【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ビーム誘起堆積を用いて、極低温で基板上に材料を堆積するように改善した方法を供することである。
【解決手段】 ビーム誘起堆積を用いることによって、極低温にて基板上に材料を堆積する方法。前駆体気体が、前記基板の極低温よりも低い融点を有する化合物の群から選ばれる。好適には、前記前駆体気体は、所望の極低温にて0.5〜0.8の付着係数を有する化合物の群から選ばれる。この結果、前記前駆体気体は、前記所望の極低温にて、前記基板表面に吸着する前駆体分子と前記基板表面から脱離する前駆体気体分子との間で平衡に到達する。適切な前駆体気体は、アルカン、アルケン、又はアルキンを有して良い。-50℃〜-85℃の極低温では、ヘキサンが材料を堆積する前駆体気体として用いられて良い。-50℃〜-180℃の極低温では、プロパンが前駆体気体として用いられて良い。 （もっと読む）

【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル２、吸着装置１０、回転駆動機構２０、ワーク突き上げ機構３０、および検査機４０を有し、吸着ヘッド１１とワーク突き上げピース３１が検査部５に対向して配置され、回転テーブル２が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークＷを検査部５に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構３０がワークＷをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド１１に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構２０が吸着ヘッド１１と一緒にワークＷを回転させて検査機４０による検査が行われるようにした。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により一連の回転像を撮影して画像処理を行うＴＥＭトモグラフィーにおいて、位置合わせの目印のために用いる金微粒子は、直径が数ｎｍであり、試料上に分散して載せることが困難であった。針状試料に金微粒子を載せる方法を提供する。
【解決手段】試料を集束イオンビームで針状に加工する際に、同時にマスク１０を加工形成する。次に、マスク１０を近傍に有する針状試料に対して、所定の角度を持たせて金微粒子を蒸着させると、針状試料の特定の領域には金微粒子が付着し、他の領域にはマスクにより金微粒子が付着しないので、蒸着装置内で金微粒子を付着させる領域と付着させない領域を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビーム加工装置用のマニピュレータのプローブ装置について、シンプルな構造で低コスト、汎用性のある装置構成で、広い特定領域からの抽出を実現する。
【解決手段】集束イオンビーム加工装置内において、ｎ本（ｎ≧２）に分岐した櫛形状の先端部１３を有し、その分岐間隔が２０〜２００μｍと幅広く、広い領域の特定部位を自在に抽出することができる集束イオンビーム加工装置用プローブとその簡便なプローブ製造方法を提供する。櫛形状プローブの先端部１３がプローブ支持部１２と角度を有し、先端部１３が試料６に平行に操作され、精度よく広い領域の特定部位を抽出することができる。その製造方法は、３０μｍ厚み以下の金属薄板１５から櫛形状部位１６を集束イオンビーム加工技術により切り出し、真空装置内でマニピュレート操作できる機構のプローブ支持部１２に、ガスデポジション機能を用いて取り付けて一体化する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】金属主成分を含有する難溶解性試料の不純物元素をアルカリ融解法で分析する方法において、試料及び融解に使用したアルカリに含有する主成分元素と不純物元素を分離し不純物元素を高精度に定量する。
【解決手段】試料をアルカリで融解して得られる分解物を陽イオン交換分離に最適な無機酸で溶解後、該溶解液を陽イオン交換樹脂を充填したカラムへ注入し陽イオン成分を吸着後、無機酸からなる一次溶離液を注入し融解に使用したアルカリに含有する主成分元素を流出除去後、その無機酸より高濃度の無機酸からなる二次溶離液を注入しカラムから流出した不純物元素を定量した。 （もっと読む）

【課題】大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
【解決手段】ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜１０００℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料（内標準試料）に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 （もっと読む）

【課題】無機物を含む物質から、極めて短時間で多量の無機成分の溶出を可能とする無機成分の溶出方法、および前記溶出方法により溶出した無機成分の分析方法、ならびに無機成分の溶出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、無機物を含む物質と水とを耐圧密閉容器に装入する装入ステップと（ステップＳ１０１）、前記耐圧密閉容器を７５℃〜３７０℃に加温して、収容される水を飽和蒸気圧以上の高温高圧水にする加温ステップと（ステップＳ１０３）、前記加温ステップで生成した前記高温高圧水と前記無機物を含有する物質との接触により前記物質中の無機成分を前記高温高圧水中に溶出させる溶出ステップと（ステップＳ１０４）、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオンビームを用いて試料を鏡面研磨する断面観察試料の作製方法であって、複数の試料について、分析に充分な研磨面積を得るために要する時間が短縮された方法を提供する。
【解決手段】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、前記被加工物が、２個の試料からなる対を１対以上含み、前記対を構成する２個の試料のイオンビーム照射される部分が、それぞれ、イオンビームの中心線を含む平面の両側に、前記平面に対向して配置されていることを特徴とする断面観察試料の作製方法。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ高精度な測定を実現する試料の断面形成方法、固定用治具および測定方法、を提供する。
【解決手段】試料の断面形成方法は、減衰全反射法を利用した赤外分光法において、フィルム状の試料２１に測定用断面２２を形成するための方法である。試料の断面形成方法は、試料２１を補強用シート３１間に配置するステップと、補強用シート３１に対してその両側から試料２１を挟み込む方向の外力を作用させるステップと、補強用シート３１に外力を作用させた状態で、補強用シート３１の端部を試料２１ごと除去することによって、試料２１に測定用断面２２を得るステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】イオンビームを用いて試料を鏡面研磨する断面観察試料の作製方法であって、複数の試料について、分析に充分な研磨面積を得るために要する時間が短縮された方法を提供する。
【解決手段】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、前記被加工物が、２個の試料よりなり、前記２個の試料のイオンビーム照射される部分が、互いに密着又は近接して配置されており、かつ、イオンビームの照射方向に直交する方向、又は、イオンビームの照射方向に平行な方向に並べられていることを特徴とする断面観察試料の作製方法。 （もっと読む）

【課題】初心者でも簡単に観察したい部位を切り出すことができる生体標本成形装置を提供すること。
【解決手段】組織を薄切りして固定液に浸漬し、樹脂材料で平板状に包埋して製作された生体試料１２を、選択対象エリアの特定のため、光学顕微鏡２１により観察可能に構成された観察機構１３と、生体試料１２から選択対象エリアをナイフ３６で押し切りして生体標本を成形可能に構成された切出機構１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うこと。
【解決手段】試料分析を行う質量分析装置に導入させるための試料を切符９から採取する試料採取装置であって、内部を通過する切符９に付着した試料を気化させる気化容器本体と、一端が気化容器本体内に開口し、他端が質量分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路２４１とを備え、気化容器本体の内面には、試料引込み流路２４１の試料引き込み口２４５と切符９とを離間させる台形状凸部２５３ａが試料引き込み口２４５面に沿って設けられている試料採取装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】撮像によるフィラーの分散度評価を適切に行えるフィラー分散度の評価試験体の前処理方法、分散度評価方法、分散度評価装置を提供する。
【解決手段】未加硫ゴム又は加硫ゴムを主成分としフィラーを含有するゴム素材のフィラー分散度を測定する際に使用する評価試験体７の前処理方法として、冷却手段９によって評価用ゴム素材Ｓを所定温度で所定時間冷却する工程と、冷却されて硬化した前記評価用ゴム素材Ｓを切断手段１０で切断し、得られた評価試験体７の切断面が前記フィラー分散度を評価する測定部８を形成できるようにする切断工程とを備えた前処理方法とした。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、同一装置により、エッチング工程と回収工程の両工程が行える、小型で簡易的な分析装置であって、基板に形成された膜の種類によらず分析可能であり、基板上の局所分析にも好適な分析装置を提供する。
【解決手段】本発明は、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とからなる２重管ノズルを備え、回収手段は２重管ノズルのノズル本体であり、エッチング手段はノズル本体と外管との間に供給されるエッチングガスである基板分析装置に関する。本発明は、同一装置によりエッチング工程と回収工程の両工程を行うことができる分析装置であり、簡易的な分析や、基板の特定箇所についての局所的な分析にも好適である。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面を転写した型取り材から観察用試料を簡便かつ効率的に作製できる観察用試料作製装置を提供することにある。
【解決手段】被検体の表面を転写した型取り材から観察用試料を作製する観察用試料作製装置であって、型取り材Ｍを支持する支持台１１と、支持台１１上に設けられ、所定の方向にて隣接して配置されると共に、当該所定の方向に直交する方向で対向して配置される６つの支柱２１〜２６と、支柱２１〜２６のそれぞれに取り付けられる押え板３１〜３６と、押え板３１〜３６を固定するナット４１とを備える支持機構１０を有する。 （もっと読む）