プロセス環境からガスを抽出するプローブ（Ｓ）は、管状要素（２）を備え、これは、前記プロセス環境内に配置される。この管状要素は、一端にガス吸引開口（ＴＳ）を有し、内部キャビティ（ＣＡ）が構成され、これにより、プロセス環境の内部は、ガス取り出しシステムと流体連通するようになっている。さらに、前記プローブは、第２の管状要素（１）を含み、これは、第１の管状要素（２）のキャビティの内部へのびている。この第２の管状要素は、吸引開口端部（即ち、プロセス環境側）に配置の一端（ＵＧ）を有し、これは、前記加速されたガス状流体を第１の管状要素（２）の吸引開口へむけ噴射し、そこから前記プロセス環境へ戻す構造になっている。また、前記プローブに結合できるプロセス環境からガスを引き抜くシステムが回路（４０，Ｃ）を備え、これでプローブの第１の管状要素（２）のキャビティ（ＣＡ）を介してプロセス環境からガスを吸引し、更に、回路（５０，Ｃ）を備え、これで、プローブの第２の管状要素（１）を介して同じプロセス環境へ前記ガスを噴射するようにするシステムも考えられる。 （もっと読む）

流入した空気の流れ内の２つ以上のグループの粒子の選択された少なくとも１つに静電荷を印加するように適合されている帯電システムを含んでいる、浮遊微粒子を分類するための装置が提供される。集束システムは、流入した空気の流れよりも細い集束された流れに、帯電された粒子を静電気的に集束させるように適合されている。堆積システムは、集束された流れから粒子をターゲット表面上に堆積させるように適合されており、ここで、ターゲット表面は、その上に堆積された粒子を分析することができる分析システムに搬送されることができる。

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本発明は、ガス状媒体を使用する液状媒体の噴霧化及びこうして生成された散布ミストの凝縮を含む、ガス状媒体から諸要素を抽出してそれらを液状媒体に凝集するのに使用される装置及び方法に関する。この発明的装置は、液状媒体を収容するよう設計されていると共に、ガス状媒体搬送導管（３５）、液状媒体を噴霧化する手段（３１，３３）及びガス状媒体放出導管（４５）を具備した、第１の噴霧化・凝縮室（２０）と、前記第１の室内に真空又は過剰圧力状態を確立するための手段とを備えている。本発明は、装置が第２の凝集室（４０）及びそれを冷却するための手段を更に備えることを特徴としている。
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好ましい実施形態では、本発明は、分子状汚染物質に敏感な半導体処理ツールおよび処理に使用される、反応ガス用のガスフィルタを提供する。本発明の反応ガスフィルタは、圧力低下が改善され、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる。本発明の一態様では、本発明は、約０．５リットル以下のフィルタ媒体容積を用いて、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる、圧力低下が改善された反応ガスフィルタを提供する。
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