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Fターム[2G052CA46]の内容

サンプリング、試料調製 (40,385) | 移送 (4,521) | 移送技術 (2,603) | 把持して移送 (133) | マニピュレータによるもの (68)

Fターム[2G052CA46]に分類される特許

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【課題】S/TEM分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、1以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 (もっと読む)


【課題】既存の試料採取装置であっても試料を良好に採取するための試料採取方法を提供する。
【解決手段】誘電体棒10と、誘電体棒10の先端に形成される捕捉面10bと、誘電体棒10の後端側に設けられる露出領域と、誘電体棒10のうち捕捉面10bと露出領域の間の領域において、誘電体棒10を覆う導電性被覆層12と、を有するプローブ1のうちの露出領域を誘電体物により摩擦して誘電体棒10を帯電し、プローブ1の捕捉面10bにより試料8を吸着し、プローブ1の操作により試料8を試料ホルダ6に移送する処理を含む。 (もっと読む)


【課題】微小試料に生じる歪みを抑制できる微小試料の加工方法及び微小試料を提供する。
【解決手段】本発明の実施態様に係る微小試料の加工方法は、直方体形状を有する透過型電子顕微鏡の観察用の微小試料の加工方法であって、基板上に形成された半導体デバイスから前記透過型電子顕微鏡の観察対象領域を含む前記微小試料を切り出す工程と、前記微小試料の上面側から収束イオンビームを照射して前記微小試料の一部を切削し、前記微小試料の正面側に前記集束イオンビームの照射方向に対して平行な矩形の第1の平面を形成する第1の切削工程と、第1の平面に対して平行な面内において、第1の切削工程とは異なる角度で微小試料へ収束イオンビームを照射して微小試料の一部を切削し、微小試料の裏面側に第1の平面に対して平行な矩形の第2の平面を形成する第2の切削工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 (もっと読む)


【技術課題】 河川や湖において、危険な場所でも土砂の採集及び採水できる環境調査船を提供する。
【解決手段】 ラジコンボート1上にクレーン3とウインチ8・10を取り付け、ウインチ8で昇降ワイヤー9の先端に採集器17又は採水器29又は水中カメラ40を取り付ける。採集器17及び採水器29には船上のウインチ10操作で引かれる開閉ワイヤー11により開閉する栓体25又はボールバルブ36、37を取り付け、陸上から船上の制御器2を経由して前記栓体25又はボールバルブ36、37をリモコン操作することにより水中での土砂の採集あるいは採水を行う。このようにラジコンボート1を用いて環境調査を行うため、危険な場所まで入り込んで調査ができると共に無人のため調査コストの削減ができる。 (もっと読む)


【課題】吸引管が汚染されない磁性ビーズ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】磁性ビーズ移動装置10は、水平方向及び上下方向へ移動される移動体11と、移動体11に昇降可能に取付けられる筒体12と、この筒体12の下端に着脱可能に嵌められるキャップ13と、移動体11に取付けられ筒体12を昇降させる筒体昇降手段14と、筒体12に昇降可能に取付けられキャップ13内まで延びる軸体16と、この軸体16の下端に固定され磁性ビーズを吸着する磁力を備えている永久磁石18と、筒体12に取付けられ、軸体16を昇降する軸体昇降手段19と、移動体11、筒体昇降手段14及び軸体昇降手段19の動作を制御する制御部21と、からなる。
【効果】筒体(従来の吸引管に相当)は微生物で汚れる心配はなく、繰り返し使用でき、回収されたキャップは、滅菌処理を施すことで再使用が可能である。 (もっと読む)


【課題】
電子顕微鏡に代表される荷電粒子を利用する観察系を有するサンプリング装置において、微小物体を確実にサンプリングする手段を提供することを目的とする。
【解決手段】
前記目的を達成するために本発明は、微小物体試料を載せる基板と、前記微小物体試料を移動させるプローブと、前記微小物体試料を帯電させる電子線照射手段とを備えるサンプリング装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能,高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現する。
【解決手段】同一真空装置に集束イオンビーム光学系31と電子ビーム光学系41を備え、ウェーハ21の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブ72を備えた。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡用薄片試料保持用グリッドの採取を容易にし、グリッドを試料ホルダーの所定の位置に的確、安全に載置できるためのグリッド採取用治具およびそれを用いたグリッド採取方法を提供する。
【解決手段】芯部2とその芯部の周囲に筒状部3を備え、その芯部の先端に粘着層1を備える治具を用いて、その芯部を筒状部から突出させた状態でグリッド5を付着させ、次に芯部の先端を筒状部内部にもどすことにより芯部に付着したグリッドを治具から外すことができ試料ホルダーの所定の位置に容易に載置することが可能となった。 (もっと読む)


【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第1露出部分を、ラメラの第1側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第2マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第2側壁が露出するまで試料の第2露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ;および試料からラメラを切り離すステップを含む。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、ビーム誘起堆積を用いて、極低温で基板上に材料を堆積するように改善した方法を供することである。
【解決手段】 ビーム誘起堆積を用いることによって、極低温にて基板上に材料を堆積する方法。前駆体気体が、前記基板の極低温よりも低い融点を有する化合物の群から選ばれる。好適には、前記前駆体気体は、所望の極低温にて0.5〜0.8の付着係数を有する化合物の群から選ばれる。この結果、前記前駆体気体は、前記所望の極低温にて、前記基板表面に吸着する前駆体分子と前記基板表面から脱離する前駆体気体分子との間で平衡に到達する。適切な前駆体気体は、アルカン、アルケン、又はアルキンを有して良い。-50℃〜-85℃の極低温では、ヘキサンが材料を堆積する前駆体気体として用いられて良い。-50℃〜-180℃の極低温では、プロパンが前駆体気体として用いられて良い。 (もっと読む)


【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル2、吸着装置10、回転駆動機構20、ワーク突き上げ機構30、および検査機40を有し、吸着ヘッド11とワーク突き上げピース31が検査部5に対向して配置され、回転テーブル2が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークWを検査部5に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構30がワークWをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド11に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構20が吸着ヘッド11と一緒にワークWを回転させて検査機40による検査が行われるようにした。 (もっと読む)


【課題】集束イオンビーム加工装置用のマニピュレータのプローブ装置について、シンプルな構造で低コスト、汎用性のある装置構成で、広い特定領域からの抽出を実現する。
【解決手段】集束イオンビーム加工装置内において、n本(n≧2)に分岐した櫛形状の先端部13を有し、その分岐間隔が20〜200μmと幅広く、広い領域の特定部位を自在に抽出することができる集束イオンビーム加工装置用プローブとその簡便なプローブ製造方法を提供する。櫛形状プローブの先端部13がプローブ支持部12と角度を有し、先端部13が試料6に平行に操作され、精度よく広い領域の特定部位を抽出することができる。その製造方法は、30μm厚み以下の金属薄板15から櫛形状部位16を集束イオンビーム加工技術により切り出し、真空装置内でマニピュレート操作できる機構のプローブ支持部12に、ガスデポジション機能を用いて取り付けて一体化する。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 (もっと読む)


【課題】 顕微観察しながら1生細胞など微小域試料をナノスプレーイオン化細管チップで吸引捕捉し、直接質量分析する際、当該チップを微小域の視野しかない顕微視野内の細胞などの目的位置に誘導するのが、もっとも手間と時間と技術の必要な過程であり、測定法の隘路となっている。
【解決手段】細胞など顕微下で刺入するナノスプレーイオン化細管チップなどの試料捕捉細管をロボットの先端に保持し、そのチップの先端位置を検出し補正し、当該チップ取り付け毎のチップ先端位置の空間座標を補正し、また顕微鏡での焦点位置の対空間座標を観察する焦点面位置を顕微ステージのZ軸エンコードで補正し、その両点間をロボットで先端誘導し、高速・高精度に試料捕捉細管を細胞など対象微小試料に誘導する。 (もっと読む)


スライド上に配置された少なくとも1つの生体サンプルを処理するための方法および自動装置。少なくとも1つの毛管式染色モジュールが、スライドを保持するように構成されたスライドラックを着脱可能に保持するように構成されたスライドラックホルダと、毛管リッドを保持するように構成された毛管リッドラックを着脱可能に保持するように構成された毛管リッドラックホルダとを有しており、スライドラックの取り外しを毛管リッドラックの取り外しとは無関係に行うことが可能である。第1の流体容器が、第1の流体を有している。この装置が、1つ以上のスライドを自動的に回転させ、毛管リッドをスライドに向かって移動させて、毛管チャンバとして機能する毛管ギャップを各スライドと各毛管リッドとの間に自動的に形成し、スライドへと第1の流体を供給するように構成されている。
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【課題】計測対象の標本(培養細胞など)および周囲の培養環境に大きな影響を与えずに、個々の標本の活性を高い感度で計測できる活性計測方法に用いて好適な器材セットと、それを用いた標本活性計測装置・方法を提供する。
【解決手段】標本及び培養液を収納する培養容器13であり、標本の付着性を向上させる処理が施された一以上の第一領域と、標本の付着性を低下させる処理が施された一以上の第二領域と、を底面に設けた培養容器と、前記標本及び培養液が前記培養容器に収納された状態において、前記第一領域を覆う一以上の第一マイクロチャンバと、前記第二領域を覆う一以上の第二マイクロチャンバと、を設けたマイクロチャンバ14アレイと、を有して構成される標本試験用器材セット。 (もっと読む)


【課題】計測対象の標本(培養細胞など)および周囲の培養環境に大きな影響を与えずに、個々の標本の活性を高い感度で計測できる活性計測方法に用いて好適な器材セットと、それを用いた標本活性計測装置・方法を提供する。
【解決手段】標本の付着性を向上させる処理が施された一以上の第一領域と、標本の付着性を低下させる処理が施された一以上の第二領域と、を表面に設けた標本培養部材と、
前記標本培養部材が培養容器に収納された状態において、前記第一領域を覆
う一以上の第一マイクロチャンバと、前記第二領域を覆う一以上の第二マイク
ロチャンバと、を設けたマイクロチャンバアレイと、
を有して構成される標本の活性計測用器材セット。 (もっと読む)


貯蔵領域(2)と、サービス領域(5)と、移送領域(6)と、持ち上げデバイス及び少なくとも1つのプラットフォーム(9)を備える電動ロボット(7)と、コントローラ(10)と、を有するモジュール式試料貯蔵装置(1)である。前記試料貯蔵装置(1)のサービス領域(5)は1つの一体的に形成された立体バット(vat)モジュール(11)を備え、前記試料貯蔵装置(1)の貯蔵領域(2)は少なくとも1つの一体的に形成された立体バットモジュール(11)を備える。前記バットモジュール(11)の各々は、本質的に水平なバット床面(14)と、前記バット床面(14)に接続され、かつ空いたバット空間(16)が残っている4つの接合バット壁(15)とを備える。前記モジュール式試料貯蔵装置(1)はまた、前記試料貯蔵装置を閉鎖するために、上部側壁(12)と、カバープレート(13)とを有する。各バット床面(14)およびバット壁(15)は、外側裏打ち(17)と内側裏打ち(18)を備え、いずれの場合においても、外側および内側裏打ち(17、18)は隙間によって分離される。この隙間は外側および内側裏打ち(17、18)の互いに対する固定、ならびに、前記一体的に形成された立体バットモジュール(11)のサンドイッチ構造の断熱および補強を提供するポリマー発泡材料(20)で実質的に充填される。
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【課題】アトムプローブ観察用の試料を容易に作製すること。
【解決手段】観察対象となるモデル合金1から、透過型電子顕微鏡で観察可能な厚さまで薄膜化された薄膜試料2が作製され、薄膜試料2にマーク3の作製が行なわれる。そして、マーク3近傍を照射部位として、超高圧電子線の照射が行なわれ、マーク3の近傍に位置する薄膜試料2の上面にて、保護膜4の形成が行なわれる。そして、保護膜4および保護膜4の下面にある薄膜試料2は、三次元アトムプローブを用いた解析を行なうために採取される対象である採取対象試料5とされ、アトムプローブ観察用の試料が作製される。 (もっと読む)


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