【課題】
相対湿度の変動による影響を排除して測定精度の向上を実現する浮遊粒子状物質測定装置を提供する。
【解決手段】
湿度センサ５０により検出ユニット２０内の試料大気ガスの湿度を測定し、ヒータユニット３２による試料大気ガスの加温、または、冷却ユニット３３による試料大気ガスの冷却を必要時に行って試料大気ガスの湿度を一定となるように制御し、相対湿度の変動による影響を排除して測定精度の向上を実現するような浮遊粒子状物質測定装置とした。 （もっと読む）

プロセス環境からガスを抽出するプローブ（Ｓ）は、管状要素（２）を備え、これは、前記プロセス環境内に配置される。この管状要素は、一端にガス吸引開口（ＴＳ）を有し、内部キャビティ（ＣＡ）が構成され、これにより、プロセス環境の内部は、ガス取り出しシステムと流体連通するようになっている。さらに、前記プローブは、第２の管状要素（１）を含み、これは、第１の管状要素（２）のキャビティの内部へのびている。この第２の管状要素は、吸引開口端部（即ち、プロセス環境側）に配置の一端（ＵＧ）を有し、これは、前記加速されたガス状流体を第１の管状要素（２）の吸引開口へむけ噴射し、そこから前記プロセス環境へ戻す構造になっている。また、前記プローブに結合できるプロセス環境からガスを引き抜くシステムが回路（４０，Ｃ）を備え、これでプローブの第１の管状要素（２）のキャビティ（ＣＡ）を介してプロセス環境からガスを吸引し、更に、回路（５０，Ｃ）を備え、これで、プローブの第２の管状要素（１）を介して同じプロセス環境へ前記ガスを噴射するようにするシステムも考えられる。 （もっと読む）

本発明は、生物学的粒子を収集するための方法、チップ、装置、及びシステムに関係している。本方法は、帯電した電極に対する生物学的粒子の静電吸着を利用しており、好ましくは、気体サンプルに関して機能する。この方法、チップ、装置、及びシステムは、例えば、空気サンプルからの細菌胞子やウイルスなどの病原粒子の収集に有用であり、この結果、収集された生物学的粒子を分析可能である。
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流入した空気の流れ内の２つ以上のグループの粒子の選択された少なくとも１つに静電荷を印加するように適合されている帯電システムを含んでいる、浮遊微粒子を分類するための装置が提供される。集束システムは、流入した空気の流れよりも細い集束された流れに、帯電された粒子を静電気的に集束させるように適合されている。堆積システムは、集束された流れから粒子をターゲット表面上に堆積させるように適合されており、ここで、ターゲット表面は、その上に堆積された粒子を分析することができる分析システムに搬送されることができる。

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検出システムは、第一粒子を捕捉するための捕集器と、第二粒子のクラスを決定するための第一装置と、第一粒子の正体を決定するための第二装置と、制御システムとを含む。制御システムは、第一装置によって決定されたクラスに基づいて、第二装置によって実行すべき試験を選択するように構成される。
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最大約１００００ｐｓｉ（〜７００ｂａｒ）の圧力で流体試料を濃縮および分離するための濃縮器および分離器を有する流体アナライザ。濃縮器および分離器は、ソリッドステート薄膜ヒータ−吸収体と、固体基板によって支持されるチャンネルとから構成され得る。濃縮器は、試料流体の構成成分を吸収および脱着するための複数の加熱される相互作用的要素を有することができる。相互作用的要素は、ヒータによって時間段階的シーケンス方式で加熱されることができる。分離器は、化合物によって試料流体を分離することができる。熱伝導率検出器、流量センサ、および導電率検出器が、チャンネルに隣接して存在することができる。濃縮器、分離器、ヒータ、およびセンサからなるこのシステムは、試料流体組成についての情報を提供することができる。試料流体がチャンネル内を通り抜けるように、ポンプがチャンネルに接続されることができる。
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本発明は、ガス状媒体を使用する液状媒体の噴霧化及びこうして生成された散布ミストの凝縮を含む、ガス状媒体から諸要素を抽出してそれらを液状媒体に凝集するのに使用される装置及び方法に関する。この発明的装置は、液状媒体を収容するよう設計されていると共に、ガス状媒体搬送導管（３５）、液状媒体を噴霧化する手段（３１，３３）及びガス状媒体放出導管（４５）を具備した、第１の噴霧化・凝縮室（２０）と、前記第１の室内に真空又は過剰圧力状態を確立するための手段とを備えている。本発明は、装置が第２の凝集室（４０）及びそれを冷却するための手段を更に備えることを特徴としている。
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好ましい実施形態では、本発明は、分子状汚染物質に敏感な半導体処理ツールおよび処理に使用される、反応ガス用のガスフィルタを提供する。本発明の反応ガスフィルタは、圧力低下が改善され、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる。本発明の一態様では、本発明は、約０．５リットル以下のフィルタ媒体容積を用いて、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる、圧力低下が改善された反応ガスフィルタを提供する。
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空気中にある、または堆積した、痕跡量の低分子量化合物の検出。
空気中にある、または堆積した、痕跡量の低分子量化合物、例えば麻薬または爆薬、を検出する機構および方法であって、帯電したコレクタ表面（該コレクタ表面は、該コレクタ表面の電荷と反対の電荷で空気中にある粒子をイオン化するイオナイザに接続されている）、所望により使用する空気攪拌手段、採集された材料を該コレクタ表面から抽出するための抽出手段、および該抽出された、採集された材料から該化合物を化学的および／または生物化学的に検出する装置を備えてなる機構および方法を開示する。さらに、該コレクタが、該装置の本体から伸びており、好ましくは取り外し可能な、帯電させることができる採集表面を備えており、所望により、装置の空気をイオン化する部分もイオナイザ／コレクタ装置の本体から、該伸びているコレクタアームと共に、またはそれとは別に、延長されている、変形されたイオナイザ／コレクタ装置を開示する。この装置は、バッテリー駆動および持ち運び可能であり、税関、空港警備および警察による、例えば麻薬または爆薬の検出に、あるいは地雷の検出に使用するのに好適である。
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