説明

Fターム[2G052AC28]の内容

サンプリング、試料調製 (40,385) | サンプリング場所 (980) | 人工環境 (597) | プラント (256) | 半導体製造設備 (68)

Fターム[2G052AC28]に分類される特許

1 - 20 / 68


【課題】本発明は、排ガス処理装置が排出する排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体を効率よく除去可能で、かつガス分析計用前処理装置のメンテナンスの頻度を低減することの可能なガス分析計用前処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】排ガス処理装置11と接続され、排ガス処理装置11が排出する排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニット15と、水分除去ユニット15と接続され、水分が除去された排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニット16と、フッ酸除去ユニット16及び分析計12と接続され、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体を除去し、該粉体が除去された排ガスを分析計12に供給する粉体除去ユニット17と、を有する。 (もっと読む)


【課題】透過型電子顕微鏡(TEM)により一連の回転像を撮影して画像処理を行うTEMトモグラフィーにおいて、位置合わせの目印のために用いる金微粒子は、直径が数nmであり、試料上に分散して載せることが困難であった。針状試料に金微粒子を載せる方法を提供する。
【解決手段】試料を集束イオンビームで針状に加工する際に、同時にマスク10を加工形成する。次に、マスク10を近傍に有する針状試料に対して、所定の角度を持たせて金微粒子を蒸着させると、針状試料の特定の領域には金微粒子が付着し、他の領域にはマスクにより金微粒子が付着しないので、蒸着装置内で金微粒子を付着させる領域と付着させない領域を分離することができる。 (もっと読む)


【課題】純水の濾過時間を短縮することで、純水中の微粒子数測定に要する時間を短縮することができる濾過装置を提供する。
【解決手段】純水中の微粒子数を測定するのに用いる濾過装置1は、濾過膜11を含む濾過手段10と、濾過手段10に純水を供給する純水供給手段20と、濾過手段10に供給される純水を濾過膜11を介して吸引する純水吸引手段30と、濾過手段10に供給され、濾過膜11を通過する純水を加熱する加熱手段70と、を有している。 (もっと読む)


【課題】空間内に存在する化学物質を容易に回収可能な回収装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る回収装置は、一つ又は複数の部材によって構成された空間内の物質を回収する回収装置であって、上記空間内に気体又は溶媒を導入するための導入口を上記部材に形成する、導入用ニードル13と、上記導入口を介して上記空間内に上記気体又は溶媒を供給する供給配管14と、上記空間から上記物質を含む上記気体又は溶媒を排出するための排出口を上記部材に形成する、回収用ニードル15と、上記排出口を介して上記物質を含む気体又は溶媒を回収する回収配管16とを備えている。 (もっと読む)


【課題】試料分解時の不純物の混入を確実に避けることにより、精度の高い多結晶シリコンの分析を可能にする。
【解決手段】上方が開放され、前記試料を収容可能な試料容器と、上方が開放され、前記試料を分解する分解用溶液を保持する溶液容器と、前記試料容器および前記溶液容器を収容して密閉空間を形成するチャンバと、前記試料容器を所定の試料温度に加熱する試料加熱器と、前記分解用溶液を所定の溶液温度に加熱する溶液加熱器とを備え、多結晶シリコンに含まれる不純物濃度を分析するために多結晶シリコンの試料を分解昇華させる装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ポリシリコン等の膜を備える半導体基板がエッチング可能であるとともに、ウェーハ基材のエッチングを抑制できる半導体基板の分析方法を提供する。
【解決手段】本発明は、フッ化水素の蒸気と、放電により発生させたオゾン含有ガスとを用いた気相分解法により分析対象物を含む半導体基板をエッチングし、エッチング後の半導体基板上に回収液を吐出し、回収液とともに分析対象物を回収する半導体基板の分析方法に関する。本分析方法によれば、微量の分析対象物の高感度な分析が可能となる。 (もっと読む)


本発明は、分析されるべき気体の濃度を判定するための気体分析装置を備える、半導体基板の輸送容器内の気体の汚染を測定するためのステーションであって、前記分析装置が、希釈係数(D)によって分析されるべき気体の流れ(Q)を希釈するように構成された希釈ユニット(3)と、ポンピングによって希釈された気体の流れ(Qa)をサンプリングするためにサンプリングパイプ(7)を介して希釈ユニット(3)と連通しており、サンプリングされた希釈された気体の流れ(Qa)を分析し、前記分析された希釈された気体の流れ(Qa)および希釈係数(D)によって分析されるべき気体の流れ(Q)の濃度(C)を判定するための少なくとも1つの処理手段を備える分析ユニット(5)とを備える、気体の汚染を測定するためのステーションに関する。本発明はさらに、関連する気体分析方法に関する。
(もっと読む)


【課題】故障が抑制され、長寿命であり、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスをモニターすることができるガス検出装置およびそれを備えた酸窒化処理設備を提供する。
【解決手段】半導体の製造に用いる酸窒化処理設備1のガス検出装置30において、排ガスを希釈するための希釈用ガスを搬送する希釈用ガス流路33、および処理炉10から排出された排ガスと希釈用ガスとを混合して混合ガスを生成する混合ガス流路35を設ける。これにより、希釈用ガスにより排ガスを希釈して、窒素酸化物を検出するセンサ部36に一定時間に導入される窒素酸化物や硝酸ガスの量を低減し、ガス検出装置の故障を抑制し、長寿命化を図り、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスのモニターを可能にする。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング(摘出)して、分析/計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント(搭載)する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング(摘出)して、分析/計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント(搭載)する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 (もっと読む)


【課題】安定して汚染等の少ない分析を行うことができるクロロシラン類の分析装置および分析方法を提供する。
【解決手段】クロロシラン類Lを蒸発させる蒸発器10と、蒸発により残存した物質r1,r2を分析する分析器と、を備えるクロロシラン類の分析装置において、蒸発器10は、ホットプレート11と、ホットプレート11の上に着脱可能に備えられ、このホットプレート11とともに加熱室13を構成するカバー12と、加熱室13内に配置され、クロロシラン類Lを収容可能な上方を開放状態とした試料容器14と、を備え、カバー12には、13加熱室内に不活性ガスや窒素ガスを供給するための供給口12aおよび加熱室13内の気体を排出するための排出口12bが設けられている。 (もっと読む)


【課題】有機絶縁膜を含む層の境界を明確に判別可能とすることができる試料作製方法および試料作製装置を提供する。
【解決手段】有機絶縁膜と他の絶縁膜とが積層されてなる試料Waに対して集束イオンビーム20Aを照射して試料の断面を露出させる断面露出工程と、断面に対して水または水蒸気を供給しつつ、集束イオンビームを照射して断面の各膜が判別可能となるように処理する断面処理工程と、を有している。 (もっと読む)


【課題】流体供給装置から一定品質の流体を安定して供給する。
【解決手段】流体供給装置の流路内に流体を一定時間封入し、その封入前後の流体の不純物成分量から、その流路内における不純物成分の単位時間当たりの変化量を求める(ステップS1〜S5)。そして、その変化量を、予め設定された許容変化量と比較することにより、流路内に封入した流体の品質や流路の清浄度を判定する(ステップS6,S7)。一定の品質が確認された後、流体供給装置からの流体の供給を開始する。 (もっと読む)


【課題】検水中の極微量の分析対象物質の濃度を連続的に高精度にてモニタリングする。
【解決手段】検水を逆浸透膜分離装置5で処理することにより濃縮水と透過水とに分離する濃縮工程と、該濃縮工程からの濃縮水の一部を逆浸透膜分離装置5の上流側に返送する返送工程と、残部の濃縮水中の分析対象物質濃度を測定装置10で測定する分析工程と、該分析工程の分析結果に基づいて検水中の分析対象物質濃度を演算する演算工程と、該検水を該測定装置10に導入して分析対象物質濃度を直接測定する検水直接測定工程と、直接測定工程での測定したブランク値によって、分析対象物質濃度演算値を補正する補正工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】砥粒の濃度が高いCMPスラリー中に生息する微生物の存在を検査する際、微生物検査の砥粒による誤判定率を下げ、砥粒の濃度が高すぎて濾過することができないCMPを濾過し微生物検査に供することができるようになる微生物分離方法およびこれを用いた微生物検査方法を提供する。
【解決手段】微生物6と固形物7を含んだ被検査試料8をこれよりも比重の高い液状媒体A2に接するように積層し、液状媒体A2の方向に発生させた自然重力以外の重力を加えて、固形物7を液状媒体A2乃至液状媒体D5中で沈降させ、固形物7同士を凝集沈殿させ沈殿物9とする一方、微生物6は液状媒体A2乃至液状媒体D5中に浮遊させ補足することによって微生物6と固形物7を分離し、回収した微生物分離液を微生物検査に供し微生物6高感度に検知する。 (もっと読む)


【課題】 半導体チップの裏面に樹脂が回りこむことを回避して、表面部材が取り付けられている半導体チップに発生している故障を解析するための試料を確実に作成する技術を提供する。
【解決手段】 ワイヤW(表面部材)が取付けられている半導体チップ10に発生している故障を解析するための試料の作成方法であり、定盤40(試料作成用基台)の上面41に半導体チップ10の裏面11に密着する両面テープ30(シート)を配置する工程と、両面テープ30の上面31に半導体チップ10の裏面11を載置する工程と、両面テープ30の上面31に半導体チップ10を取り囲む型枠50を載置する工程と、型枠50内に樹脂60を充填し、ワイヤWと半導体チップ10の両者を樹脂60で封止する工程と、故障箇所Fを半導体チップ10の裏面11から穿孔する工程を備えており、故障箇所Fが内面13a(断面)に露出している試料を作成する。 (もっと読む)


【課題】汚染物質回収用の液体中の汚染物質の濃度が飽和しにくいノズルシステムを実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステム(1)は、先端の押出口(122a)とはキャピラリー(122)で連通する液溜(120)を有するノズル(100)と、前記液溜の液体(140)の一部(140a)を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面(400)を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体(140b)と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段を具備する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、磁気ヘッド等の製造プロセスのチェックを行うための試料作成に関し、より詳細には集束イオンビームを照射して試料の表面の所望する位置に断面を露出する凹部加工を行う試料加工方法と試料加工プログラムに関する。
【解決手段】 本発明の試料加工方法は、試料の表面に形成された基準マーカーを検出して基準マーカーから基準位置を求める基準位置算出工程と、基準位置と断面形成所望位置との距離から所定値を差し引いた第1のオフセット値と基準位置と第1の加工パターンとに基づいてFIBを前記試料に照射して加工する第1加工工程と、基準位置と第1加工工程によって加工された試料の所望位置に近い断面をなす端部との間の距離を計測する計測工程と、計測された距離から所望位置までの未加工距離を求めその未加工距離に第1のオフセット値を加えた第2のオフセットと基準位置と第2の加工パターンとに基づいてFIBを前記試料に照射して加工する第2加工工程と、を有するよう構成する。 (もっと読む)


【課題】シリコンウェーハ上に非検知元素よりなる疎水性膜2を設けた、液滴状分析試料の乾固を行う全反射蛍光X線分析用試料板の改良により、空実験でSiピークを確実に消滅させ、気相分解法と全反射蛍光X線分析を組み合わせる高感度化手法において、Siとエレルギー値の近いP,Al,Mg等も高感度化させる。
【解決手段】Siの特性X線が発生するのは、膜2の表面4で全反射するX線5が表面下8まで侵入し、この領域には微小欠陥群が存在してX線の散乱9が起こり膜界面のシリコンが励起する為と考え、試料板の試料乾固域の下方に十分の広さのシリコン欠如部分(凹部)を設けて、散乱X線9がシリコンと遭遇しないようにした。凹部の天井の乾固用膜は十分に薄く出来て不純物の絶対量が減るので、Siピークの消滅と同時に分析対象元素全般の空試験値も低減させ得る。 (もっと読む)


【課題】検水中の分析対象物質が極微量であっても、小型の装置によって分析対象物質を目的の濃度まで連続的に濃縮し、濃縮された分析対象物質の濃度を連続的にモニタリングすることが可能な検水の連続モニタリング方法および装置を提供する。
【解決手段】検水をRO膜分離処理することにより分析対象物質が濃縮された濃縮水と分析対象物質濃度が低減された透過水とに分離し、濃縮水の一部をRO膜モジュールで循環処理すると共に、残部の濃縮水について分析対象物質濃度を測定し、この結果に基づいて検水中の分析対象物質濃度を演算する。 (もっと読む)


1 - 20 / 68