【課題】微量成分の濃度の経時変化を測定することが可能であり、かつ気体中に含まれる成分の検出限界濃度が十分低い気体分析装置を提供する。
【解決手段】この気体分析装置は、デニューダ１００、気体供給部（ポンプ）２０８、液体供給部（ポンプ）３０２、及び分析装置７００を備える。デニューダ１００は、上下方向に延伸していて互いに対向する２つの平らな壁面を有している。ポンプ２０８は、デニューダ１００の下方から２つの壁面間に、分析対象となる気体を供給する。ポンプ３０２は、デニューダ１００の上方から２つの壁面間に、液体を供給する。分析装置７００は、デニューダ１００の下方から排出された液体に含まれる成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】シリコン含量の多い合金に含まれる微量元素を迅速かつ精度高く分析できる合金中の微量元素の分析方法を提供すること。
【解決手段】水素よりもイオン化傾向の大きい第１の金属を主成分とし、微量元素とシリコンとを含む合金であって合金全体の質量１００質量％中にシリコンが０．５質量％以上含まれている合金中の微量元素を分析する合金中の微量元素の分析方法に、合金を酸処理液とともに加熱して第１の金属を溶解する酸処理工程と、酸処理工程後の処理液にフッ化水素酸を加えてシリコンと微量元素とを溶解するフッ化水素酸処理工程と、フッ化水素酸処理工程後の処理液にホウ酸を加えて処理液に残存するフッ化水素酸とホウ酸とを反応させるマスキング工程と、を設ける。または、合金を酸処理液およびフッ化水素酸とともに加熱して、酸処理液によって第１の金属を溶解するとともにフッ化水素酸によってシリコンを溶解する酸・フッ化水素酸処理工程と、酸・フッ化水素酸処理工程後の処理液にホウ酸を加えて処理液に残存するフッ化水素酸とホウ酸とを反応させるマスキング工程と、を設ける。濾過の工程をなくしたことで合金中の微量元素を精度高く分析でき、フッ化水素酸を揮発させる工程をなくしたこと合金中の微量元素を迅速に分析できる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハの外周部の膜を確実に除去し、シリコンウェーハの外周部に含まれる金属不純物を高感度に分析可能なシリコンウェーハの分析方法を提供する。
【解決手段】溶出装置３０を用いて、外周部Ｅまで酸化膜を除去したシリコンウェーハの外周部Ｅに含まれる金属不純物を溶媒３６に溶出（回収）させる際には、まず、溶出用容器３３に所定量の溶媒３６を注入する。溶媒３６は、シリコンウェーハ１０の特性劣化の原因となるＣｕを確実に溶出させることが可能な、フッ化水素酸、過酸化水素水、および塩酸を含む溶媒を用いる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス板状体の表層に含有される金属をエッチング液で溶解して定量分析する際、エッチング液が漏出しないようにする。
【解決手段】板状体分析用治具１の下側シート材２１に分析すべき板状体試料４０を載せ、その板状体試料４０の表面にリング１０を載せ、更に上側シート材２０をリング１０の上に載せる。固定手段３のボルト３０を穴２６に通し、ナット３１によって上下のシート材２０、２１を締め付けて上下シート材２０をリング１０に密着させる。開口２５からエッチング液をリング１０と上側シート材２０で画定された貯留空間に注入し、板状体試料４０の表層部分を溶解させ、溶解液を採取し、採取した溶解液中の金属またはイオンを分析定量する。 （もっと読む）

【課題】任意温度や任意雰囲気に置かれた材料から放散される化学物質放散量が測定可能な気体測定用装置を提供する。
【解決手段】被測定物１２と第１気体流通手段１および第２気体流通手段２と、流通気体を供給する第１気体供給手段３および第２気体供給手段４と、流通気体を浄化する第１気体浄化手段５および第２気体浄化手段６と、流通気体の流量を制御する第１流量制御手段７および第２流量制御手段８と、第１気体流通手段１および第２気体流通手段２から流出する気体を捕集する第１気体捕集手段９および第２気体捕集手段１０と、被測定物１２を温度制御する温度制御手段１１を備える構成とすることにより、雰囲気や温度および供給気体流量あるいは被測定物面積などを変化させた時の被測定物１２からの放散ガスを捕集することができる。 （もっと読む）

【課題】石膏ボード中に含まれるアスベスト含有量を精度良く、安価にまた短時間に測定可能なアスベスト分析方法及び分析試料作製方法を提供する。
【解決手段】分析対象試料である石膏ボードに水及び炭酸塩を加え、石膏ボードの主成分である硫酸カルシウムと炭酸塩とを反応させ、硫酸カルシウムを炭酸カルシウムにした後、この懸濁溶液に強酸を加え、炭酸カルシウムを溶解させ、その後この水溶液をろ過し固形分を分離し、この固形分を乾燥しＸ線回折測定用試料を得る。このＸ線回折測定用試料をＸ線回折装置で分析しアスベスト含有量を測定する。 （もっと読む）

【課題】
手間をかけることなく簡易な方法にて、原子吸光光度計の前処理を行うことができる、原子吸光光度計のオートサンプラを提供する。
【解決手段】
本発明のオートサンプラは、原子吸光光度計に設けられているものであり、原子吸光光度計の原子化部へ金属を導入するオートサンプラであって、液体試料中の金属が吸着する固相抽出剤１０を先端部に備えている。これにより、固相抽出剤１０に金属を吸着させることができるため、この金属を洗浄後に溶離液を用いて溶離させることによりオートサンプラを用いて、つまり、自動化して前処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数種類の濃度の標準ガスを高速に生成できるガス生成装置と、当該ガス生成装置を備え、ガスセンサの評価を短時間で行うことができるセンサ評価システムを提供する。
【解決手段】ガス生成部１０において、互いに直列に接続されたＮ個（２≦Ｎ）のガス混合部を備え、第１ガス混合部１１により、標準ガスラインＬ１から導入された標準ガスと希釈用ガスラインＬ２から導入された希釈用ガスとを混合して第１低濃度標準ガスを生成して、当該生成された第１低濃度標準ガスを第２ガス混合部１２及び／又はガス供給ラインＬ３に導入し、第Ｍガス混合部（２≦Ｍ≦Ｎ）により、第Ｍ−１ガス混合部から導入された第Ｍ−１低濃度標準ガスと希釈用ガスラインＬ２から導入された希釈用ガスとを混合して第Ｍ低濃度標準ガスを生成して、当該生成された第Ｍ低濃度標準ガスを第Ｍ＋１ガス混合部及び／又はガス供給ラインＬ３に導入するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】有機材料とセシウム化合物との混合試料中のセシウム量を迅速かつ簡便に定量する方法を提供する。
【解決手段】基板上に製膜された有機材料とセシウム化合物との混合試料中のセシウムを希酸により溶出し、その溶出液中のセシウムイオンをイオンクロマトグラフィーで測定し、その測定値から上記混合試料中のセシウム量を算出する。 （もっと読む）

【課題】安定して汚染等の少ない分析を行うことができるクロロシラン類の分析装置および分析方法を提供する。
【解決手段】クロロシラン類Ｌを蒸発させる蒸発器１０と、蒸発により残存した物質ｒ１，ｒ２を分析する分析器と、を備えるクロロシラン類の分析装置において、蒸発器１０は、ホットプレート１１と、ホットプレート１１の上に着脱可能に備えられ、このホットプレート１１とともに加熱室１３を構成するカバー１２と、加熱室１３内に配置され、クロロシラン類Ｌを収容可能な上方を開放状態とした試料容器１４と、を備え、カバー１２には、１３加熱室内に不活性ガスや窒素ガスを供給するための供給口１２ａおよび加熱室１３内の気体を排出するための排出口１２ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】流体供給装置から一定品質の流体を安定して供給する。
【解決手段】流体供給装置の流路内に流体を一定時間封入し、その封入前後の流体の不純物成分量から、その流路内における不純物成分の単位時間当たりの変化量を求める（ステップＳ１〜Ｓ５）。そして、その変化量を、予め設定された許容変化量と比較することにより、流路内に封入した流体の品質や流路の清浄度を判定する（ステップＳ６，Ｓ７）。一定の品質が確認された後、流体供給装置からの流体の供給を開始する。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面に付着する液滴から水分を飛ばす液滴乾燥方法を提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を液滴で処理する液滴乾燥方法にかわって、開口に連通した窪みを形成し前記開口の周囲を囲う輪状の縁部を持ち前記開口を基板の表面に対面させ基板の表面に付着した液滴を前記窪みで覆って基板の表面に付着した液滴に接触しない様に支持され雰囲気を基板の表面と前記縁部との隙間から吸引し前記窪みの奥から外へ排出できる様になった液滴保持治具を準備する準備工程と、前記窪みの中の気体を前記窪みの奥から外へ排出する排気工程と、前記液滴保持治具を支持して基板の表面と前記縁部との離間距離を所定の距離に維持する支持工程と、を備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】栽培予定の土壌で成育して収穫するウリ類中の塩素化シクロジエン系農薬（例、ドリン系）残留基準値の超過を未然に防ぐために、栽培前にウリ類中の該農薬濃度を予測する方法、土壌からの塩素化シクロジエン系農薬抽出分析方法、抽出剤等を提供する。
【解決手段】種々の濃度で塩素化シクロジエン系農薬を含有する土壌から、含水メタノールにより該農薬を抽出し定量分析する。該土壌でウリ類を栽培し、ウリ類から溶剤により塩素化シクロジエン系農薬を抽出し定量分析する。土壌中の該農薬濃度とウリ類の該農薬濃度との関係式を作成する。
ウリ類栽培予定の土壌から含水メタノールにより塩素化シクロジエン系農薬を抽出し、定量分析し、分析値から該土壌中の該農薬濃度を算出し、該濃度を上記関係式に当てはめて、収穫するウリ類中の該農薬濃度を予測する。含水メタノール（含水量９０容量％以下）により抽出し分析する方法、該含水メタノールからなる抽出剤。 （もっと読む）

【課題】呼気中に少量含まれる特定のガス成分を容易に捕集するとともに、そのガス成分の濃度を精度高く測定する。
【解決手段】呼気測定装置２０は、本体部１４と上蓋１６とファン２２とセンサ部１００とを含む。上蓋１６を開けた状態で、本体部１４に呼気収集管４０が装着される。呼気収集管４０は、呼気中の特定ガス成分のみを選択的に透過する選択透過膜５４及び選択透過膜５６と、吸着材５８とを含む。呼気収集中には呼気収集管４０の外周に冷却カバーが装着される。センサ部１００は、呼気収集管４０の吸着材５８に吸着された特定ガス成分に対応した物質で表面修飾された呼気センサを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン溶液の量や分析の対象の形状にかかわらず適用でき、短時間で容易に分析でき、しかも高精度で信頼性の高いシリコンウェーハ中の汚染物の分析方法を提供する。
【解決手段】溶解されたシリコンウェーハを含むシリコン溶液７を製造用シリコンウェーハ８上に載置する載置工程と、前記製造用シリコンウェーハ８上で前記シリコン溶液７を加熱することにより、前記シリコン溶液７中のシリコン成分を除去する除去工程とを備えるシリコンウェーハ６中の汚染物の分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】汚染物質回収用の液体中の汚染物質の濃度が飽和しにくいノズルシステムを実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステム(1)は、先端の押出口(122a)とはキャピラリー(122)で連通する液溜(120)を有するノズル(100)と、前記液溜の液体(140)の一部(140a)を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面(400)を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体(140b)と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】好適なサンプル保管方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】サンプルを保管する方法およびシステムは、所定の空間的関係で複数のサンプルノードをサポートするように構成された複数のサンプルキャリアと、複数のサンプルキャリアをアーカイブに選択的に置くサンプル格納デバイスと、複数のサンプルノードのうちの選択されたサンプルノードを配置して、取り除くサンプルノード取り除き装置とを実施する。代替的な実施形態がここで開示される。サンプルノード取り除き装置は、レーザおよびメカニカルクリッピングツールを含む。これらは、手動でまたは自動で操作され得る。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム等のＶＯＣを迅速かつ簡便に精度良く分析する技術を提供する。
【解決手段】「吸引手段」、空気中のＶＯＣをトラップする捕集剤を持つ「ＶＯＣ捕集手段」、「空気採取管」、「キャリアガス導入管」、「カラム」、「検出器」を備え、かつガスの経路を下記の３モードに切り替える弁機構を有し、下記分析モードにおいてはＶＯＣ捕集手段の捕集剤から脱着させたＶＯＣ成分を分析するようにしたＶＯＣ迅速分析システム。
（１）空気採取モード； 空気採取管→ＶＯＣ捕集手段→吸引手段
（２）分析モード； キャリアガス導入管→ＶＯＣ捕集手段→カラム→検出器
（３）洗浄モード； キャリアガス導入管→ＶＯＣ捕集手段、およびキャリアガス導入管→カラム→検出器 （もっと読む）

【課題】少なくともＳｎとＧｅとを含有する合金の組成を、迅速かつ精度よく分析することができる、合金の組成分析方法及び組成分析装置を提供する。
【解決手段】この合金の組成分析装置１は、所定量の合金を無機酸で処理して、溶液部分と、Ｇｅ沈殿部分とに分離させる分離させる分離手段１２と、前記溶液部分及び前記Ｇｅ沈殿部分を、それぞれ組成分析する分析手段１５と、前記分離手段及び前記分析手段によって組成分析がなされた標準試料に基づいて、分析すべき分析試料の組成分析を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて行う試料分析手段２０とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来、高純度のクロロシラン類中の無機系不純物元素の分析においては試料の加水分解反応は塩化水素、ケイ酸の生成と熱の発生を伴う激しい反応であり、効率良く安全に分解することが極めて困難であった。また気体試料の場合、微量不純物の検出のためには大量の試料を扱う必要があり、分解に時間がかかる問題があった。
【解決手段】本発明の分析法により、冷却固化させた試料と、同様に予め冷却固化させたフッ化水素酸、あるいは液体のフッ化水素酸を接触させることにより、クロロシラン類を安全で穏やかに短時間で分解できる。その後、副生成物を加熱気化により除去すると共に、微量不純物を濃縮することで高感度に不純物を分析できる分析試料の処理の提供を目的とする。 （もっと読む）