凍結乾燥プロセスのパラメーターは、真空ポンプ排出物内の痕跡材料を測定することによって監視される。測定は、音響光学分光法、マルチパスキャビティエンハンスト吸収分光法（ＣＥＡＳ）、及びキャビティリングダウン分光法（ＣＲＤＳ）等の技法を使用して行われる。この技法は、凍結乾燥シェルフの漏れ、凝縮コイルの漏れ、室内の雰囲気からの漏れ、及び残留清浄材料の存在等の問題を診断するために使用することができる。この技法は、２次乾燥プロセスの排出物内の水蒸気の存在を監視するために使用することもできる。
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【課題】搬送用のガス捕集袋に必要とされるＶＯＣガス等保存性能ならびに強度および柔軟性に優れたガス捕集袋用積層材および該積層材を用いたガス捕集袋を提供する。
【解決手段】ガス捕集袋用積層材は、試料ガスを搬送するために用いられるガス捕集袋用積層材であって、エチレン含有量が３５〜５５モル％のエチレンビニルアルコール共重合体（Ａ）からなる内層と、エチレン含有量が２５〜３５モル％のエチレンビニルアルコール共重合体（Ｂ）からなる外層とを積層してなる。 （もっと読む）

【課題】シンプルで操作や取り扱いが簡単な構造の濃縮器によって、サンプルガスを濃縮して測定する。
【解決手段】サンプルガスＳＧを濃縮する濃縮器１は、非多孔膜中空糸を多数本束ねた分離フィルタ１２を備えており、サンプルガスＳＧを分離フィルタ１２に通過させて濃縮サンプルガスＳＧ１とする。さらに、分離フィルタ１２は収容管１１に収容されており、分離フィルタ１２の長手方向が収容管１１の長手方向に向けて配置されている。 （もっと読む）

【課題】多数の用途で使用できるとともに、特に、ガス分析器につながることができる、簡略化したガス採取装置を提供する。
【解決手段】高真空気密ケーシングを含むガス採取装置であって、高真空気密イオン化チャンバが形成されており、前記イオン化チャンバはイオン化されるべきガス用の入口の第１の穴を通してイオン化チャンバの外部の環境に通じているとともに、イオン化チャンバはイオン化されたガス用の出口の第２の穴を通してイオン化チャンバの下流の環境に通じており、前記第１の穴は、ナノメートル程度の直径を有する少なくとも１つのナノホールが設けてある高真空気密膜を用いて、イオン化チャンバの外部の環境から分離されており、前記ナノホールは実質的に直線的な軸に沿って膜を貫通している、ガス採取装置。 （もっと読む）

【課題】ケミカル汚染物質の定量的な評価を可能にするケミカル汚染物質の汚染評価方法を提供すること。
【解決手段】クリーンルームにおけるケミカル汚染物質の室内濃度と、クリーンルームにおいてケミカル汚染物質が基板に吸着される確率を示す吸着係数とを用いたケミカル汚染物質の汚染評価方法であって、分子動力学計算により各種データを算出する分子動力学計算工程（ステップＳ１）と、分子動力学計算工程において算出された各種データを用いて吸着係数実験補正値を算出する吸着係数実験補正値算出工程（ステップＳ２）と、吸着係数実験補正値算出工程において算出された吸着係数実験補正値から吸着係数を算出する吸着係数算出工程（ステップＳ３）とを有しているので、実験を行うことなく、吸着係数を求めることができる。 （もっと読む）

本発明は、分析されるべき気体の濃度を判定するための気体分析装置を備える、半導体基板の輸送容器内の気体の汚染を測定するためのステーションであって、前記分析装置が、希釈係数（Ｄ）によって分析されるべき気体の流れ（Ｑ）を希釈するように構成された希釈ユニット（３）と、ポンピングによって希釈された気体の流れ（Ｑａ）をサンプリングするためにサンプリングパイプ（７）を介して希釈ユニット（３）と連通しており、サンプリングされた希釈された気体の流れ（Ｑａ）を分析し、前記分析された希釈された気体の流れ（Ｑａ）および希釈係数（Ｄ）によって分析されるべき気体の流れ（Ｑ）の濃度（Ｃ）を判定するための少なくとも１つの処理手段を備える分析ユニット（５）とを備える、気体の汚染を測定するためのステーションに関する。本発明はさらに、関連する気体分析方法に関する。
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【課題】低コストで放散物質を現場で迅速に分析することを可能とする。
【解決手段】分析対象物５０から放散される放散物質を分析する放散物質分析装置１において、前記分析対象物５０の表面との間に閉鎖空間を形成し且つ該閉鎖空間が流路２と連通する閉鎖容器３と、前記流路２に組み込まれて前記閉鎖空間から導入された前記放散物質を成分毎に分離して送出する分離カラム４と、前記分離カラム４を加熱する加熱手段５と、前記流路２に組み込まれて前記分離カラム４で分離した分離物質の濃度を検出する濃度検出手段６と、前記濃度検出手段６が検出した濃度に基づいて、前記放散物質の成分を分析する分析手段９ａと、前記分析手段９ａの分析結果を出力する出力手段９ｂと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微量成分の濃度の経時変化を測定することが可能であり、かつ気体中に含まれる成分の検出限界濃度が十分低い気体分析装置を提供する。
【解決手段】この気体分析装置は、デニューダ１００、気体供給部（ポンプ）２０８、液体供給部（ポンプ）３０２、及び分析装置７００を備える。デニューダ１００は、上下方向に延伸していて互いに対向する２つの平らな壁面を有している。ポンプ２０８は、デニューダ１００の下方から２つの壁面間に、分析対象となる気体を供給する。ポンプ３０２は、デニューダ１００の上方から２つの壁面間に、液体を供給する。分析装置７００は、デニューダ１００の下方から排出された液体に含まれる成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】固相マイクロ抽出法を用いて試料成分の分析を行う際、試料成分を採取するのに要する時間を短縮でき、かつ、検出感度を高くできる方法の提供。
【解決手段】試料成分を含む気体にファイバ状の試料採取部を接触させて採取し、採取した試料成分を分析する固相マイクロ抽出法における採取方法において、相対速度０．２〜７ｍ／ｓで相対移動させて前記試料成分を含む気体と前記試料採取部とを接触させることを特徴とする、固相マイクロ抽出法における採取方法。 （もっと読む）

【課題】気体、液体中や基板上の固形物の微小試料の分析に際して、赤外分光分析を行った後に熱分解ガスクロマトグラフィー分析など、他の分析を行うことができるサンプリングシートを提供すること。
【解決手段】機器分析に用いることが可能な石英ガラス製シート２を使用し、このシート２を２つの支持体４で支える。支持体４は伝達部５を介して静電気発生装置６に接続されている。シート２に静電気を与えてサンプルを静電的に保持し、分析する。石英ガラスの赤外吸収ピークは有機物の赤外吸収ピークと一致し難く、化学的にも安定であるため、複数の分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな設備が不要で分離作業を簡単なものにする。ガスの分離性能を向上させる。
【解決手段】検出対象のガス絶縁電力機器から取り出した吸着剤４（ステップＳ１）を絶縁ガスの分解ガスが溶解する液体中に浸漬して分析用水溶液を作成し（ステップＳ２）、分析用水溶液の分析（ステップＳ３）による分解ガスの検出に基づいてガス絶縁電力機器内での異常を検出する（ステップＳ４〜Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】携帯も可能な小型で電池電源も使用可能なアクティブ気体採集方法及び装置を提供すること。
【解決手段】ハウジングと、該ハウジング内に配置され、内部に吸着媒体を配置した筒体と、前記ハウジング内に配置され、該筒体の排出口に接続されたチューブポンプと、前記ハウジング内に配置された電源とを有し、前記チューブポンプを作動させて前記筒体の吸入口から気体試料を吸入して前記吸着媒体に試料を吸着させることを特徴とする気体試料採集装置。 （もっと読む）

【課題】放射性物質測定装置において、複数のステーション間で捕集部材を移送するための機構及び制御を簡易化する。また、捕集部材の位置決めを的確に行えるようにする。
【解決手段】供給ステーション１６、捕集ステーション３６、測定ステーション３８及び回収ステーション１８が設けられる。それらの下部には、ターンテーブル８６と、各ステーションとターンテーブル８６との間で捕集部材を搬送する昇降ユニット９４と、が設けられる。昇降ユニット９４は、具体的には、昇降運動する昇降テーブル９６，９８と、それに搭載された４つの台座ユニット５８，８２，８４，７０と、を含む。４つの台座ユニット５８，８２，８４，７０の内で、少なくとも第１台座ユニット５８及び第２台座ユニット８２は、上方の位置決めを行う機構及び下方の位置決めを行う機構を備える。 （もっと読む）

【課題】放射性物質測定装置において、ステーション間においてターンテーブルを利用して捕集部材を搬送する場合に、ターンテーブルにおける捕集部材の位置決め精度を高める。
【解決手段】ステーション列の下方に、円周方向に沿って配列された移送開口列を有するターンテーブルが設けられる。各移送開口には２つの位置決めユニット１２０，１２２が設けられる。各位置決めユニット１２０，１２２は、移送開口に入れられた捕集部材に当たって当該捕集部材の中心を移送開口中心の方へ移動させる位置決め作用を発揮する。具体的には、各位置決めユニット１２０，１２２は、ローラ１３８及びアーム部材１３２を有し、それらが跳ね上げ状態から倒れ込み状態になると、位置決め作用が生じる。ローラ１３８は、中央部がくびれてその両側が肥大した形状を有する。 （もっと読む）

【課題】任意温度や任意雰囲気に置かれた材料から放散される化学物質放散量が測定可能な気体測定用装置を提供する。
【解決手段】被測定物１２と第１気体流通手段１および第２気体流通手段２と、流通気体を供給する第１気体供給手段３および第２気体供給手段４と、流通気体を浄化する第１気体浄化手段５および第２気体浄化手段６と、流通気体の流量を制御する第１流量制御手段７および第２流量制御手段８と、第１気体流通手段１および第２気体流通手段２から流出する気体を捕集する第１気体捕集手段９および第２気体捕集手段１０と、被測定物１２を温度制御する温度制御手段１１を備える構成とすることにより、雰囲気や温度および供給気体流量あるいは被測定物面積などを変化させた時の被測定物１２からの放散ガスを捕集することができる。 （もっと読む）

【課題】吸引により測定箇所の周囲の気流を変化させることなく、準揮発性化学物質（ＳＶＯＣ）を良好に捕集することができる捕集管を提供する。また、このような捕集管を用いて捕集したＳＶＯＣ量の測定方法、及び測定装置を提供する。
【解決手段】両端が開口し、一方の開口部が気体の流入口６を成すと共に他方の開口部が気体の流出口８を成す管状体２と、流入口６に配置された通気口を有する捕集板４と、を備え、流出口８の開口面積よりも流入口６の開口面積が大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定物からの準揮発性有機化合物（ＳＶＯＣ）の放散量をより正確で高精度に求めることが可能な、準揮発性有機化合物の放散量測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物２から放散する準揮発性有機化合物の放散量を測定する方法である。チャンバー３内に被測定物２と、被測定物２から放散しない標準物質を発生する標準物質発生源４とを配置し、チャンバー３内の特定点Ｐを濃度測定位置に決定する。チャンバー３内に一方向層流の気流を生じさせ、その状態で濃度測定位置において空気を捕集する。捕集した空気中の準揮発性有機化合物の濃度と標準物質の濃度とを測定する。標準物質の濃度測定結果と標準物質の理論濃度との関係に基づき、準揮発性有機化合物の濃度測定結果を補正して準揮発性有機化合物の放散量を求める。チャンバー３内の特定点Ｐは、一方向層流の気流中において、被測定物２の下流側となる点を選択する。 （もっと読む）

【課題】センサ間の熱による悪影響を防止し、各センサから安定した出力を得ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ファン１６を駆動してドライバから吐き出された呼気を、ハウジング１４の円柱面状の空洞と軸を同一とする円柱状の支柱１８と、ハウジング１４の内面との間に形成された流路２０へ導入する。各種センサは、検出面を流路２０に露出するように、検出面が支柱１８の軸の方向（呼気の流入方向）と平行になるように設けられ、かつ加熱温度特性の異なるセンサは支柱１８を挟んで対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空容器中に発生する極微量のアウトガス成分のみを精度良く効率的に測定するためのアウトガス捕集装置及び捕集方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るアウトガス捕集装置は、測定対象であるアウトガスを捕集する第１の冷却トラップと、測定対象であるアウトガス以外のガス成分を捕集する第２の冷却トラップとを具備することを特徴とする。また、真空容器内におけるアウトガス捕集方法は、アウトガスの発生前にアウトガス以外のガス成分を第２の冷却トラップで捕集するステップと、アウトガスの発生後にアウトガス成分を第１の冷却トラップで捕集するステップを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム等のＶＯＣを迅速かつ簡便に精度良く分析する技術を提供する。
【解決手段】「吸引手段」、空気中のＶＯＣをトラップする捕集剤を持つ「ＶＯＣ捕集手段」、「空気採取管」、「キャリアガス導入管」、「カラム」、「検出器」を備え、かつガスの経路を下記の３モードに切り替える弁機構を有し、下記分析モードにおいてはＶＯＣ捕集手段の捕集剤から脱着させたＶＯＣ成分を分析するようにしたＶＯＣ迅速分析システム。
（１）空気採取モード； 空気採取管→ＶＯＣ捕集手段→吸引手段
（２）分析モード； キャリアガス導入管→ＶＯＣ捕集手段→カラム→検出器
（３）洗浄モード； キャリアガス導入管→ＶＯＣ捕集手段、およびキャリアガス導入管→カラム→検出器 （もっと読む）