【課題】特殊な水素濃度センサ等を用いずに、安価で簡易な構成により、生産工程における水素濃度管理を容易に可能とする技術を提供する。
【解決手段】水素ガスが導入され、室内ガス中の水素濃度が可変に構成されるチャンバ室２内における水素濃度管理方法であって、チャンバ室２内のガスをサンプリングする工程（工程Ａ）と、サンプリングしたガスを燃焼させる工程（工程Ｂ）と、燃焼させたガスの燃焼温度を検知する工程（工程Ｃ）と予め設定されているガスの燃焼温度と水素濃度との関係を用いて、検知したガスの燃焼温度から、チャンバ室内のガスの水素濃度を求める工程（工程Ｄ）とを含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】複数の材料や部品から構成される物品の化学物質放散状態の模擬的評価と化学物質放散の相関関係の解明が可能な気体測定用装置を提供することを目的とする。
【解決手段】任意物体を放散源とする化学物質の放散機能と放散された化学物質の混合機能を有する装置であり、空洞型の複数の容器１、２、３に材料あるいは部品を設置し、各容器内で放散された化学物質を含む気体が混合器１０を介して合成容器１１に導入され、化学測定が可能な気体測定用装置ができる。 （もっと読む）

【課題】暗所でも使用可能なガス採取器を提供する。
【解決手段】ガス採取器１０に発光素子１３を設け、暗所で測定を行なう場合、検知管の変色部分を発光素子１３で照らし、目盛を読む。サンプルガス採取中に発光素子１３が点灯するようにすると、明所では突起２１を確認し、暗所では発光素子１３の消灯を確認することで、サンプルガスの吸引が終了したことが分かる。 （もっと読む）

【課題】酸物質や塩基物質をポンプによる吸引等の操作を必要とせず簡便にしかも効率よく吸着させることができるパッシブサンプラーを用いて空間の酸・塩基の量を評価する方法を提供すること。
【解決手段】基板製造工程において、該基板が経由する空間に、吸着剤として、アルカリ金属の炭酸塩およびアルカリ金属の水酸化物からなる化合物群から選ばれる少なくとも１種の化合物を有するパッシブサンプラーを配置することにより、当該空間内の酸物質を該パッシブサンプラー内の吸着剤に吸着させ、次に、該吸着剤から吸着された酸物質を脱離させ、脱離した酸物質を分析する基板製造工程における空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコーン液入り電気機器の絶縁・冷却媒体として使用するシリコーン液に熱劣化によって生成される低分子量で低沸点の環状化合物をオンサイトで効率良く簡便に定量して予防保全を容易にする。
【解決手段】本発明のシリコーン液入り電気機器は、電気装置を内部に収容したタンクと、このタンク内に収容された電気装置を絶縁し冷却する絶縁冷却媒体のシリコーン液を有するシリコーン液入り電気機器において、タンク内のシリコーン液を採取するシリコーン液の採取配管と、この採取配管で採取されたシリコーン液を加熱してシリコーン液中に溶解している低分子量で低沸点の環状化合物を蒸発気化させるガス成分採取容器と、このガス成分採取容器で採取した環状化合物のガスを分析するガス分析装置を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】、構造が単純で１個当たりの製造コストが嵩まない上後処理も容易で、しかも化学物質の捕集効率が良く発生部位の探索を容易にするものは従来無かった。
【解決手段】支持具２１のベース部２３と閉鎖カバー３の本体５は磁性体で構成され、固定具は閉鎖カバー及び支持具の磁性体との間に磁気吸引作用を発生させる磁石２９で構成されており、閉鎖カバー３の本体５の外面と内面の対向する位置に磁石２９と支持具２１のベース部２３がそれぞれ当接されると、磁気吸引作用により支持具２１が閉鎖カバー３に固定され、しかも拡散サンプラー１５はその軸方向が閉鎖カバー３の開口部９に略平行に支持される。 （もっと読む）

【課題】 活性炭等の粒状の吸着剤を使用することができ、しかも精度の高い測定が可能なパッシブ型放散量測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも、内部に底面が円錐状の中空部を有する円板型の扁平中空ケースと、該中空ケースの内部に収納された吸着剤とからなり、前記中空ケースは、被検査体との接面となる一方の面に、前記化学物質を取り込むための開口部を有すると共に、対向する他面には、前記中空部に連通する孔を備え、前記中空ケースの前記中空部内には、該収納された吸着剤の通過を妨げる多孔性の隔壁を備えていることを特徴とする、被検査体から放散される化学物質の放散フラックスを測定するための装置。 （もっと読む）

ＩＭＳ装置は、インレット７に前段濃縮器９を有する。ハウジング１の内側に結合された圧力パルス発生器８は、ハウジングに小さい交番の正負圧力のパルスを供給し、空気をインレット７へ、およびインレット７から、脈動して流す。これにより、試料が、前段濃縮器９により吸着され、イオン化され検出されるのに十分な試料は流れることができない。前段濃縮器９で検出可能な試料の量を集めるのに必要な時間の後、装置は、脱離フェーズに切り替える。前段濃縮器９が、試料を脱離するために加熱され、圧力パルス発生器８が、イオン化と検出のために反応領域に、解放された試料の十分な量を流すため大きな負のパルスを生成する。
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【課題】廉価で信頼性があり、耐用年数の長い大気検体検知システムを提供する。
【解決手段】ワークスペース５０における大気検体レベルを検知し報告するシステムであり、(i)遠隔配置されたガス検体センサ２０と、(ii)センサ２０に取り付けられ管腔４９を規定するチューブ４０であり、管腔４９を経てセンサ２０がワークスペース５０と流体連通するチューブ４０と、(iii)ワークスペース５０から管腔４９を経てガス状内容物が連続的に移動して、センサ２０と操作可能に関わるようにチューブの管腔４９と密閉流体連通するファン３０、とを有し、(a)ワークスペース５０内にチューブ４０の末端部を配置し、(b)ワークスペース５０からチューブ４０を経てガス状内容物が連続的に移動して、センサ２０と操作可能に関わるようにファン３０を駆動し、(c)センサ２０によって、ワークスペース５０における検体レベルを検知し報告する、ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内等の空気中のケミカル汚染物質等を連続的に監視可能とする。
【解決手段】ｎ種の標準ガスをｍ個のセンサ素子で測定した結果に基づき、そのｍ個のセンサによる検出出力により形成されるｍ次元空間内にｎ本の標準ガスベクトルを作成しておく（Ｓ１、Ｓ２）。所定の測定時間間隔毎に採取した試料ガスを測定した結果をｍ次元空間内に位置付け、その測定点と標準ガスベクトルとの関係から各標準ガスに対する類似性指標値を算出するとともに、類似性がある標準ガス相当の濃度を求める（Ｓ３〜Ｓ６）。この類似性指標値と濃度値とを直接表示することで（Ｓ７）、ユーザーに直感的に理解しやすい情報を提供する。 （もっと読む）

質量分析計の圧力の高い領域と低い領域との間にイオン移送導管６０を設ける工程を含む、圧力の高い領域と低い領域との間で、ガスと同伴イオンとを輸送する方法である。イオン移送導管６０は、イオン移送チャネルを構成する電極集合体３００を含んでいる。電極集合体３００は、第１の幅Ｄ１の第１組の環電極３０５と、第１環電極３０５と交互に並んだ、第２の幅Ｄ２（≧Ｄ１）の第２組の環電極とを備えている。大きさＶ_１および第１極性のＤＣ電圧を第１環電極２０５に印加し、Ｖ_１より小さい、または等しい大きさＶ_２であって、Ｖ_１と反対極性のＤＣ電圧を第２環電極３１０に印加する。イオン移送導管６０の圧力を、イオン移送チャネル内でガスとイオンの粘性流が保たれるよう制御する。
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【課題】コンパクトな装置で、低濃度のアルコールガスを高精度に、しかも連続的に生成することにある。
【解決手段】中間部に括れ部１ａを有し、その括れ部に所定流量の空気または非還元性ガスを通流されるベンチュリ管１と、上部に空けた空間の下方にアルコール液または所定濃度のアルコール水溶液４を気密に収容するとともに、前記空間に前記ベンチュリ管の括れ部とその括れ部の上流側の部分とを通路５，６を介して連通されたアルコール容器２と、前記ベンチュリ管の前記上流側の部分から分流して前記アルコール容器内に入り、前記アルコール液またはアルコール水溶液から蒸発したアルコールを含んだ前記空気または非還元性ガスを、前記ベンチュリ管の前記括れ部を通る前記空気または非還元性ガスの気流中に流量を調節して流出させて混合し、その混合気であるアルコールガスのアルコール濃度を調節する濃度調節バルブ３と、を具えてなる、低濃度アルコールガス生成装置である。 （もっと読む）

【課題】捕集箇所を選ばず、捕集装置からのコンタミネーションなしにパーティクルをフィルター上に効率よく捕集でき、パーティクルの層別が可能で、さらに安価である気中パーティクル捕集方法および捕集装置を提供する。
【解決手段】メンブレンフィルターを１枚ずつセットした１乃至複数個のそれぞれ孔径の異なるフィルターホルダー１２、１４、・・・と、１分間当たりの吸引量が５〜４０リットルの吸引ポンプ１７とを接続してエアー吸引することにより、前記メンブレンフィルターに気中のパーティクルを付着させて捕集する。 （もっと読む）

【課題】従来の方法は、コンタミネーションの成分や量を測定することは有効であるが、コンタミネーションを含む雰囲気サンプルを採取し、そのサンプルを分析装置にかけコンタミネーションを測定する方法のため、コンタミネーションの有無や発生を即時に測定することが難しい。
【解決手段】励振用電極が形成されており、この励振用電極から延設された引出電極が形成されている略円形平板状の圧電振動素子と、この引出電極が電気的に接続され且つ圧電振動素子を嵌め込むスリット部が形成されている２本の支持部と、この支持部を保持する支持部台と、圧電振動素子、支持部及び支持部台が内部に収納され且つ開口部が形成されており、この開口部付近にはシャッター手段が設けられている容器体と、シャッター手段の開閉形態を制御する制御部と、により構成されている測定端末体とこれを用いたコンタミネーションの測定方法。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで持ち運び可能な装置として容易に構築され、特に、スループットが変化する場合でさえ、高い信頼性と計数精度とを提供する空気細菌捕集装置の提供。
【解決手段】捕集媒体とスクリーンカバー間の規定の相対的な移動を有し、その中に固定された捕集ストリップを有する収容部は回転可能であり、スクリーンカバーは決められた位置に固定される。スクリーンカバーは、収容部が決められた位置に固定されるならば、回転可能に構成されてもよい。相対移動を得るために、捕集ストリップを収容部内で移動させることができる。細菌で満たされた空気は次の方法で移送される。カバーの中心開口および流路開口を通じ、空気は捕集ストリップの凹部内の捕集媒体の表面に到達し、そこで、空中移送の慣性沈着が生じる。空気は、収容部を過ぎて外部ドラムスペースに流れ続け、ファンにより楕円形の穴を通して引き込まれ、空気細菌捕集装置の底部から排出される。 （もっと読む）

【課題】測定対象ガスの無駄がなく、採取先で測定対象ガスの圧力が低い場合でもサンプリングが行え、機器内の測定対象ガスだけを確実にサンプリングでき、しかも機器への悪影響を与えることがないようにする。
【解決手段】測定対象ガスとしての同位体ガスを内部に有する蒸留分離装置１１と、これに連通して蒸留分離装置１１からの同位体ガスを流すサンプリング配管１３と、このサンプリング配管１３に第１の弁１４および第２の弁１６を介して接続され、同位体ガスが貯められるサンプラー１７と、第１の弁１４と第２の弁１６とをつなぐ第１の配管１５から分岐された第２の配管１８に第３の弁１９を介して接続されるパージ容器２０と、第２の配管１８に第４の弁２１を介して接続される真空排気ポンプ２２を備え、パージ容器２０の内容積がサンプリング配管１３の内容積よりも大きくされたガスサンプリング装置である。 （もっと読む）

【課題】
地中の地下水の有無に拘わらず土壌汚染の調査を正確に行うことができる土壌汚染調査装置を提供する。
【解決手段】
地面Ｅ穿った穴の内部に給水管２８を介して水を給水ポンプ６により供給する。給水ポンプ６により水の供給を行いながら、この水に、前記穴の近傍の土壌に含まれる調査対象物質を溶出させる。その調査対象物質が溶出した水を水回収管２７の内周と給水管２８の外周との間の水回収通路を介して真空ポンプ７により吸引して貯水容器８ａ，８ｂ内に回収する。真空ポンプ７により水の回収を行いながら、その回収した水に溶解した調査対象物質の濃度を濃度センサ５４により計測する。前記調査対象物質の水への溶出を促進する溶出促進剤を、給水ポンプ６により供給する水に第１貯水槽６９内で混入させる。 （もっと読む）

【課題】多色刷り用の複数のインクユニットを有する印刷機において、印刷時に発生するＶＯＣを確実に検出することが可能なＶＯＣモニタリングシステム及びＶＯＣモニタリング方法を提供する。
【解決手段】本発明は、複数の印刷ユニットＵ１〜Ｕ４と、各印刷ユニットからの枝ラインＡ１〜Ａ４を経て外部へ排気を行う排気ラインＢとを有する印刷機Ｐ１〜Ｐ３に設けられるＶＯＣモニタリングシステムであって、各枝ラインＡ１〜Ａ４及び排気ラインＢに連結されるサンプリングラインＬと、排気ラインＢからサンプリングラインＬへの排気を制御する主枝バルブＶ０と、各枝ラインＡ１〜Ａ４からサンプリングラインＬへの排気をそれぞれ制御する第１〜第４枝バルブＶ１〜Ｖ４と、サンプリングラインＬに連結され、ＶＯＣ量を測定するＶＯＣ測定装置１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】気体の補集段階において軽量で補集効率の高い気体捕集容器を安価に提供すること。
【解決手段】本発明にかかる気体捕集容器１００は、気体を導入する導入部材４を有する樹脂製の捕集袋５を折り畳み可能な六面体の箱体６に収容可能に組み合わせてなる、気体を捕集して収納するための容器である。そして、箱体６の主要部が段ボール等の板紙により構成されたことを特徴とする。また、箱体６は、内外面の少なくとも一方の面全体が樹脂フィルム６２により被覆されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】カルボニル化合物の測定に影響を与えないオゾンスクラバを提供する。
【解決手段】従来のオゾンスクラバに使用されているヨウ化カリウムの代わりに硫酸塩類化合物を使用することで、特定の条件下でもカルボニル化合物の測定に影響を与えないオゾンスクラバを得た。これにより、気体試料中に含まれるカルボニル化合物の測定を精度良く行うことができる。 （もっと読む）