【課題】優れたＴＥＭ試料の作製方法、ＴＥＭ観察方法及びＴＥＭ試料構造を提供することを課題とする。
【解決手段】透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法において、半導体デバイスの特定箇所の観察断面に非晶質構造の保護膜を形成する工程と；前記保護膜が形成された観察断面の周囲を除去する工程と；少なくとも前記保護膜を含む領域を薄膜化する工程とを含むことを特徴とする。また、半導体デバイスの断面を観察する観察方法において、前記半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察する工程と；前記断面に非晶質構造の保護膜を形成し、当該保護膜を透して透過型電子顕微鏡によって前記断面を更に観察する工程とを含むことを特徴とする。更に、半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察した後、同一観察断面を透過型電子顕微鏡で観察すべく作製される観察試料において、前記観察断面上に非晶質構造の保護膜を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶接工程段階を正確かつ効率的に実施することを可能にする線形キュベットアレイを提供することを課題とする。
【解決手段】統合的に構築された、プラスチック材料で作製されたキュベットの線形アレイであって、かつ隣り合うキュベットは単一のウェブにより互いに連結され、全てのキュベットの対称軸(Y-Y)は該キュベットアレイの全長に沿って伸びる平面(A-A)に位置し、該キュベットのアレイは、a)キュベットが開口下端(33)を有し、b)少なくとも2つのキュベット(22)が、該キュベット(22)をキュベットホルダーに着脱可能に連結するための手段(31、32)を有し、かつc)各キュベットが、単一のウェブにより隣り合うキュベットに連結される点において特徴付けられ、該単一のウェブは可撓性であって湾曲しており、かつ連続的な単一のウェブは平面(A-A)の反対面のいずれか1つの上に存在し得る、キュベットの線形アレイに関する。 （もっと読む）

【課題】薄切り作業工程時に、薄切切片と薄切完了試料包埋ブロックカセットとの対比照合確認を確実に行うと共に、手の指の火傷等をすることなく、短時間で機械的にシーリングできるようにする。前記カセットを順序よく収納ケースに並べて収納すると共に、収納した前記カセットを自動的に管理し、目的のカセット等を簡単に探せるようにする。
【解決手段】複数の生物試料包埋ブロックカセット４を収容する生物試料包埋ブロックカセットラック２であって、長辺外壁２ｐに設けた仕切板２ａにより順次仕切られた、複数のカセット収容室２Ｒと、該カセット収容室の後部側に設けられたブロック試料自動押出口２ｂと、該カセット収容室の前部側に設けられたブロック試料挿入口２ｊと、該長辺外壁に設けられたギヤレール２ｄと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 生体分子、ＤＮＡ等を高集積度で配列し、透過電子顕微鏡を用いて観察、解析できる高集積度バイオチップ用試料支持体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料支持体は、導電性薄膜１０と、貴金属元素を含む複数の微小構造体１２であって、導電性薄膜１０中にそれぞれ一部が埋め込まれるように導電性薄膜１０に設けられた複数の微小構造体１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】試料がデュアルビーム粒子光学装置においてより均一に処理されることを可能にするステージ組立体を提供する。
【解決手段】ステージ組立体は、第一軸Ａ１に沿う第一照射ビームＥを発生するための第一源と、ビーム交差地点で前記第一軸と交差する第二軸Ａ２に沿う第二照射ビームＩを発生するための第二源と、試料を載置し得る試料テーブル２１と、基準面に対して垂直なＸ軸、基準面と平行なＹ軸、及び、基準面と平行なＺ軸と実質的に平行な方向に沿って前記試料テーブルの平行移動をもたらすために配置された一組のアクチュエータとを備え、該一組のアクチュエータは、Ｚ軸と実質的に平行な回転軸ＲＡについての試料テーブル２１の回転と、Ｚ軸に対して実質的に垂直なフリップ軸ＦＡについての試料テーブルの回転とをもたらすようさらに配置されること。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】FIBによる断面加工や薄片加工に先立って行なわれていたFIBAD膜による試料表面平坦化作業を行なうこと無く、試料表面にFIB照射損傷を与えることなく、SEM試料やSTEM試料を作製する。
【解決手段】試料加工の際に試料表面に作製していた集束イオンビームアシストデポジション（FIBAD）膜の代わりに、対象試料とは別の微小な薄膜の薄板を加工位置に移設固定して保護膜とする。 （もっと読む）

【課題】 排気されるヘリウムガスを用いて、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の熱のシールド効果をさらに向上させる試料冷却装置を実現する。
【解決手段】 試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０を内包する様に、液体窒素温度の第１の熱シールド３０との間に、第２の熱シールド６２を配設し、試料保持冷却部４０で気化されたヘリウムガスを貯蔵するヘリウムガスタンク７０と第２の熱シールド６２を熱的に接続することとしているので、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の外部との熱シールドを、より完全なものとし、ひいては液体ヘリウムの消費量を削減し、ランニングコストを低減することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】試料冷却装置において、ラック５１に装架された試料容器２の上下間の温度ムラの発生を抑制する。【解決手段】伝熱性部材からなるラック５１に設けられた穴２、穴の底に敷設された断熱性部材（円板３５）とで構成される。そのラック５１に装架される試料容器２の側壁の上部が伝熱性部材に熱的に接すると共に、その試料容器２の底は断熱性部材に当接するように構成した。さらに、容器底部に近接する穴径が、上部の穴径より大きく構成される。試料容器２は主として側面の上部からの伝熱によって冷却され、底面から急激に冷却されることがない。したがって、試料容器２内の溶液が対流し、上下間の温度ムラの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ブロック（複数）の夫々の上方における中空ニードル（複数）の夫々の簡単かつ確実な位置決め（特定）が可能な組織アレイ作製装置の提供。
【解決手段】受容体ブロックに中空空間を形成するための第１中空ニードルと、供与体ブロックに含まれる被検組織から試料を採取しかつ該試料を該受容体ブロックの該中空空間に挿入するための第２中空ニードルとを含んで構成される、組織アレイ作製装置において、前記第１及び／又は前記第２中空ニードル（４；５）を前記受容体ブロック（１）及び／又は前記供与体ブロック（２）の上方において位置決めするために、所定のマーキング（複数）を備える位置決めアレイ（１１）と、該マーキング（複数）の夫々の位置を前記供与体ブロック（２）上の対応する部位に及び／又は前記受容体ブロック（１）上の対応する部位に伝達するための可動に支承されるレバー装置とを含んで構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パラフィンブロックへの組織コアの簡単かつ確実な挿入が可能な組織アレイ作製装置の提供。
【解決手段】少なくとも１つの受容体ブロック（１）と、被検組織（３）を含む少なくとも１つの供与体ブロック（２）とを用いると共に、前記受容体ブロック（１）に中空空間を形成するための第１中空ニードル（４）と、前記組織（３）から試料を採取しかつ該試料を該受容体ブロック（１）の該中空空間に挿入するための第２中空ニードル（５）とを含んで構成される、組織アレイ作製装置において、前記第１及び／又は前記第２中空ニードル（４；５）を前記受容体ブロック（１）の上方において位置決めするために、パンタグラフ（６）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複数個の微小試料台を保管したり運搬する際の取り扱いを簡便とすること。
【解決手段】 微小試料台１０の集合体である微小試料台集合体５０は、複数の微小試料台１０がＸ方向に直線状に規則正しく配列され、このような列がＺ方向に突き抜けた空間ＳＰを挟んでＹ方向に並列に規則正しく配置されている。微小試料台１０同士は、連結リブ６０を介して直列に連結され、各列において最も外側にある微小試料台１０の一端が接続リブ８０を介して外枠７０の突起部７０ａに接続されている。微小試料台１０、連結リブ６０、外枠７０および接続リブ８０は、全てシリコン製であり、単結晶シリコンウエハ１０１から一体で作製される。微小試料台１０を分離するときは、連結リブ６０、接続リブ８０を折って切り離す。 （もっと読む）

【課題】 試料台としての剛性を確保しつつ微小試料の薄片化時間を短縮できる微小試料台を提供すること。
【解決手段】 微小試料台１０は、全シリコン製であり、上下方向（Ｚ方向）に４段を有する多段構造である。微小試料台１０を側面から見ると、中心面Ａに対して対称形であり、上方の段ほど厚さ（Ｙ方向の長さ）が薄い。微小試料台１０の第１段１１と第２段１２はＸ方向に延設されているが、第３段１３〜５３と第４段１４〜５４とからそれぞれ構成される５つの突状部分１〜５は、Ｘ方向に配列して第２段１２の上面からＺ方向に突設されている。突状部分１〜５は、高さ（Ｚ方向の長さ）及び厚さ（Ｙ方向の長さ）は一律であるが、幅（Ｘ方向の長さ）は微小試料片Ｓの寸法などに応じて任意に形成することができる。微小試料片Ｓは、その表面、すなわち薄片化調製が行われる平面がＸＺ面に平行となるように、第４段１４〜５４に固定される。 （もっと読む）

【課題】
恒温ブロックに装填された試料容器の温度勾配を無くし、試料容器内に充填された試料の濃度を均一にすることにより、測定値の精度や再現性が向上する試料恒温装置を提供する。
【解決手段】
試料容器２を保持すると同時に温度を一定に保つための恒温ブロック３に、試料容器２を上部から覆うカバー４を設ける。カバー４は、試料容器２の蓋７が貫通する孔９を設ける。カバー４は、断熱材６よりなり、カバー枠１３に収納される。 （もっと読む）

【課題】イオンビームで研磨された試料を固定した試料ホルダはSEM試料台支持部に取り付けるに際して試料ホルダとＳＥＭ試料台支持部との間に取り付けのために用いられて来た中間材を設けることなく取り付けることができ、以って両者間の距離を短くし、試料ホルダをＳＥＭ試料台支持部に近接配置できるようにする。
【解決手段】試料ホルダ２３に試料３の研磨されて観察される面の裏側の面に、ＳＥＭ試料台支持部に設けたおねじ部５３に直接ねじ挿入されるめねじ穴５２を設け、当該おねじ部を当該めねじ部に直接ねじ挿入することによって、試料を固定した前記試料ホルダをSEM試料台を介さずに直接ＳＥＭ試料台支持部に固定される。 （もっと読む）

【課題】 微小サンプルを赤外吸収スペクトル分析する際に赤外吸収ピークを鮮明に得ることが可能で紛失のおそれの少ない赤外吸収スペクトル分析用サンプルを提供する。
【解決手段】 分析対象物を含む試料１を、赤外吸収スペクトル分析に使用される波長範囲において邪魔になる吸収ピークを持たない窓材２の表面に形成された０．８μｍ以上の深さの凹部５内に配置する（ａ）。窓材２より表面エネルギーの低い材料で構成されている下層部７からなる押圧面を持つ押圧部材６の押圧面を窓材２の表面に圧接することにより試料１を凹部５の深さに対応した厚みに圧延し、これにより、試料１の表面が凹部５の周囲における窓材２の表面と共通の面内にあるようにする（ｂ，ｃ）。その後、押圧部材６を除去することで、圧延された試料１を窓材２の凹部５内に配置した形態で得る（ｄ）。 （もっと読む）

【課題】適正かつ正確に、効率よくメンブレンコームにサンプルを分注し得る自動分注装置及び自動分注方法を提供する。
【解決手段】サンプルをメンブレンコーム１００に浸み込ませるように分注する。ノズルチップが装着されるノズルを位置決め移動可能な移動機構と、ノズルチップ１３にサンプルを吸引及び吐出させるポンプ機構１９と、メンブレンコーム１００を保持するブロッティングトレイ１２と、ノズルチップ１３のメンブレンコーム１００に対する接触状態を検知するジャミングセンサ２８とを備える。先端ノズルがメンブレンコーム１００の分注部位に沿って移動しながら、サンプルを吐出する。 （もっと読む）

【課題】 化合物の結晶粒を確実に識別して、その構造解析を容易に行うことができる化合物の観察方法及び該方法に用いる着色溶液を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線回折実験において、試料である化合物の結晶画像を撮影し、撮影した画像により結晶を観察しながら試料のＸ線照射位置決め作業を行うに際し、結晶を着色溶液６に入れた後、結晶を着色溶液６とともにすくい上げて固化し、結晶に透過光を照射して結晶画像を撮影するようにした。 （もっと読む）

【課題】 観察像から測定点を選択し、接近した少なくとも２点間の電気抵抗の測定が行える電子顕微鏡の試料ホルダを提供する。
【解決手段】 ２つの電流測定用のプローブ１ａ、１ｂを搭載したレバー２ａ、２ｂが、支点となる球体３にＶ溝11ａ、11ｂで接している。マイクロメータヘッド13ａ、13ｂでレバー２ａ、２ｂを押すとプローブ１ａ、１ｂはＸ方向に移動し、引くとばね16ａ、16ｂにより押し戻されて−Ｘ方向に移動する。マイクロメータヘッド14ａでレバー２ａを押すと、プローブ１ａは球体３を支点とする回転運動によりＹ方向に移動し、引くとばね16ａにより押し戻されて−Ｙ方向に移動する。プローブ１ｂのＹ軸方向移動はマイクロメータヘッド14ｂを同様に操作して行う。プローブ１ａ、１ｂのＺ軸方向の移動も、マイクロメータヘッド1５ａ、15ｂを同様に操作して行うことができる。 （もっと読む）