【課題】母材組成が不均一な試料において、測定対象の元素のより正確な二次元分布の情報が得られるようにする。
【解決手段】測定対象の元素Ｃが含まれている試料と同一の母材より構成された基板に、元素Ｃを設定されたイオン注入条件でイオン注入して標準試料を作製する。次に、標準試料の表面における各組成領域の各々についてイオン注入条件をもとに元素Ｃの濃度を算出して算出濃度を得る。次に、設定された測定条件で標準試料における元素Ｃの二次イオンを測定して標準試料の表面における各組成領域の各々について元素Ｃの標準二次イオン強度を得る。次に、標準試料の表面における各組成領域の各々について、標準二次イオン強度を算出濃度で除した二次イオン収率を算出する。 （もっと読む）

【課題】燃焼温度の高い粒子状物質を発生させることができる粒子状物質発生装置を提供する。
【解決手段】燃焼用空気Ｆ１を供給するための空気入口１及び発生した粒子状物質を含有する粒子状物質含有ガスＦ２を排出するためのガス出口２を有し、気体燃料が内部で燃焼されて粒子状物質が発生する燃焼室３と、燃焼室３に挿入され気体燃料を燃焼室３内に連続的に供給するメインバーナ４と、燃焼室３取り付けられ燃焼室３に供給された気体燃料に着火するパイロットバーナ６とを備え、メインバーナが配置されている位置が、パイロットバーナが配置されている位置から下流側に向かって１００ｍｍの位置から、パイロットバーナが配置されている位置から上流側に向かって２００ｍｍの位置までの範囲内である粒子状物質発生装置１００。 （もっと読む）

【課題】極低温における水素貯蔵材の水素貯蔵量・放出量を正確に評価する。
【解決手段】保温装置５０は、水素貯蔵材を収容する試料用セル５６と、液状冷媒を収容する冷媒用容器６０とを有し、試料用セル５６を囲繞して該試料用セル５６から熱を除去する熱除去部材５８から冷媒用容器６０に至るまでには、伝熱部材６２が橋架されている。これらは、収容用容器６４に収容されている。この中、試料用セル５６が橋架管４０を介してＰＣＴ装置の流通経路１４に接続される。試料用セル５６の外表面は熱除去部材５８の内表面に当接し、一方、収容用容器６４の室７６の内表面と冷媒用容器６０の外表面との間にはクリアランスが形成される。このクリアランスに存在する気体は、真空ポンプによって排気される。 （もっと読む）

【課題】正確な分析結果が得られる気体を捕集可能な気体捕集装置を提供する。
【解決手段】気体捕集装置１は、第１のチャンバ１１と第１のチャンバ１１を囲む第２のチャンバ１２とを有する装置本体２と、第１のチャンバ１１の内部空間１１ａから気体を捕集するための捕集管３４と、を備える。捕集管３４の一端部は、第１及び第２のチャンバ１１の貫通孔２４ａ，２４ｂと筒状部材４０とを介して第１のチャンバ１１の内部空間１１ａに挿入される。捕集管３４の一端部の端面は、内部空間１１ａにおいて第１のチャンバ１１の貫通孔２４ａから突出している。 （もっと読む）

【課題】 例えば透過型電子顕微鏡用の試料を比較的容易に形成することができるようにする。
【解決手段】 比較的大きな直方体形状のガラス基板１上の全面に形成された試料層４の上面の一部に厚さ２．２μｍのマスク５を形成する。次に、マスク５を含む試料層４およびガラス基板１の上面側をアルゴンイオンエッチングにより２μｍ程度除去し、ガラス層３、試料層４およびマスク５からなる試料部形成用凸部２を形成する。次に、試料部形成用凸部２の中央部両側に、集束イオンビームの照射による掘削加工により、溝６を形成し、両溝６間に残存された試料部形成用凸部２により試料部７を形成する。以上の工程は、比較的大きな直方体形状のガラス基板１に対して行なえばよく、ガラス基板１の運搬等を比較的容易に行なうことができる。なお、ガラス基板１を試料支持部材８に固着すれば、その取り扱いをさらに容易とすることができる。 （もっと読む）

【課題】真空中で水分やアルコールなど揮発成分を含む試料を分析する場合、試料を冷却し揮発成分を凍結させて揮発成分の蒸散を防ぎ分析を行う方法が知られている。試料を試料ホルダに固定し、試料ホルダを搬送させて真空中に搬送する場合、搬送部の試料ホルダと接触する領域の近傍では搬送部の温度が低下し、搬送部に霜状固体が付着する。この霜状固体が試料に再付着する現象が発生し、試料表面が汚染されるという課題がある。
【解決手段】搬送部としてトランスファーロッド４１を用い、試料ホルダ１４と接触する領域を、断熱性の高い断熱部４３で構成する。断熱部４３を設けることでトランスファーロッド４１の低温化を抑制し、霜状固体の付着を防ぐ。または、トランスファーロッド４１にヒーターを巻きつけて昇温可能とする。霜状固体が付着した場合にトランスファーロッド４１を加熱することで霜状固体の除去が可能となる。 （もっと読む）

【課題】レチクルのような検査対象物の洗浄後にその検査面に残留する汚染を分析する際に、検査の信頼度を向上させることができる汚染分析装置及びその方法を提供する。
【解決手段】検査対象物の検査面に残留する汚染を分析する装置であって、前記検査対象物の検査面と液とを接触させて、サンプリング液を抽出するサンプリングモジュールと、前記サンプリング液から前記検査対象物の検査面に残留する汚染物質を分析する分析器とを備え、前記サンプリングモジュールは、前記検査対象物の検査面が収容可能な収容空間が形成された液槽と、前記液槽の収容空間に液を供給する液供給ノズルとを備える。 （もっと読む）

【課題】品質が均一の供試体を得ることができる方法を提供する。
【解決手段】高さ３０センチメートル以上、底面の縦の長さが３０センチメートル以上、底面の横の長さが８センチメートル以上の箱状容器であって、上面は蓋が無いものを供試体容器として使用する。この供試体容器の内部底面にウレタン液を流し込んで発泡させる。硬化させて供試体の母材を作成し、この一部を切り取って試験用供試体を採取する。 （もっと読む）

【課題】 光電子顕微鏡内において、基板表面に直接吸着するガスと、先ず他の媒体に吸着した後に基板表面に移動供給されるガスとの反応を観察できる光電子顕微鏡用ガス反応観察試料を提供する。
【解決手段】 光電子顕微鏡内で基板の表面に吸着したガスの反応を観察するための試料であって、基板の表面に、開口を持ち該開口を除く基板全面を覆う外周薄膜と、該開口に内接し上記基板表面のガス反応領域を露出する反応窓を持つ環状の内周薄膜とを備え、電気陰性度の大きさが、基板＞内周薄膜＞外周薄膜の順であることを特徴とする。典型的には、上記基板は貴金属から成り、上記外周薄膜および上記内周薄膜は酸化物から成る。 （もっと読む）

【課題】試料ガスに含まれる微粒子を容易かつ高精度に分析するのに寄与できるガス置換方法を提供する。
【解決手段】多孔性隔壁２Ａにより囲まれたガス流路２ｃにおいて微粒子を含む試料ガスＧ１を流動させる。多孔性隔壁２Ａの周囲において置換ガスＧ２を試料ガスＧ１の流動方向と逆方向に流動させ、試料ガスＧ１と置換ガスＧ２との分圧差による拡散により、試料ガスＧ１を多孔性隔壁２Ａを介してガス流路２ｃ外に移動させると共に置換ガスＧ２を多孔性隔壁２Ａを介してガス流路２ｃ内に移動させる。ガス流路２ｃの出口２ｂから置換ガスＧ２を微粒子と共に流出させる。多孔性隔壁２Ａにより、ガス流路２ｃの内外圧力差による多孔性隔壁２Ａを介するガス移動を阻止する。 （もっと読む）