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Fターム[2G052AD52]の内容

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【課題】微小な特定箇所を劈開して断面を得ることができるミクロ断面加工方法の提供を提供する。
【解決手段】試料表面2aに、観察対象3が含まれる線状の断面予想位置3Lを決定する工程と、断面予想位置に対して、集束イオンビーム20Aを垂直または傾斜角を持って照射させ、断面予想位置の前方の位置で断面10を形成する工程と、断面の両端部に集束イオンビームを照射させ、断面予想位置より後方の位置まで延びる側面切込み12、12を形成する工程と、断面予想位置より後方の位置まで延びる底部切込み14を形成する工程と、側面切込みから断面予想位置に沿って集束イオンビームを照射させ、底部切込みに接続する楔16,16を形成する工程と、試料の断面予想位置より前方の部位2xに衝撃を加え、楔で挟まれた断面予想位置の近傍を劈開させ、劈開面Sを形成する工程とを有するミクロ断面加工方法である。 (もっと読む)


【課題】薄切片を所望の切片厚で高精度に切削すること。
【解決手段】この薄切片作製装置は、制御部が、包埋ブロックBを加湿手段6により予備加湿した後、移動手段により支持体とカッター3とを相対的に前進移動させ、包埋ブロックをカッターにより予備切削し、その後、包埋ブロックを加湿手段により本加湿すると共に、調整手段により支持体とカッターとを相対的に切片厚だけ前進移動させた後、移動手段により支持体とカッターとを相対的に、予備切削時と同じ速度で前進移動させ、包埋ブロックをカッターにより本切削して薄切片を作製し、制御部が、予備加湿後から予備切削を開始させるまでの時間と、本加湿後から本加湿を開始させるまでの時間と、を同じにすると共に、予備加湿及び本加湿のそれぞれを同じ加湿条件で行う。 (もっと読む)


本発明は、ウエハ表面の欠陥分析のためにウエハ欠陥部位にイオンデコレーションを行う際に、デコレーション作業とイオン抽出作業とを別に分離し、イオン抽出の完了した電解液を循環させることで、デコレーション作業時に面倒で長い時間がかかる過程を最小化し、全体デコレーションにかかる時間を画期的に短縮させて、終局としてウエハ欠陥分析時間の短縮と欠陥分析の効率性を向上させることができるウエハ欠陥分析装置及びこれに用いられるイオン抽出装置、並びに該ウエハ欠陥分析装置を用いるウエハ欠陥分析方法を提供する。
また、デコレーション作業のためのイオン抽出時にイオンの活動性を向上させてイオン抽出時間を画期的に短縮させることができるウエハ欠陥分析装置及びこれに用いられるイオン抽出装置、並びに該ウエハ欠陥分析装置を用いるウエハ欠陥分析方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】組織マイクロアレイ作製方法を提供する。
【解決手段】包埋皿と型枠とを加熱し、包埋皿にドナーブロックと比べて少なくとも1℃高い融点を有するパラフィンを流し込み、加熱された型枠をセットし、冷却してパラフィンを固化する工程、固化されたパラフィンから型枠を引き抜き、組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロックを作製する工程、ドナーブロックから円柱状の組織を引き抜き、引き抜かれた組織を組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロック上の円柱状の穴に挿入する工程、ドナーブロックからの組織が挿入された組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロックに、ドナーブロックと同一の融点を有する加熱溶解されたパラフィンを流し込み、当該レシピエントブロックを、ドナーブロックの融点より高いがレシピエントブロックの融点より低い温度でインキュベーションし、ドナーブロックのパラフィンを溶解させる工程を含む。 (もっと読む)


【課題】観察対象の標本の特徴を取得するために最適なシステム環境を自動的に設定すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態において、顕微鏡観察システム1は、顕微鏡を用いて標本を観察する観察部3と、観察部3の動作を制御する観察システム制御部5と、標本の属性を示す属性値に応じて定められた特性データを属性値毎に記憶する特性データ記憶部7とを備える。そして、観察システム制御部5において、特性データ選択部542は、特性データ記憶部7に記憶された特性データの中から、染色標本属性指定部541によって指定された観察染色標本の属性値に応じた少なくとも1つの特性データを選択する。そして、特性データ解析部543は、選択された特性データを解析し、システム環境設定部544は、解析結果をもとに観察染色標本を観察する際の観察部3の動作環境を設定するためのシステムパラメータを設定する。 (もっと読む)


【課題】 粒度を変化させることなく供試体を水で確実に飽和させることができると共に、供試体の粒度差により供試体の飽和速度に差が生じることがない三軸試験用供試体を作製する方法を提供する。
【解決手段】 粒度を調整した試料Xを5つの脱気用容器1の収容部7に分けて入れ、脱気用容器1の開口部を蓋体3で覆った状態で収容部7の内部の空気を真空ポンプPで吸引して、収容部7に負圧を作用させる。この後、収容部7の試料Xを、内壁をゴム製メンブレン21で覆った供試体作製用の型枠20の内部に移して、その内部に下部側から堆積させ、一つの脱気用容器1の試料Xを入れ終える毎に試料Xをランマー28で突き固める。脱気用容器1の収容部7から型枠20の内部に試料Xを移す工程と、この試料Xを突き固めする工程は交互に行い、5つの脱気用容器1の収容部7に入れた試料Xを全て突き固めする。型枠20を用いて作製した供試体Yは、三軸試験装置30に設置した後、真空ポンプPで低めの負圧を作用させながら脱気水を供給する。 (もっと読む)


【課題】少量のサンプルで簡便に短時間で、金型汚れと相関性のある樹脂組成物の揮発成分を定量する方法を提供する。
【解決手段】樹脂組成物を、開口部と該開口部を遮蔽する透光性の蓋部材を有する容器に入れ、該樹脂組成物を加熱し揮発成分を蓋部材に付着させた後、該蓋部材のヘーズ値を測定する樹脂組成物の揮発成分の定量方法であって、
該容器の開口部と蓋部材の間に、該開口部の面積に対し0.15〜0.45%の面積の隙間を設ける樹脂組成物の揮発成分の定量方法。 (もっと読む)


【課題】FIBにより試料を作製する際に試料の表面に形成されたアモルファス層の厚さを、試料を破壊することなく正確に確認、評価する。そして、その結果に基づいて、多くの時間と手間を掛けることなく、アモルファス層を的確に可能な限り低減、除去して、良好な観察を行うことができるTEM試料を提供する。
【解決手段】表面にアモルファス層が形成されている試料の表面に電子線を照射し、試料を透過して得られた電子回折図形の輝度に基づいて、アモルファス層の厚さを評価する。電子回折図形内の回折スポットを結ぶ直線における輝度のラインプロファイルの内、最も高い輝度をY2とし、最も低い輝度をY1としたときの輝度の比率(Y1/Y2)を、アモルファス層の厚さが既知である他の試料における輝度の比率(Y1/Y2)と比較してアモルファス層の厚さを評価して、アモルファス層の厚さが所定の値以下となるまで、アモルファス層を低減、除去する。 (もっと読む)


【課題】サンプリング動作中にステージを移動させることなく試料から試料片を短時間に取り出すことができるイオンビーム加工装置及び試料加工方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ31を保持する試料ステージ33と、イオン源11で発生したイオンビーム12をマスク15によってプロジェクションビームに成形するプロジェクション光学系を有し、イオンビーム12を試料面に斜めに照射可能な第1イオンビームカラム10と、第1イオンビームカラム10よりもイオンビーム22を細く絞ることが可能なイオンビーム光学系を有し、第1イオンビームカラム10と同時にイオンビーム22を試料面に垂直に照射可能な第2イオンビームカラム20と、イオンビーム12,22の照射により加工した試料片50をウェーハ31から摘出するマニピュレータ42と、摘出した試料片50を保持するカートリッジ51とを備える。 (もっと読む)


【課題】短繊維を含むコンクリートを型枠に充填した際、短繊維の種類にかかわらず、短繊維の分散状態を簡便に確認することが可能な短繊維の分散性確認方法を提供する。
【解決手段】高流動コンクリート1を充填後、所定の時間が経過したら蓋型枠板3aを取り外して、コンクリート採取対象箇所にコンクリート採取器10を差し込む。コンクリート採取器10は、周囲からコンクリート採取対象箇所へ高流動コンクリート1が流入することを防止するための筒状の枠10aと、フランジ10bとを備える。 (もっと読む)


【課題】基台に立設した2本のリニアシャフトに摺動自在にスライド台を設け、ネジ棒の上端のハンドルを回転することにより、スライド台が降下し、スライド台の下端に固定した刃部取付部から突出させた鋭利な刃部を有するスペーサーを介装した一対の切断刃で切断するもので、平行な2面を有し且つスペーサーの厚みの検査片を容易に誰でもが切り取ることができる。
【解決手段】基台1に固定されたパウチ載置台2と、基台1に立設したリニアシャフト3と、リニアシャフト3を貫通させたリニアシャフト用孔4aとネジ孔4bとを形成したスライド台4と、リニアシャフト3を固定した上方枠体5と、上方枠体5に貫設した貫通孔5aと、貫通孔5aに貫通させハンドル6を固定すると共にネジ孔4bに螺合させたネジ棒7と、スライド台4に固定した刃部取付部8とを備え、刃部取付部8から突出させた一対の切断刃9を取着し間には板状のスペーサー10を介装させた。 (もっと読む)


【課題】迅速な乾式法による分析を適用しても、亜鉛めっき浴の組成を正確かつ簡便に分析できる溶融亜鉛の分析用サンプル容器およびそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】側壁部と、前記側壁部から分離可能な平坦な底部とからなり、前記底部には冷却機構が備えられ、かつ少なくとも前記底部の溶融亜鉛と接する面がステンレス鋼、銅、グラッシーカーボン、窒化ホウ素のいずれかよりなる溶融亜鉛の分析用サンプル容器。 (もっと読む)


【課題】表面に有機物が形成されている試料の断面を精度よく得ることができる断面加工方法及び断面観察試料の製造方法を提供する。
【解決手段】有機物の層又は構造8を表面に有する試料2に、集束イオンビーム装置100を用いて集束イオンビームを照射し、試料の断面加工位置Lに断面加工を行う方法であって、保護膜となる原料ガスの存在下、断面加工位置を含む試料の表面に集束イオンビームを照射し、有機物の層又は構造の表面に保護膜7aを形成する保護膜形成工程と、保護膜が形成された断面加工位置に、保護膜形成工程における加速電圧より高い電圧で集束イオンビームを照射し、断面加工を行う断面加工工程とを有する試料の断面加工方法である。 (もっと読む)


【課題】試料の加工断面に不要な段差やリデポによる不要な付着物が生じることを確実に防ぐことのできる試料加工装置を提供する。
【解決手段】試料1が載置される試料台3aと、試料台3aに載置された試料1を間に挟んで試料台3aと対向するように配置された遮蔽板2と、遮蔽板2の上方に位置するイオンビーム源とを備え、試料台3aの先端側に位置する試料1の部分で遮蔽板2の側縁部2aから露出された箇所1aに、イオンビーム源からのイオンビーム10を照射して試料1の加工を行う試料加工装置において、試料台3aが、遮蔽板2よりも熱膨張率の大きな材料により構成されている。 (もっと読む)


【課題】イオンビームの照射により断面を露出させた試料を作製するため試料をイオンビームに対する所定位置に保持する試料作製装置において、イオンビームによる試料の加工中にイオンビームを遮断する遮蔽板のイオンビームに接近する方向への移動を防止し、良好な断面が現れた試料を作製する。
【解決手段】基端側を支持され先端側が自由端である第1の支持部材2と、第1の支持部材2の先端側に基端側を支持され先端側が第1の支持部材2の基端側に向けた自由端である第2の支持部材9と、第2の支持部材9に支持された遮蔽板10と、第2の支持部材9に取り付けられた加熱ヒーター13を備え、第2の支持部材9は加熱ヒーター13により加熱せられて前記第1の支持部材の基端側方向に膨張する構造となされ、遮蔽板10の第1の支持部材2の先端側に向かう一側縁をイオンビームBの照射位置として保持し、遮蔽板10によりイオンビームBが遮蔽される位置に設置された試料101の遮蔽板10の一側縁より露出した箇所への加工を行う。 (もっと読む)


【課題】放射性物質測定装置において、回収ステーションで使用済み捕集部材が回収された後にそれを簡便に廃棄できるようにする。
【解決手段】上面板には、底面開口部から使用済み捕集部材が順次入れられてその内部に使用済み積層体が構成される回収タワー226が搭載される。回収タワー226内の使用済み積層体234の廃棄の際には回収タワー226が上面板から外され、当該回収タワー226をその上面開口部226Aを下にして傾斜又は倒立させることにより、その上面開口部226Aから使用済み積層体234が取り出されて廃棄される。 (もっと読む)


【課題】標的物質の結晶化の高スループットスクリーニングを行うこと。
【解決手段】標的物質の結晶化の高スループットスクリーニングが、標的物質の溶液を、微細製作された流体デバイスの複数のチャンバ(9102a、9102b)内に同時に導入することによって達成される。次いで、この微細製作された流体デバイスは、チャンバ(9102a、9102b)内の溶液条件を変更するように操作され、それによって、多数の結晶化環境を同時に提供する。 (もっと読む)


【課題】エンジンの運転状態や排気の温度によらず安定して濃度を検出できるPMセンサを提供すること。
【解決手段】PMセンサは、エンジンの排気管に設けられたセンサ電極部を有し、排気に含まれるPMが付着したセンサ電極部の電気的特性に基づいて、排気のPM濃度を検出する。PMセンサは、センサ電極部に付着したPMの温度を、その電気物性が安定する安定PM温度範囲内に制御した上で、センサ電極部の静電容量変化量ΔCを測定し、測定した静電容量変化量ΔCに応じて排気のPM濃度を検出する。 (もっと読む)


【課題】変化しやすい内部組織を有する結晶性樹脂成形品等の内部組織の形態を変化させずに、組織の形態を保持させたまま観察するための前処理方法を提供する。
【解決手段】無機充填剤を含む樹脂成形品の内部組織を観察するために、内部組織観察面を研磨する研磨工程を備え、この研磨工程によって、研磨面の表面粗さを1μmから20μmになるように研磨する。特に研磨工程は、上記無機充填剤よりも硬度が低い砥粒を含む研磨剤と、表面に立毛を備えクッション材を有するバフと、を用いてバフ研磨するバフ研磨工程であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】着磁した永久磁石の磁区構造等を示す観察像が得られる磁性試料の観察方法を提供する。
【解決手段】本発明の磁性試料の観察方法は、磁化された磁性試料に放射光等の入射ビームを照射し、磁性試料から放出された放出電子を検出して、磁性試料の微細状況を示す観察像を形成する磁性試料の観察方法であって、磁性試料の磁化方向の両端が磁性試料の配置される雰囲気の透磁率よりも高い透磁率を有する連結具により磁気的に連結された状態で磁性試料が観察されることを特徴とする。この連結具により、磁性試料の両端には磁気閉回路が形成され、磁性試料からの漏洩磁場が抑制される。その結果、放出電子の軌跡が歪められることが少なくなり、磁性試料の磁区構造等を示す鮮明な観察像を得ることが可能となる。 (もっと読む)


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