データ２３ａを、解析用データ作成プログラム２３ｂに規定された所定の処理アルゴリズムにしたがってデータ処理して、基板に印刷されたペーストの印刷状態の不良原因を解析するための解析用データを作成し、作成された解析用データを予め設定された不良原因特定用のデータテーブル２３ｅと対比して印刷状態の不良原因を特定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、印刷物の印刷状態の良否を判定する処理の効率性を向上させることを目的とする。
【解決手段】印刷装置は、複数の印刷媒体に同一の画像を印刷する印刷部と、複数の印刷媒体に印刷された画像をそれぞれ読み取る読取部と、読取部により読み取られた画像をそれぞれ記憶する記憶部と、印刷部により画像が印刷された印刷媒体の所定の枚数ごとに、読取部により読み取られた画像と、予め設定されている比較画像とを比較して印刷媒体に印刷された画像の印刷状態を判定し、画像の印刷状態が悪いと判定すると、記憶部に記憶されている画像を用いて、判定をおこなった画像より時間的に前に印刷部により印刷された画像について印刷状態の良否を判定する判定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
周期構造物の構造を早くかつ正確に把握する方法を提供する。
【解決手段】
仮想周期構造物を設定して、前記設定された仮想周期構造物を多数の層に分けて、リープマン−シュウィンガー積分方程式をＭ次内挿法で離散化させて前記仮想周期構造物に対する反射率または透過率に対する物理量を計算する工程を含む、周期構造物分析方法に対するもので、Ｍ次内挿法を用いてより早い時間内により正確な非破壊検査ができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプにおける蛍光塗膜の検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる蛍光ランプ検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置は、蛍光ランプに対して光を照射する照明装置と、当該照明装置からの直接光及び蛍光ランプを透過した透過光を受光し、輝度値を含む画像データとして出力するＣＣＤカメラと、得られた画像データに基づき、蛍光塗膜の良否を判定する演算装置とを備えている。演算装置は、露光時間ｔ₁で撮像した第１画像データから検査領域の輝度値Ｙ_1wを取得し、露光時間ｔ₁よりも短い露光時間ｔ₂で撮像した第２画像データから背景領域の輝度値Ｙ_2bを取得し、当該両輝度値Ｙ_1w，Ｙ_2bを基に、第２画像データに係る検査領域における光の透過率α／βを算出し、当該透過率α／βに基づき、蛍光塗膜の膜厚の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】マスク欠陥検査装置の欠陥検出感度を評価するために用いられる評価用マスクに作り込まれた評価用パターンの欠陥サイズを精度良く算出することが可能な欠陥検出感度評価用パターンの欠陥サイズ算出方法及び感度マスクの作成方法を提供する。
【解決手段】感度マスクに設計寸法で形成された基準パターン１１ｓの寸法Ａ２と、基準パターン１１ｓ周辺に形成された周辺パターン１２ｓの寸法Ｂ２と、設計寸法から所定寸法だけ異なるように作り込まれた評価用パターン１１の寸法Ａ１と、評価用パターン１１周辺に形成された周辺パターン１２の寸法Ｂ１とを測定する。寸法Ｂ１に対する寸法Ｂ２の比率を評価用パターン１１の寸法Ａ１に乗算した値と基準パターン１１ｓの寸法Ａ２との差分を、評価用パターン１１の欠陥サイズとして算出する。 （もっと読む）

【課題】データ処理システムのヒート・シンク中の目詰まりを識別する方法、データ処理システムおよびコンピュータ・プログラム製品を提供する。
【解決手段】電磁エミッタと電磁ディテクタとがヒート・シンクの両反対側に配置される。該電磁エミッタから向けられた電磁放射のストリームの強度が該電磁ディテクタによって測定される。電磁ディテクタが測定した電磁放射のストリームの測定強度に基づいて、ヒート・シンクの目詰まりレベルが算定される。ヒート・シンクの目詰まりレベルが目詰まり閾値を超える場合には警報が発生される。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面に存在する欠陥を高い精度で検出することができる表面欠陥の検出方法を提供する。
【解決手段】表面欠陥の検査方法であり、撮像処理と、第１平滑化処理と、マッチング処理と、第２平滑化処理と、欠陥検出処理を備える。撮影処理は、被検査体を撮影した検査画像を取り込む。第１平滑化処理は、検査画像にガウスフィルタをかける。マッチング処理は、ガウスフィルタリング後の検査画像を基準画像と照合し、ガウスフィルタリング後の検査画像における被検査体の位置を基準画像における基準検査体の位置に位置合わせする。第２平滑化処理は、位置合わせされた検査画像に移動平均フィルタをかける。欠陥検出処理は、検査領域の画像と基準画像の差分を計算し、差分が予め定められた許容範囲から外れる被検査体の位置を特定する。欠陥検出処理で特定された位置が表面欠陥の発生している箇所に相当する。 （もっと読む）

【課題】
欠陥解析の終了を待たずに画像の欠陥検出を実行できるようにして、検査スループットの低下防止を図ることができる外観検査方法、及び、外観検査装置を得る。
【解決手段】
予め定義された画像取得の順序と検査対象領域とに基づいて、基板の検査画像を一時格納するメモリのうちの空き状態のバンクに送信された画像を格納して欠陥検出を実行し、欠陥検出の実行状況を監視し、欠陥検出の処理が最も進んでいる画像から欠陥解析を順次実行し、バンクから当該画像を削除して該バンクを解放し、次の画像を格納する。 （もっと読む）

【課題】様々に半径の異なる円盤状物体の撮像画像に発生する歪みを低減し、精密な画像を容易に取得することができ、かつ低コスト化が実現できる撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の撮像装置２０は、少なくともライン領域１ａを撮像できるセンサ１を備え、円形の平面に光学的に識別可能な模様を有する円盤状物体４の円形の平面をセンサ１で撮像するための撮像装置２０であって、２つの、支持面２ａを有する支持具２と、円盤状物体４の周面を押さえつけるために移動し、円盤状物体４を回転させるために回転する円形の回転装置３とを備え、２つの支持面２ａが、ライン領域１ａを軸として対称に配置され、撮像される円盤状物体４を２つの支持面２ａと回転装置３とで挟み、回転装置３が円盤状物体４を回転させている間に、円盤状物体４を所定の時間の間撮像するので、撮像装置２０は歪みを低減した精密な画像を容易に取得し、かつ低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】光学式センサ装置の設置状態を、煩雑な作業を要することなく確認できるようにする。
【解決手段】光学式センサ装置では、受光器４のＣＣＤにおいて撮影された計測画像（ワーク５０上に異物５１が配置されている状態での画像）とリファレンス画像（ワーク５０上に異物５１が配置されていない状態での画像）の差分が算出され、当該差分に基づいた画像が表示される。作業者は、当該画像に基づいて、たとえば異物５１の有無が両画像の差分に現れているか否か等の判断を行なうことにより、その時点での投光器３と受光器４の光軸が合っているか否かの判断をすることができる。 （もっと読む）

【課題】船に搭載可能であり、熟練した作業員が分別した場合と同程度の判別率を有し、高速な分別作業も可能とする貝分別方法を提供する。
【解決手段】シジミ貝を判別台の上に載置する載置工程Ｓ１０１と、載置工程で載置された貝に対して、片側から近赤外光を照射し、反対側から貝の透光画像を撮像する撮像工程Ｓ１０２と、撮像工程で撮像された画像に基づいて、画像を、回転、反転、移動、階調変換等必要な処理をおこなって判定用画像を作成する判定用画像作成工程Ｓ１０３と、判定用画像作成工程で作成された画像を入力し、あらかじめ作成しておいた解析アルゴリズムに基づいて情報処理を行い、当該画像にかかる貝が出荷に適しているか否かを判定する判定工程Ｓ１０４と、判定工程で適否の判定された貝をそれぞれ分別する分別工程Ｓ１０５と、を含んだことを特徴とする貝分別方法。 （もっと読む）

【課題】試料セルの取り外しを要せず、簡単且つ正確に試料セル内壁の異常を検出できる半導体製造システム用分析装置を提供する。
【解決手段】異なる２種類の液体を選択的に収容する試料セル１と、前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セル１に照射する光照射部２３ａと、前記各液体を前記試料セル１にそれぞれ収容した状態で、前記光照射部２３ａの照射により前記試料セル１を透過してくる光を検出する光検出器２３と、前記光検出器２３で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セル１の汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部２３ｅと、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置の検査において繰り返しパターンを有する検査対象領域が高倍率で
検出される場合でも検査精度を上げることのできる検査方法を提供する。
【解決手段】検査領域は、それぞれ、移動装置にて電気光学装置を複数回移動させてその
移動される毎に撮像装置にて撮像することで全体が撮影可能な大きさに形成されている。
検査装置は、検査領域内に設定された検査対象エリアを記憶する記憶手段を有し、記憶手
段から検査対象エリアを読出して、移動装置と撮像装置とを制御して隣接する２つの検査
領域における検査対象エリアの画像データをそれぞれ取得し、両検査対象エリアの画像デ
ータを比較して各検査領域を検査する。 （もっと読む）

【課題】記録材の種類の判別制度を維持しつつ、判別処理にかかる時間を短縮する判別装置を提供する。
【解決手段】記録材に光を照射する発光部と、複数の撮像素子を有し、記録材によって反射された光を該撮像素子で受光して記録材表面の画像を撮像するセンサ部と、撮像された画像を、所定方向に並んだ複数画素を有する画像データに変換する変換手段と、複数画素のうちの第１の画素と第２の画素の各々の濃度値の差を積算する演算手段とを有し、演算手段によって演算された濃度値の積算値に基づいて記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の検査において、目視検査により近い条件にて検査を行うことを可能とする外観検査装置を提供する。
【解決手段】円筒体外観検査装置において、回転部６は、円筒体被検査試料１を回転させる。照明部７は、円筒体被検査試料１の円筒面正常部をカメラ５により撮像した撮像画像に円筒体軸に平行となる縞模様が写るように配置される。カメラ５は、円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、縞模様を含む円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力する。画像処理装置は、カメラ５からの複数の画像データから複数の展開画像データを再構成する画素ラインの中で予め定められる画素ラインの画素を再構成して円筒面に対応する展開画像データを生成し、生成した展開画像データから円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し検査する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に欠陥等の問題箇所の状態及び検査対象上の問題箇所の位置をリアルタイムで検査する。
【解決手段】内視鏡２の光源ユニット５は、可視光を発光する可視光ＬＥＤ光源６と、紫外光を発光する紫外光ＬＥＤ光源７とから構成され、内視鏡２の挿入部先端内に配置される。装置本体部４は、内視鏡２の光源ユニット５の可視光ＬＥＤ光源６及び紫外光ＬＥＤ光源７の光量を、それぞれ独立に調節する可視光量調節部１１及び紫外光量調節部１２を有している。可視光量調節部１１及び紫外光量調節部１２は、装置本体部４の可視光量調節ボタン部１５、紫外光量調節ボタン部１６の操作状態に応じて、ＣＰＵ１３により制御される。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＤデータの形状とホールパターンの形状が大きく異なる場合でも、正確に位置情報を検出するパターンマッチング装置を提供する。
【解決手段】ホールパターンを撮影した画像データ１０５と、対応するＣＡＤデータ１０４と、を入力可能とする信号入力インターフェース１０１と、中心位置検出データ１１１を生成するＣＡＤホールパターン中心位置検出手段１０７と、画像データからパターンデータ１１２を抽出するパターン抽出手段１０８と、中心位置データ１１３を生成する画像ホールパターン中心位置検出手段１０９と、中心位置データ同士の照合処理により、ＣＡＤデータに対応する画像データの位置データ１１４を検出する照合処理手段１１０と、で構成されたデータ演算部１０２と、位置データを出力する信号出力インターフェース１０３と、で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 多種多様な被検体を位置決めすることなく短時間に検査でき、被検体以外の領域からの蛍光の影響を受けずに被検体の微細な傷を高いＳ／Ｎ比で容易に検出でき、かつ検出した傷の大きさと被検体上の位置を容易に特定できる蛍光探傷装置および蛍光探傷方法を提供する。
【解決手段】 蛍光探傷装置１０は、暗室１４、ブラックライト１６、白色ストロボ１８、ロングパスフィルタ２０、撮影カメラ２２及び画像処理装置２４を備える。暗室内で、検査位置に静置した被検体１に蛍光探傷用の近紫外線２を照射し、ロングパスフィルタ２０を通して被検体を撮影して蛍光静止画像５を取得する。また、時間をずらして同一位置から、被検体１に可視光３を照射し、ロングパスフィルタ２０を通して被検体１を撮影して可視静止画像６を取得する。さらに蛍光静止画像５と可視静止画像６を画像処理により重ね合わせて重合せ画像７を表示する。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト部同士が遮光部を介して隣接する遮光パターンを有する補助パターン型位相シフトマスクのパターン欠陥検査において、描画用パターンデータを的確に補正してパターン検査用データとし、パターン欠陥検査装置により得られる画像データに対するパターン検査用データの相違が生じないようにし、これらパターン検査用データと画像データとの比較により精度よく欠陥を検出する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置を用いて検査光により遮光パターンの画像データを得る工程と、遮光パターンの描画用パターンデータを少なくとも遮光部を介して隣接する位相シフト部間の距離に応じて位相シフト部及び非位相シフト部を通過する検査光強度の相違による遮光パターン像の寸法変化に基づく補正を加えたパターン検査用データに変換する工程と、画像データとパターン検査用データとを比較して位相シフトマスクのパターン欠陥を検出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物外観を光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及び方法に関する。
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは、検査対象物が提供される巻き出し部と、 前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部と、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判定されたユニットを表示するマーキング部と、検査を終えた前記検査対象物が巻かれる巻き取り部とを含み、前記ビジョン検査部は互いに異なる視野を有して前記フィルムテープを撮像する撮像部材を含む。このような構成を有する本発明によると、より高い検査品質を得ることができ、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。 （もっと読む）