【課題】製造環境に存在する微小塵埃、特に空気中で自然落下する程度の大きさ以上のものを対象とした評価を行うに当り、僅かな隙間にも設置可能で、取り付けや移動、捕集後の取り扱いも容易であり、測定箇所の増加にも安価に対応できることに加え、さらに捕集塵埃の観察や再剥離などの分析操作を効率的になし得る塵埃の捕集用キットを提供する。
【解決手段】基材シート１と、微小塵埃を十分な固定力で且つ再剥離できる保持力で付着させる弱粘着性を有する粘着シート３を複数枚積層し、基材シート１上に固定された粘着シート３と、粘着シート層３の表面を清浄に保つために該粘着シートを覆って設けられた非粘着性の保護シート７とを備え、保護シート７を剥ぎ取って微小塵埃の捕集に使用される。 （もっと読む）

【課題】所定の雰囲気中の汚染状態を精度よく評価することが可能な汚染評価方法を提供する。
【解決手段】汚染状態を評価する雰囲気中に鏡面加工仕上げされた表面を有するへき開性物質からなる基板を持ち込んでへき開し（へき開工程）、へき開面をそのまま雰囲気中に所定時間暴露した後、へき開面を表面分析して汚染評価物質を検出する（定量分析工程）。評価する雰囲気中にへき開性物質からなる基板を持ち込んでへき開するので、汚染評価物質が表面に存在していないへき開直後の面が雰囲気中に暴露されることになる。そして、そのへき開面を分析して汚染評価物質を検出するので、評価する雰囲気中から付着した汚染評価物質のみが検出されることとなり、雰囲気中の汚染状態を精度よく評価することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】フィルム（ウエブ）幅方向全域に亘る連続的な塵埃量管理を低コストで実現することのできる光学フィルムの製造装置を提供する。
【解決手段】ウエブ１４を原反ロールから巻き出す巻出部１２と、連続走行する帯状のウエブ１４に塗布液を塗布する塗布部１８と、塗布層が設けられたウエブ１４を巻取りロールとして巻き取る巻取部２２と、からなる光学フィルムの製造装置１０において、巻出部１２と巻取部２２との間に、少なくとも１台のウエブ幅に対応した扁平形状の吸引口のサンプリングノズル２８ａを有する塵埃測定装置２６を備える。 （もっと読む）

【課題】標準ガス中の微量水分を計測する微量水分計測器を正確に校正するため拡散管セルより発生する微量水分を高精度に制御するとともに、微量水分計測器の応答性を調べるため標準ガス中の水分濃度を素早く変更して安定させることができる微量水分発生装置を提供する。
【解決手段】微量水分発生槽41は、温度制御器（図示せず）により温度制御するチャンバ42内に拡散管セル43を収納している。微量水分発生槽41の入口側の管路に、チャンバ42内の圧力を制御する圧力制御器44を接続し、微量水分発生槽41の出口側の管路に、流れを制限させる狭窄素子47を接続する。狭窄素子47は、その狭窄部48より下流側と上流側すなわちチャンバ42内との圧力比（下流圧／上流圧）を０．５３以下に制御する。 （もっと読む）

【課題】窒化ケイ素含有物中のアルミニウムの湿式分析試料の調製方法に関する。
【解決手段】窒化ケイ素含有物をフッ化水素酸で溶解し、さらに硝酸を添加して得られる溶液を蒸発乾燥させて固体残渣とし、固体残渣を硝酸で再溶解することを特徴とする。
【効果】分析試料溶液を再現性良くかつ定量的に調製することが可能となる。また従来の湿式分析方法であってＡＡＳ、ＩＣＰＭＳ等に容易に適用可能となり、装置の有する感度で再現性よく検出可能となる。 （もっと読む）

【課題】ケミカル汚染物質の定量的な評価を可能にするケミカル汚染物質の汚染評価方法を提供すること。
【解決手段】クリーンルームにおけるケミカル汚染物質の室内濃度と、クリーンルームにおいてケミカル汚染物質が基板に吸着される確率を示す吸着係数とを用いたケミカル汚染物質の汚染評価方法であって、分子動力学計算により各種データを算出する分子動力学計算工程（ステップＳ１）と、分子動力学計算工程において算出された各種データを用いて吸着係数実験補正値を算出する吸着係数実験補正値算出工程（ステップＳ２）と、吸着係数実験補正値算出工程において算出された吸着係数実験補正値から吸着係数を算出する吸着係数算出工程（ステップＳ３）とを有しているので、実験を行うことなく、吸着係数を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】液体中に含まれる塵埃の量を測定する新規な技術を提供する。
【解決手段】塵埃測定方法は、塵埃を含む第１の液体を、第１のフィルタでろ過し、第１のフィルタに塵埃を捕捉する第１のろ過工程と、第１のフィルタに捕捉された塵埃を、第１のろ過工程でろ過される第１の液体よりも少ない量の第２の液体中に剥離させる工程と、塵埃を含む前記第２の液体を、第１のフィルタよりもろ過面積が狭い第２のフィルタでろ過し、第２のフィルタに塵埃を捕捉する第２のろ過工程とを有する。 （もっと読む）

小領域静電エアロゾルコレクタは、コレクタハウジング、コレクタハウジングから延びる入口ノズル及びハウジングから流出する空気の出口を与える出口を含む。ポンプ装置が入口ノズルを通してハウジング内に空気を吸引する。サンプリングされた空気はダクトワーク内を移動し、粒子は基板上に収集され、空気は収集後に出口から排出される。コレクタは、ダクトワーク内に配置され、空気が通過する入口ノズルと基板との間に帯電点を定める電界を生成する帯電装置も含む。試料基板の収集表面は帯電装置により生成される電界に対して中性の帯電電位又は反対の帯電電位に維持される。エアロゾルを前記通路内の小領域内に含め、その空気を前記試料基板の収集表面の近くに流すことによって粒子状物質が試料基板の収集表面に収集される。
（もっと読む）

【課題】多点式の測定装置において、測定周期、並びに測定精度を向上させる。
【解決手段】測定装置１００は、第１、第２の測定箇所から延設された第１、第２のパイプラインと、第１、第２の測定箇所の気中成分を測定する第１、第２、第３の測定器と、第１、第２の測定箇所の気中成分を、第１、第２のパイプラインを通じて順に第１の測定器に導入する第１の切替手段と、第１の切替手段と第１、第２の測定箇所との間に位置する第１、第２のパイプラインにそれぞれ接続された第１、第２の中継ラインと、第１の中継ラインに接続され、第１の測定箇所の気中成分を、第１の中継ラインを通じて、第２の測定器に導入する第２の切替手段と、第２の中継ラインに接続され、第２の測定箇所の気中成分を、第２の中継ラインを通じて、第３の測定器に導入する第３の切替手段と、を備える。これにより、多点式の測定装置において、測定周期、並びに測定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象が機械部品などの構造物である場合を想定したパーティクルの付着具合に関し、純水中ではなく大気中においてパーティクル数を計測する手法を提供する。
【解決手段】
本発明は、測定対象物を傾斜および回転可能に保持する手段と、測定対象物に熱衝撃を加える手段と、測定対象物に振動を加える手段と、熱衝撃とともに振動を同時に加え、測定対象物表面に付着したパーティクルを脱離させ、下方に配置したプレート上に収集する手段と、収集したパーティクルの数を計数する手段とを有することを特徴とする清浄度評価装置に関する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内の、雰囲気気体と、製造プロセスで使用されるプロセスガスとに含まれる無機系不純物成分の評価分析を簡便に感度良く行うことのできる気体の捕集装置およびその評価分析方法を提供すること。
【解決手段】測定気体の吸入口１５とインピンジャーの吸入口１６の間を接続する管の中間に放電を生じさせる放電電極１３を備える気体の捕集装置とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、チャンバー内の試料に接触する空気を整流化し、当該空気の流速を試料の接触部分の全域でほぼ均一にすること。
【解決手段】 気流制御ユニット１０は、本体１１と、本体１１に着脱自在に取り付けられるとともに試料Ｓを内部に保持する試料ホルダー１２とを備えている。本体１１は、空気の吸入口Ｅ１及び排出口Ｅ２が形成された上部ダクト１５及び下部ダクト１６と、吸入口Ｅ１から排出口Ｅ２に向う空気の流れを生成するファン２３とを備えている。上部ダクト１５には、その内部を流れる空気が試料Ｓに接触可能に開放する試料窓２８が形成され、下部ダクト１６の内部には、試料窓２８からファン２３への空気の流れを迂回させるように仕切板３６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】デバイス等の不良原因となる数μｍの微小異物を採取し、コンタミレスでＳ／Ｎの良好な質量分析を行うことを目的とする。
【解決手段】微小試料加熱プローブは、径の異なる２つの部材よりなる試料保持部と、支持部と、端子部と、からなる。試料保持部は、そのごく一部に加熱機構を有し、分析対象の微小試料の極近傍のみが局所的に加熱されることを特徴とする。よって、プローブにコンタミ成分が付着した場合でも、それらは加熱されないためにノイズが発生せず、非常にＳ／Ｎのよい分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体素子の製造工程における雰囲気の環境の汚染物質を調べるだけではなく、光化学反応による生成物を調べるために、実際に半導体露光装置で暴露されている環境下でフォトマスクのごく近傍の雰囲気の汚染物質を調べる分析方法及び捕集器を提供する。
【解決手段】捕集材料として常温環境において不揮発性の高分子膜１１を使用して、フォトマスク保管、使用環境のフォトマスク近傍の雰囲気における汚染物質を捕集するために、フォトマスクのサイズ同様のフレーム型の治具であるフレーム１２に高分子膜１１を固定し捕集器１０を作成する。この捕集器１０をフォトマスクの保管、使用環境に放置し捕集を行い、次に、これを脱離して分析すれば雰囲気中の汚染物質を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】レチクルのような検査対象物の洗浄後にその検査面に残留する汚染を分析する際に、検査の信頼度を向上させることができる汚染分析装置及びその方法を提供する。
【解決手段】検査対象物の検査面に残留する汚染を分析する装置であって、前記検査対象物の検査面と液とを接触させて、サンプリング液を抽出するサンプリングモジュールと、前記サンプリング液から前記検査対象物の検査面に残留する汚染物質を分析する分析器とを備え、前記サンプリングモジュールは、前記検査対象物の検査面が収容可能な収容空間が形成された液槽と、前記液槽の収容空間に液を供給する液供給ノズルとを備える。 （もっと読む）

【課題】酸物質や塩基物質をポンプによる吸引等の操作を必要とせず簡便にしかも効率よく吸着させることができるパッシブサンプラーを用いて空間の酸・塩基の量を評価する方法を提供すること。
【解決手段】基板製造工程において、該基板が経由する空間に、吸着剤として、アルカリ金属の炭酸塩およびアルカリ金属の水酸化物からなる化合物群から選ばれる少なくとも１種の化合物を有するパッシブサンプラーを配置することにより、当該空間内の酸物質を該パッシブサンプラー内の吸着剤に吸着させ、次に、該吸着剤から吸着された酸物質を脱離させ、脱離した酸物質を分析する基板製造工程における空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 圧力下にあるガス又はガス混合物から生存粒子及び蘇生可能粒子をインパクションにより再現性よく分離することができる方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、圧力下にあるガス又はガス混合物の生存粒子及び蘇生可能粒子のインパクションによる分離方法に関し、行程でかつ軸（ｘ）に沿って制限体積（Ｖ）にある単一ガス流又はガス混合物流を音速以上の速度に達するように加速する工程（ａ）、大気圧で実質的に同一軸（ｘ）に沿って前記体積にある工程（ａ）からの前記単一流の急激な減速工程（ｂ）、平均で放射状になる体積（Ｖ）の出口でガス流又はガス混合物流の方向を変える工程（ｃ）及びターゲット上で工程（ｃ）で流から分離された前記粒子を捕捉する工程（ｄ）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内等の空気中のケミカル汚染物質等を連続的に監視可能とする。
【解決手段】ｎ種の標準ガスをｍ個のセンサ素子で測定した結果に基づき、そのｍ個のセンサによる検出出力により形成されるｍ次元空間内にｎ本の標準ガスベクトルを作成しておく（Ｓ１、Ｓ２）。所定の測定時間間隔毎に採取した試料ガスを測定した結果をｍ次元空間内に位置付け、その測定点と標準ガスベクトルとの関係から各標準ガスに対する類似性指標値を算出するとともに、類似性がある標準ガス相当の濃度を求める（Ｓ３〜Ｓ６）。この類似性指標値と濃度値とを直接表示することで（Ｓ７）、ユーザーに直感的に理解しやすい情報を提供する。 （もっと読む）

【課題】捕集箇所を選ばず、捕集装置からのコンタミネーションなしにパーティクルをフィルター上に効率よく捕集でき、パーティクルの層別が可能で、さらに安価である気中パーティクル捕集方法および捕集装置を提供する。
【解決手段】メンブレンフィルターを１枚ずつセットした１乃至複数個のそれぞれ孔径の異なるフィルターホルダー１２、１４、・・・と、１分間当たりの吸引量が５〜４０リットルの吸引ポンプ１７とを接続してエアー吸引することにより、前記メンブレンフィルターに気中のパーティクルを付着させて捕集する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで持ち運び可能な装置として容易に構築され、特に、スループットが変化する場合でさえ、高い信頼性と計数精度とを提供する空気細菌捕集装置の提供。
【解決手段】捕集媒体とスクリーンカバー間の規定の相対的な移動を有し、その中に固定された捕集ストリップを有する収容部は回転可能であり、スクリーンカバーは決められた位置に固定される。スクリーンカバーは、収容部が決められた位置に固定されるならば、回転可能に構成されてもよい。相対移動を得るために、捕集ストリップを収容部内で移動させることができる。細菌で満たされた空気は次の方法で移送される。カバーの中心開口および流路開口を通じ、空気は捕集ストリップの凹部内の捕集媒体の表面に到達し、そこで、空中移送の慣性沈着が生じる。空気は、収容部を過ぎて外部ドラムスペースに流れ続け、ファンにより楕円形の穴を通して引き込まれ、空気細菌捕集装置の底部から排出される。 （もっと読む）