【課題】イオンビームを用いた断面観察試料の作製方法であって、きれいに鏡面研磨されたエッチング面（加工面）を、広い面積で形成できる方法、及びこの方法を行うための断面観察試料の作製装置を提供する。
【解決手段】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、前記被加工物を、イオンビーム照射方向に対して垂直な方向に、研磨速度以上の速度で移動させながら前記エッチングを行うことを特徴とする断面観察試料の作製方法、及び、試料台、試料台上に被加工物を固定する試料固定手段、遮蔽板固定手段、及び、イオンビーム照射手段、並びに、前記試料台をイオンビーム照射方向に対して垂直な方向に移動させるための試料移動手段を有することを特徴とする断面観察試料の作製装置。 （もっと読む）

【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプに液が流れ込むことを防止する。
【解決手段】真空チャンバ２の流路接続部２ｃには上流側真空流路７ａの一端が接続されている。上流側真空流路７ａの他端は水分トラップ６の流路接続部６ａに接続されている。水分トラップ６の流路接続部６ａよりも上の位置に流路接続部６ｂが設けられている。流路接続部６ｂには真空ポンプ１４に繋がる下流側真空流路７ｂが接続されている。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射を受けて遮蔽板が高温度となって遮蔽板の支持部材に熱膨張が発生して遮蔽板が移動しても、良好な断面試料を作製する試料作製装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料６の露出部分に跨るようにイオンビームを試料６に照射することにより、試料６の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ９と、前記遮蔽板ステージ９により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームを試料に照射してミリングを行う際、試料におけるイオンビームの照射面を直接冷却することができるイオンミリング装置とイオンミリング方法とを提供する。
【解決手段】試料Sが設置される試料台1と、試料Sに照射するイオンビームを発生させるイオン源2と、試料台1の収納空間を所定の真空に保持する試料チャンバ3と、試料Sを冷却するための気体冷媒を試料チャンバ3内に供給する冷媒供給手段5とを備えるイオンミリング装置である。気体冷媒を試料チャンバ内に供給することで、試料Sにおけるイオンビームの照射面を直接気体冷媒で冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第１露出部分を、ラメラの第１側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第２マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第２側壁が露出するまで試料の第２露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ；および試料からラメラを切り離すステップを含む。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
【解決手段】ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続されたクヌッセン型の試料セル２０を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル２０へガス供給管２６を介してガスを供給可能であり、この試料セル２０を内包した減圧室３０の内包空間を拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４によって減圧可能である。そして、試料セル２０を加熱し試料から生成した試料ガスを、第１オリフィス２２、内包空間、第３オリフィス７２及び第２オリフィス５２を介して検出器が配設された測定室５０へ導入してこれを測定する。このように、試料セル２０が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室３０内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル２０を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡観察のためのゴム粒子試料を調製する方法の提供。
【解決手段】電子顕微鏡観察のためのゴム粒子試料を調製する方法であって、ゴム粒子に重金属化合物を結合させることを特徴とする、ゴム粒子試料の調製方法、前記重金属化合物が四酸化オスミウムであることを特徴とする、前記記載のゴム粒子試料の調製方法、並びに、前記いずれか記載のゴム粒子試料の調製方法により調製されたゴム粒子試料を、電子顕微鏡を用いて観察することを特徴とする、ゴム粒子の観察方法。 （もっと読む）

【課題】土壌中の有害物質を含む液体の前処理を常に監視することなく、かつ、短時間で行うことが可能な前処理装置及びその装置を用いた前処理方法を提供する。
【解決手段】前処理装置１は、有害物質を含む液体である水を密閉して貯留可能な容器２と、容器２内の水を加熱するための加熱器３と、加熱器３による加熱によって容器２内の水が気化した水蒸気を導入可能な熱交換用コンデンサ４と、熱交換用コンデンサ４内を減圧するための真空ポンプ５と、熱交換用コンデンサ４で水蒸気を冷却することにより生じた有害物質を含む水を冷凍して保存するための冷凍装置６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】
真空環境下において螺子がかじるかどうかの試験を行うことが可能なかじり試験装置及びかじり試験方法を提供する。
【解決手段】
かじり試験装置１は、真空チャンバ２を備え、真空チャンバ２の内部空間Ｇに、各ボルト６０が螺合したプレート２６が収容される。各ボルト６０が各タップ穴２６Ａに螺合したプレート２６を、真空チャンバ２内の所定の環境（真空環境、高温真空環境等）下に置く。そして、ボルト６０をプレート２６から取り外せるかどうかを試験する。この試験結果に基づき、ボルト６０と、プレート２６との間でかじりが発生し易いかどうかを評価する。 （もっと読む）

【課題】多数の用途で使用できるとともに、特に、ガス分析器につながることができる、簡略化したガス採取装置を提供する。
【解決手段】高真空気密ケーシングを含むガス採取装置であって、高真空気密イオン化チャンバが形成されており、前記イオン化チャンバはイオン化されるべきガス用の入口の第１の穴を通してイオン化チャンバの外部の環境に通じているとともに、イオン化チャンバはイオン化されたガス用の出口の第２の穴を通してイオン化チャンバの下流の環境に通じており、前記第１の穴は、ナノメートル程度の直径を有する少なくとも１つのナノホールが設けてある高真空気密膜を用いて、イオン化チャンバの外部の環境から分離されており、前記ナノホールは実質的に直線的な軸に沿って膜を貫通している、ガス採取装置。 （もっと読む）

【課題】各種の試料ホルダーを取り扱うことができ、製作や改良及び修理も容易であって、作業性に優れ、製作及び維持コストを低減することができる真空装置への試料搬送導入装置を提供すること。
【解決手段】可動パイプ１５が直進運動により前進及び後退する直線導入機１０と、試料を設置する試料ホルダー９０を格納する試料ホルダー格納部３０と、試料ホルダー格納部３０の試料ホルダー受け板３１とはめ合うことで試料ホルダー９０を収容する真空槽５３を形成する真空容器５０とを備えた真空装置への試料搬送導入装置において、試料ホルダー格納部３０を直線導入機１０の可動パイプ１５の先端部分に着脱可能に取り付け、かつ真空容器５０を直線導入機１０の本体１１の先端部分に着脱可能に取り付けた。 （もっと読む）

本発明は、迅速な組織のサンプリング、組織の汚染除去、組織成分の一部とすることができる分析物の定性的及び／または定量的検出のために、エネルギー及び／または液化促進媒体を対象となる組織に付与して組織成分を有する液化サンプルを試製することを含むデバイス、方法及びシステムを提供する。さらに本発明は、液化の容易化、液化組織成分の維持及び組織内への分子の送達を可能にするような液化促進媒体の特別な組成を提供する。組織の液化サンプル中の組織成分の決定は、局部または全身病の診断または予後診断、薬物投与の後の異なる組織の治療の生物学的利用能の評価薬物乱用の法医検出、有害物に曝露後の組織微小環境の変化の評価、組織の汚染除去及び様々な他のアプリケーションを含む種々のアプリケーションで使用可能である。本発明の方法、デバイス及びシステムは、液化される組織を通ってまたは組織内に一以上の薬物を送達するために使用される。 （もっと読む）

【課題】固相抽出用カラムのコンディショニング操作を少ない量の溶媒で行うことができ、かつ固相吸着剤粒子の周囲に存在する空気の溶媒への置換を高度に、ばらつきが少ない状態で行うことのできる、固相抽出用カラムを使用した液体成分の分析方法、及びそのような操作を簡便に実現することができる液体成分の分析補助装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液体成分の分析方法は、液体試料に含まれる成分を吸着するための固相吸着剤が充填された充填層３４を有する固相抽出用カラム３が使用され、試料成分を含まない置換溶媒を供給して充填層３４を前記置換溶媒で湿潤させるコンディショニング工程を少なくとも有し、前記コンディショニング工程において、固相抽出用カラム３の全体を減圧環境下に置くことにより、充填層３４に含まれた空気の除去を促進させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空容器内を迅速に高真空状態とすることができる分析装置の試料載置機構を提供する。
【解決手段】本発明の試料載置機構２０は、真空下で試料をイオン化し、発生したイオンを検出して当該試料を分析する装置の試料載置機構である。試料Ｓを載置する試料台２００は、真空容器（第１のチャンバー室２１）の外部に配置された駆動手段２１０に連結されている。試料台２００は、真空容器（第１のチャンバー室２１）内に挿入され、真空容器（第１のチャンバー室２１）への試料台２００の挿入部分は、シール部材２１７によって密閉される。 （もっと読む）