【課題】 本発明は、微量物質に対する分光分析方法および分光分析用サンプリングユニットに関するものである。
【解決手段】 本発明の分光分析方法は、試料を加熱し、試料から特定物質の蒸気を発生させる工程と、蒸気中に、電磁波を反射する反射部材に特定物質と相溶性のある有機高分子膜を成膜させたサンプリングプレートを曝露する工程と、有機高分子膜に電磁波を照射し、反射部材から反射されたスペクトルを測定する工程とを有する、よう構成する。 （もっと読む）

【課題】配管と管板の接合部の物性に影響を与えることなく、接合部を採取するサンプル採取方法を提供する。
【解決手段】
配管２及び管板３の接合部４を採取するサンプル採取方法であって、
サンプルとして採取する配管２をターゲット管２ａとし、ターゲット管２ａの外周側に位置する複数の配管２を準ターゲット管２ｂとし、準ターゲット管２ｂの外周側に位置する複数の配管２を切取管２ｃとしてマーキングする準備工程と、
準備工程の後、ターゲット管２ａ、準ターゲット管２ｂ、切取管２ｃ及び管板３を切断する工程とを備え、
切取管２ｃ及び管板３を切取管部分で切断する工程では、切取管２ｃの内孔を広げるようにドリル７により切取管２ｃ及び管板３を削り込み、切取管２ｃの肉厚を削り取って切取管２ｃを切断し、更に隣り合う削り込みによる孔ｈが連結するようにして管板３を切断する。 （もっと読む）

【課題】電解質等の多成分セラミックスの組成を、迅速性をもって高精度で分析可能な分析方法を提供する。
【解決手段】多成分のセラミックスの成分分析による評価方法において、第一の工程と第二の工程からなり、第一の工程は微量の電解質のアルカリ，アルカリ土類金属，遷移金属，希土類元素と電極の白金属を含む材料の試料を採取し、酸分解して溶液化することであり、第二の工程は電解質の多成分をＩＣＰプラズマ発光分析法により逐次一斉分析し定量分析して組成を評価するものである。 （もっと読む）

【課題】追加の試験や処理の繰り返しの後に病理学者は検査手順を繰り返し、それから更に最終結果が出るまで作業を繰り返すことになる。これらの処理に自動化装置を使用したとしても、多くの運搬作業や人手の介入が必要である。
【解決手段】少なくとも染色モジュール２１０とカバースリップ付着モジュール２２０のどちらか一方と、画像化モジュール２３０と、保存モジュール２０２と、少なくとも一個のスライド４２４を染色モジュール２１０とカバースリップ付着モジュール２２０のどちらか一方、画像化モジュール２３０及び保存モジュール２０２の間で搬送するための自動搬送モジュール３０２と、コントローラ４００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板上の半導体デバイスを均一に汚染した試料を作成できる試料汚染方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施形態に係る試料汚染方法は、汚染物を含有する薬液を筺体内へ噴霧する工程と、噴霧により薬液が充満した筺体内へ半導体基板を搬入する工程と、薬液が充満した筺体内へ半導体基板を所定時間放置する工程と、所定時間経過後に、半導体基板を筺体内から搬出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明における課題は、設置スペースを広く確保しなくても一度に多くのスライド標本の配置を可能にすると共に処理能率の向上が図れるようにする生物反応装置を構成する点にある。
【解決手段】複数の標本スライドが横一列にセットされ上下多段に配置されたスライド支持手段とそのスライド支持手段の全体を、上下動させる昇降手段と、昇降するスライド支持手段を、所定の高さ位置の作動待機位置に位置決め静止させる位置決め手段と、作動待機位置に位置決めされたスライド支持手段を前方の分注動作位置及び分注動作位置からさらに前方の洗浄動作位置へそれぞれに押し出すとともにもとの作動待機位置へ引き戻すよう移動させるスライド移動手段と、前記分注動作位置、洗浄動作位置に押し出されたスライド支持手段にセットされている標本スライドに対し試薬を滴下する滴下手段と洗浄水を噴射する洗浄手段とにより構成する。 （もっと読む）

【課題】冷却される処理プロセスを自動的に、かつ長時間操作することを可能にする冷媒装置を実現する。
【解決手段】サンプルを配置するためのサンプルステージ１０２を有し、冷媒が入っている冷媒容器を有し、及び少なくとも１つの、サンプルステージ１０２を当該冷媒に熱伝達可能に接続する熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂを有するイオンビームエッチングプロセスにおけるサンプルのための冷却装置１０１であって、当該熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂに熱伝達可能に接続される冷却フィンガ状部材１０５を有し、当該冷却フィンガ状部材１０５は、冷媒が通って流れることが出来、かつ当該冷媒容器に接続可能な導管を含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ等のシリコン試料の所望領域において、ドーパント種（Ｂ、Ｐ）を特定および定量するための手段を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、シリコン試料の一部または全部を分解すること、上記分解後に得られるシリコンを含む溶液を加熱蒸発させること、ただし、液滴が１滴残留している状態で加熱蒸発を停止し、上記液滴を回収し、該液滴中に含まれるボロンおよびリンからなる群から選ばれるドーパント元素を誘導結合プラズマ質量分析装置により分析すること、を含むことを特徴とする、シリコン試料の分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの金属不純物の元素情報及び空間情報を高感度且つ高精度で取得することができ、加えて低コスト且つ簡便に実現することができるシリコンウェハの金属不純物分析方法を提供する。
【解決手段】気相エッチング用のＯ_３／ＨＦ混合ガスをシリコンウェハ表面に噴射し、シリコンウェハ表面を気相エッチングする。これにより、第１表層のシリコンが分解され、該第１表層に含まれる金属不純物がその位置をほぼ維持したまま第１表層分解後のシリコンウェハ表層に蓄積する。また、第１表層分解後のシリコンウェハ表面は、Ｏ_３／ＨＦ混合ガスによる気相エッチングにより鏡面化される。その後、気相エッチングにて鏡面化されたシリコンウェハ表面をＴＸＲＦ法にてスキャンし、シリコンウェハの第１表層に含まれる金属不純物の面内分布情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】減厚による歪緩和の影響を補正して、バルクの結晶中の歪を測定する。
【手段】結晶基材を含む被測定試料に集束イオンビームを照射して減厚し、被測定試料薄片とする減厚工程と、減厚工程途中の複数時点で、被測定試料薄片に集束電子線を照射して高角度散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３を測定する工程と、前記複数時点で、結晶基材の格子定数を電子線回折法により測定し、被測定試料薄片の歪Ｅ１〜Ｅ３を算出する工程と、散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３及び歪Ｅ１〜Ｅ３に基づき、散乱電子の電子線強度Ｉを変数とする歪の近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）を作成する工程と、減厚に伴い歪緩和が始まる臨界厚さに等しい厚さの結晶基材に、集束電子線を照射したとき測定される高角度散乱電子の臨界電子線強度Ｉｏを予測する工程と、臨界電子線強度Ｉｏを近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）に代入して、被測定試料の歪Ｅｏを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は，イオンビームによる断面形成時間を短縮する加工方法，およびウェーハから微小試料を分離する加工時間を短縮する加工方法，およびイオンビーム加工装置を提供することにある。
【解決手段】本発明によるイオンビーム加工装置は，真空容器４１を有しており，真空容器内には，デュオプラズマトロン５１，非軸対称イオンビームレンズ５２，ステンシルマスク５７，などから構成されており，断面に垂直方向に急峻なビームプロファイルを持つアルゴンイオンビームにより試料１１から微小試料１３９を摘出する。
【効果】本願によると，デバイス製造ウェーハ検査・不良解析のための断面観察結果が短時間で得られる。さらに試料を取り出したおよびウェーハをプロセスに戻しても不良を発生させない新たな検査・解析方法，および高歩留まりの電子部品製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡を用いた鉄鋼材料の微細構造の観察に適した電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡による鉄鋼材料の観察に用いる電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、鉄鋼材料を電解研磨して得た電解研磨試料に、濃度０．１質量％以上０．５質量％以下の水酸化ナトリウム水溶液、或いは、濃度０．１質量％以上０．５質量％以下のアスコルビン酸またはアスコルビン酸塩の水溶液を用いて表面処理を施す表面処理工程と、表面処理工程を経た電解研磨試料を乾燥させる乾燥工程とを含むことを特徴とする、電子顕微鏡観察用試料の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】棚の向きを変えるための経費が可能な限り小さくなるように、単純かつ短時間で棚の配向を変える能力を提供すること。
【解決手段】組織学的な検査のための組織サンプルを調製するシステムにおいて使用される標本スライドガラスの棚を回動させるための棚回動装置であって、棚回動装置は、少なくとも１つの棚のための棚受容部を有し、当該棚は、第１の状態では、棚の中の標本スライドガラスが、前記棚の長軸に対して直交し、かつ、互いに隣り合うように載置されるように、棚受容部に水平に配向され、棚受容部は、棚が垂直方向に配向する第２の状態へ回転軸を中心として旋回可能である。ここで、回転軸を中心に１８０度回転させる手段によって棚が第１の状態と、第２の状態の間で可逆的に旋回することが可能なように、棚の回転軸が棚の水平な長軸に対して斜めに延在する。 （もっと読む）

【課題】断面試料作製時に、ボイド、異種物質由来の凹凸の発生を抑え、観察／分析に好適な試料断面を作製する。
【解決手段】イオンビーム２の光軸（Ｚ軸）に対し試料３をチルト振動させて、試料３の加工面３ａが傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に向いた面状態と、その面状態から加工面３ａの試料台側部分が加工面３ａのマスク側部分よりも傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に突出したチルト面状態との間での、試料３の加工面３ａの傾斜及び傾斜回復を繰り返すことにより、加工面３ａにイオンビーム２が低角度照射し、ボイド６１、異種物質６２由来の凹凸６３を抑える。 （もっと読む）

【課題】所望の被測定箇所における不純物の検出下限値を向上させ、正確に不純物濃度を測定する。
【解決手段】本発明の表面不純物測定方法は、まず、被測定物２００の表面における被測定箇所に溶媒を滴下する。このとき、溶媒を留めておくための溶液保持部材（たとえば小片化基板４２０）を、被測定物２００の一部領域上に載せた状態で、溶媒を保持することにより試料溶液３００を作製する。次いで、試料溶液３００を溶液抽出部５６０で抽出する。その後、試料溶液３００の不純物分析を行う。 （もっと読む）

【課題】低侵襲であると共に、角層細胞表面の物理的／化学的特性に影響を与えずに、角層細胞の物性を簡便、正確かつ客観的に測定する、角層細胞の物性測定方法を提供する。
【解決手段】片面に粘着層を有する、透孔を設けた支持体をヒトの皮膚に貼着し、前記支持体を皮膚から剥離して支持体に角層細胞を接合採取し、透孔内の角層細胞に対して支持体の非接合側から走査型プローブ顕微鏡観察を行い、角層細胞の物性を測定する、角層細胞の物性測定方法。 （もっと読む）

【目的】生体試料中の2-アラキドノイルグリセロール（2-AG）を実質的に1-AGに変化させることなく2-AGを測定して定量する方法を提供すること。
【解決手段】生体試料中の2-AGを、アセトン、テトラヒドロフラン、メチルエチルケトンまたはアクリロニトリルなどの非プロトン性溶媒で精製することによって、2-AGを実質的に1-AGに変化させることなく2-AGを直接定量することができる。生体試料中の2-AGを直接定量することができることから、高脂肪食摂取によって段階的に上昇する脳内2-AG量を測定することにより、早期に脂肪嗜好性を発見できる。これにより、肥満を予防する薬や食品の開発に繋げることができると期待できる。 （もっと読む）

【課題】試料識別標記や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダを要せず、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別する分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の分析装置は、カセット２１の種類を識別するカセット部２０と、試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料が載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ８と、カセット２１から試料ホルダ８へ試料Ｓを搬送する搬送手段２３と、試料ホルダの挿入口の径方向端８４または輪状の台座の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別信号および試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 短時間で電子顕微鏡観察用の試料を作製する。
【解決手段】 ポリイミド樹脂からなる第１の基材１上に、被検試料３と流動状態の硬化性樹脂４とを載せ、ポリイミド樹脂からなる第２の基材２を第１の基材１に重ね合わせて硬化性樹脂４を硬化させて、第１の基材１と、硬化性樹脂４の内部に被検試料３を位置させた硬化性樹脂層５と、第２の基材２とが順に積層された積層体６を作製する。積層体６を積層方向に切断し、切断した面にアルゴンイオンエッチングを施す。 （もっと読む）

【課題】パルス数とステージの傾き量とを精度良く対応付けながらステージを傾斜させることが可能で、且つ固有の誤差に影響されずにステージの実際の傾斜角度を外部に出力すること。
【解決手段】ステージ３０と、２軸回りに回転可能にステージを支持する軸受部３１と、上下動可能な可動ロッド３２、３３と、可動ロッドを上下動させてステージを２軸回りに回転傾斜させるロッド可動手段３５、３６と、を備え、ロッド可動手段が、パルスモータ４８、６２の回転軸に連結されたカム体４９、６３と、可動ロッドを支持すると共にカム体の回転に伴って周期的に上下動させられる従動体４６、６０と、パルスモータを制御する制御部５１と、を備え、制御部が、ステージが２軸回りに回転傾斜させられた際、その傾斜角度に対応したパルス数を補正変換式で補正しながら再度傾斜角度に変換した後、該傾斜角度を出力指令値として出力するチルトステージ１０、２０を提供する。 （もっと読む）