【課題】試料ガス中の酸素や二酸化炭素量に影響されずに測定可能なＴＶＯＣ計を提供する。
【解決手段】一定流量の試料ガスＧ１の酸素濃度を磁気式酸素計２で測定した後、試料ガスＧ１を燃焼触媒酸化炉３で完全燃焼させ、排出された試料ガスＧ２の酸素濃度を磁気式酸素計４で測定し、それぞれの測定値に比例した電気信号Ｅ１、Ｅ２を演算処理装置５に入力して酸素濃度差を求め、その酸素濃度差を演算処理して試料ガスＧ１の全揮発性有機化合物（ＴＶＯＣ）濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 α，β−不飽和アルデヒド化合物を捕集して長時間保存してもα，β−不飽和アルデヒド化合物由来の反応物が消失しないという安定性に優れ、測定する前に反応する低濃度のカルボニル化合物の影響を排除して、測定値のばらつきを低減させることができるという再現性に優れ、測定時には低濃度のカルボニル化合物を正確に定量することができるという正確性に優れるカルボニル化合物捕集材を提供する。
【解決手段】 式（１）で表されるヒドラジン系化合物の塩酸塩又は該化合物の硫酸塩と、シリカゲル、アルミナ、セルロース、及び活性炭からなる群から選ばれる少なくとも１種の吸着材とを含むカルボニル化合物捕集材。


[式中、Ｒ及びＲ’は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、炭素数６〜１０のアリール基、ニトロ基又はシアノ基を表す。] （もっと読む）

【課題】車両のラジエータに担持された大気浄化触媒全体の平均的な劣化度合いを精度良く検知できる劣化検知システム及び劣化検知方法を提供する。
【解決手段】車両のラジエータ１１０に広範囲に担持された大気浄化触媒を有する車両用大気浄化システムにおいて、ラジエータ１１０を通過する前の大気を採取して汚染物質濃度を検出するとともに、ラジエータ１１０の複数の部位を通過した夫々の大気を採集してその汚染物質濃度を検出することにより、大気浄化触媒全体の平均的な劣化度合いを精度良く検知できる劣化検知システム及び劣化検知方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】硫化水素と二酸化硫黄とを除去できるガス検出器に適した妨害ガス除去のフィルタを提供すること。
【解決手段】ガス検出器のガス取り入れ口に配置され、酸化亜鉛の粉末をボールミルにより微粉末に粉砕して分散剤を加えて懸濁液にして原液を調製し、この原液を通気性を備えた担体、例えば濾紙に含浸させて、水分を除去すると、酸化亜鉛を担体に担持させたフィルタが完成する。 （もっと読む）

【課題】製造環境の気体モニタリングシステムにおいて、クリーンルーム環境または装置内に存在する気体の中で特定の基板表面に選択的に付着する成分を一定周期で検出し、その中で基板の透過率を低下させる成分を効率的にモニタリングする気体モニタリングシステムの提供。
【解決手段】製造環境の気体の中で、特定の基板表面に付着する成分を収集する成分収集手段と、収集された成分を少なくとも定性及び定量分析する分析手段と、該分析結果に基づいてモニタリング項目におけるシミュレーションを行うシミュレーション手段と、を有し、前記シミュレーション手段のモニタリング項目が、特定波長における分析物質の光吸収スペクトル及び分光特性の算出する気体モニタリングシステムを具備する装置、及び該装置を用いて、付着する成分中で基板の透過率を低下させる成分をモニタリングする気体モニタリングシステム。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、簡便でしかも正確に密閉された容器の空間に存在する気体を分析する方法およびその目的に好適な容器を提供することにある。
【解決手段】本発明は、空間に存在する気体を吸着用器具に吸着させて分析する方法において、吸着用器具として気体吸着性固体粉末を封入した耐熱性の気体透過性の器具を用いることを特徴とする気体の分析方法であり、それに好適に利用できる器具である。 （もっと読む）

【課題】測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度をリアルタイムで測定することができる有機物ガスの測定装置を提供する。
【解決手段】有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定装置において、測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器２０と、捕集容器内に収容されて有機物ガスを捕集する捕集剤２２と、この有機物ガスを脱離させるために捕集剤を加熱する加熱手段２４と、有機物ガスを捕集する際に捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系３６と、捕集剤から脱離した有機物ガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系３２と、脱離した有機物ガスをキャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系３８と、混合ガス搬送系に設けられてキャリアガス中の脱離した有機物ガスの濃度を測定する濃度測定部５６と、装置全体の動作を制御する制御部５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、使いやすい匂い測定装置と匂い測定方法とを提供しようとする。
【解決手段】
従来の気体の匂いを測定する匂い測定方法にかわって、気体の匂いを測定する匂いセンサを準備する準備工程と、気体を前記匂いセンサに供給する気体供給工程と、無臭ガスを所定の洗浄時間だけ前記匂いセンサに供給する無臭ガス供給工程と、を備え、前記気体供給工程を実施して終了した直後に前記無臭ガス供給工程を強制的に実施し、前記匂いセンサが気体の匂いの強さに対応した出力値を出力し、前記洗浄時間が前記出力値に対応する、ものとした。 （もっと読む）

【課題】 微量のモノクロルビフェニルを比較的簡単に定量化することができるＰＣＢ捕集用充填材、このＰＣＢ捕集用充填材が充填された固相抽出カートリッジ、並びに、この固相抽出カートリッジを用いたＰＣＢ精製濃縮方法を提供する。
【解決手段】 ビスｔ−ブチルヒドロキシトルエン（ＢＨＴ）を含まない溶剤により洗浄されたＢＨＴを実質的に含まないポリ塩化ビフェニル（ＰＣＢ）捕集用充填材１１が充填された固相抽出カートリッジ１０を用いる。 （もっと読む）

空気監視システムは、導電性内側表面を有する管を含む。一実施形態では、ライナーは、例えばカーボンナノチューブなどの炭素ベースの材料を含む。別の実施形態では、伝導性層は、基板に接着される。
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【課題】 最小限の機器を用いてコストの増大を抑えつつ、製造プロセスの圧力条件いかんにかかわらず最適な測定環境圧力のもとで高感度・高精度な分析を実現でき、かつ、分析計自体の耐久性向上も図れるようにする。
【解決手段】 減圧下の製造プロセスを経たプロセスガスを吸引し排気する排気系統２に介在される真空ポンプ３を、ガス排気方向に直列配置して各圧縮室６隔壁９で区画してなる複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅから構成し、これら複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅにおける圧縮室６の排気口の何れか一つに選択的に接続可能とした赤外線ガス分析計４によりガス成分を測定するように構成している。
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【課題】 ホウ素化合物をサンプリングするに際して希酸性溶液を用いることなく、クリーンルーム内空間のホウ素化合物による汚染状態を簡便に評価する方法を提供すること。
【解決手段】 クリーンルーム内空間ガスを、セルロース製パウダーを充填したカラムまたはセルロース製メンブレンフィルタを装着した濾過器に、通気することにより、該空間ガスに含まれるホウ素化合物を該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタに吸着させ、次いで、吸着されたホウ素化合物を、該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタから脱離させ、脱離したホウ素化合物を分析することを特徴とするクリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 環境チャンバー本体とドアの間等、環境チャンバーにおいて隙間を生じる部分に採用することによって、環境チャンバー内の気密性をより高めることができ、測定対象の装置より発生してきたＶＯＣのみをより正確に捕集できるＶＯＣ測定用環境チャンバーのシール材を提供する。
【解決手段】 電気機器１０２を動作させた時に発生する揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を捕集するための環境チャンバーの例えば環境チャンバー本体１０１とドア１１１の間等に用いるシール材であって、その断面形状の少なくとも一辺以上が平面を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、ヘッドスペース蒸気を抽出するためのシステムおよび方法を開示するものである。本発明による方法においては、ヘッドスペース蒸気を収容している容器を、キャリアガスによって加圧し、その後、サンプル混合ガスを吸収性トラップに通し、残部をベント穴から排出する。フローコントローラを使用することによって、容器内におけるヘッドスペース蒸気の漸次的減少に基づいて圧力が低下したときには、流量を漸次的に制御する。ある種の実施形態においては、フローコントローラは、流速を一定に維持する。時間短縮化のため、いくつかの実施形態においては、加圧−抽出サイクルを複数回にわたって行い、これにより、サンプル瓶から抽出し得る蒸気量を最大化することができる。
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【課題】 チャンバー内壁面への準揮発性有機化合物（ＳＶＯＣ）の吸着による測定誤差が少なく、正確・高精度であって、チャンバーの加熱や洗浄が不要で、被測定物を非破壊で測定できる準揮発性有機化合物の放散量測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】 チャンバー内に設置した被測定物から放散する準揮発性有機化合物の放散量を測定する方法であって、流体力学シミュレーションによりチャンバー内の気流を解析して、チャンバー内に設置した被測定物から放散する化学物質の濃度が、瞬時一様拡散濃度を１００とした時に、１００±１〜２０％となる領域を特定する工程（ａ）と、実際にチャンバー内に被測定物を設置して換気し、瞬時一様拡散濃度を１００とした時に、１００±１〜２０％となる領域の空気を捕集し、準揮発性有機化合物の汚染濃度を測定する工程（ｂ）を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板製造時に、該基板が経由する局所的な空間の汚染状態を精度よく評価する方法を提供すること。
【解決手段】 基板製造工程において、該基板が経由する局所的空間にパッシブサンプラーを入れ、当該空間内の汚染物質を該パッシブサンプラー内の吸着剤に捕集し、次に、該吸着剤から吸着された汚染物質を脱離させ、脱離した汚染物質を分析することを特徴とする基板製造工程における局所空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】１回のガスクロマトグラフ質量分析手間のみで揮発性有機化合物の全放散量を測定可能とする。
【解決手段】１つの捕集管７の一方側に試験体１を収容するとともに、他方側に捕集剤１０を収容し、前記試験体収容側を上流側として、所定温度のキャリアガスを所定流量及び所定時間で供給し、前記試験体１から放散される揮発性有機化合物を捕集管内壁面に付着させるとともに、前記捕集剤で捕集した後、この捕集管を熱脱着型ガスクロマトグラフ質量分析計（GC／MS）の加熱脱着部にセットし、揮発性有機化合物の全放散量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 エアの有機物含有量の測定過程で行われるテストウェハの膜厚変化の測定処理、エアの有機物含有量の算出、測定時に用いられたテストウェハの表面処理（有機物の除去）を自動で行うことのできる測定装置を提供する。
【解決手段】 測定装置１を、膜厚変化の測定を行うエリプソメトリ測定系と、有機物の除去を行うＵＶ光照射系と、から構成する。該エリプソメトリ測定系は、光源８と、偏光レンズ９と、１／４波長板１０と、焦点レンズ１１と、偏光検出装置１２と、受光素子１３と、から構成される。また、該ＵＶ光照射系は、ＵＶランプ１５と、石英ガラス１６と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】 試料を加工することなく、種々の試料に対し適切な材料負荷率（部材表面積／チャンバー容積）を設定でき、ＶＯＣの放散速度を使用態様に近い状態で再現してＶＯＣを捕集することを可能にする。
【解決手段】 試料１０を内側に置いて試料から放散する揮発性化合物を囲うケーシング２と、揮発性化合物を捕集する捕集部４と、前記ケーシング２と前記捕集部４との間に介在してそれぞれに通気可能に連結され、かつ内容積を可変としたチャンバ３を備える。巨大な装置を利用せずに短時間でＶＯＣを捕集、評価することができ、さらには試料の表面積を調整することなくＶＯＣ捕集装置側でその内容積を調節してＶＯＣの放散速度を試料の実際の使用態様に応じたＶＯＣの放散速度に調整できる。 （もっと読む）

【課題】標的物質の濃度を測定するための装置および方法を提供すること。
【解決手段】標的物質の濃度を測定するための装置であって、以下：該標的物質に曝露された際に、該標的物質と化学反応して観測可能な指標を生じる検出材料を含む検出容器であり、検出された該標的物質の濃度は、該観測可能な指標から読み取り可能である、検出容器；該検出容器と係合可能であり、かつ該検出容器内に気体環境のサンプルを引き込むのに作動可能なポンプであり、該引き込まれたサンプルが該標的物質を含み、それによって、該検出材料が該標的物質に曝露される、ポンプ；および、該気体環境の温度を示すための、一体型温度表示器、を備える、装置。 （もっと読む）