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Fターム[2G052DA33]の内容

サンプリング、試料調製 (40,385) | 容器 (3,166) | 試料ホルダ (199)

Fターム[2G052DA33]に分類される特許

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【課題】 半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング(摘出)して、分析/計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント(搭載)する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】 分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング(摘出)して、分析/計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント(搭載)する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】 分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 (もっと読む)


【課題】 イオンミリング装置において、かかる装置固有の照射角度の上限より大きな照射角度においてもイオンビームの照射を可能ならしめる試料固定用治具を提供すること。
【解決手段】 基準面に対して所定の照射角度にてイオンビームを照射することの出来るイオンミリング装置において用いられる試料固定用治具にして、前記イオンビームが照射される試料を保持する試料保持部材と、前記イオンミリング装置内の試料支持台に固定される台座と、該試料保持部材と該台座とを連結して、該台座上に該試料保持部材を支持する支持部材とから構成し、且つ、該試料保持部材を、前記基準面に対して傾斜した状態において、前記支持部材により前記台座に対して取り付けた。 (もっと読む)


【解決手段】顕微鏡検査のために被検物(9)を保持するための被検物ホルダ(10)であって、互いに向き合う側面(7)に夫々少なくとも一つの凹み(4a)を備え反対方向に変位可能な二本のバー(3a,3b)を有して構成され、上記凹みを被検物(9)の外縁に少なくとも部分的に接触することによって被検物(9)を保持する、被検物ホルダにして、両方のバー(3,3a,3b)が付加的に、互いに背を向ける両バー(3,3a,3b)の二側面(7)にも夫々少なくとも一つの凹み(4a;4b)を備える。
【効果】上記構成によって、180度回転した後にバーを交換したり挿入することで、バー(3a,3b)の両側面(7)が用いられる際に被検物保持の可能性が高まる。 (もっと読む)


【課題】 本発明が解決しようとする課題は、メッシュのように表面の平坦度の問題やバックグランドノイズとなることが無く、試料の追加加工が可能であって、その作製に熟練技術を要しないでピンポイントサンプリングした試料を固定することができる試料台を提供することにある。
【解決手段】 本発明の試料台は、シリコン基板を素材として、形状と10μm以下の厚さ構造を半導体シリコンプロセス技術によって作製し、本発明の試料台は、試料部分がかからないように半切りメッシュ上に試料台を貼着した。また、試料が取り付けられる箇所が同一基板上に複数個配置されるようにした。 (もっと読む)


【課題】標本作製中に検体を移し替える手間が不要で、検体を所定の位置と方向を維持して包埋し、薄切することが可能な、作業の省力化と迅速化を図るとともに、検査精度に優れた医療検査用カセットを提供する。
【解決手段】 カセット本体1内に、検体15を載置した検体載置シート27を収容し、該検体載置シート27の上部にポリウレタンからなる押さえシート29を配置した後、蓋体2を被着した状態で薬液処理を施し、前記検体15を載置した検体載置シート27をトレイ16内に収容し、該トレイ16にカセット本体1を載せ、カセット本体1が液状パラフィンに浸るまで液状パラフィン17を注ぎ足し固化させてカセットブロック18を作製し、次いで、前記検体載置シート27を剥離除去して検体15を包埋したカセットブロック18とし、これを薄切して医療検査用検体薄片を製造する。 (もっと読む)


【課題】標本作製中に検体を移し替える手間が不要で、検体を所定の位置と方向を維持して包埋し、薄切することが可能な、作業の省力化と迅速化を図るとともに、検査精度に優れた医療検査用カセットを提供する。
【解決手段】 上面を開放し、多数の透孔3を有する方形の容器からなるカセット本体1と、多数の透孔7を有し、前記カセット本体1と着脱自在に係合する蓋体2とからなる医療検査用カセットにおいて、前記カセット本体1の底面上に検体載置シート27を配備したことを特徴とする医療検査用カセット。 (もっと読む)


【課題】ウェハの表面近傍欠陥を容易に解析できる試料作製方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出手段で検出した欠陥の位置座標を基準にして、その近傍にイオンビームなどによってマーキングし、試料を透過型電子顕微鏡で観察して、マーキングと欠陥との相対位置関係から、欠陥部を特定し、目的とする欠陥部を含む試料を確実に作製する。 (もっと読む)


【課題】 観察に適した良好な試料を簡単に作製できる試料ホルダおよびイオンビーム加工装置を提供する。
【解決手段】 試料セット部9は試料貼付け面10を有している。遮蔽材ガイド部12は試料セット部9の上に配置されており、遮蔽材ガイド部12は試料セット部9に固定されている。遮蔽材ガイド部12は遮蔽材ガイド面13を有している。試料貼付け面10は遮蔽材ガイド面13より所定量D=40μmだけ下がった所に位置している。このように試料貼付け面10が遮蔽材ガイド面13より40μmだけ下がった位置に形成されているため、厚さ100μmの試料7を試料貼付け面10に取り付けると、図2(d)に示すように、試料7が遮蔽材ガイド面13より60μmだけ前に出た状態となる。そして、厚さ20μm程度の遮蔽材16が遮蔽材ガイド面13にセットされる。 (もっと読む)


【課題】
試料から分析や観察に必要な部分のみの試料片を短時間に摘出でき、かつ安定した試料像の観察または精度の高い試料の加工ができる試料作製装置を提供する。
【解決手段】
試料室と、該試料室内に設置される試料ステージと、該試料ステージにセットされた試料から摘出した試料を載置する、該試料ステージに載置された試料ホルダと、前記試料ステージにセットされた試料に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射光学系と、を備えた試料作製装置であって、前記試料ホルダを前記試料ステージと独立して移動させる試料ホルダ移動機構を備えた試料作製装置。 (もっと読む)


【課題】 毛細血管現象及び吸着性と大きさの差により分離するフィルタにおいて、比重差を利用してより速やかか精度よく分離することを可能とする体液分離フィルタ装置を提供する。
【解決手段】 体液が付着されると、毛細管現象により吸引し、内部で血清もしくは血漿などの液状成分を、血球などの固形成分に対して比重差により分離することを可能とする体液分離ストリップを用いた体液分離フィルタ装置であって、体液分離フィルタストリップ6が保持されているフィルタホルダー3と、体液が滴下されかつ収納される収納凹部を有する体液採取プレート2とを備え、フィルタホルダー3に保持された体液分離フィルタストリップ6の端部6aを下端として、該端部を体液採取プレート2の収納凹部2dに収納されている体液に浸漬されることが可能とされている体液分離フィルタ装置1。 (もっと読む)


【課題】
真空装置内でプローブを操作するマニピュレータにおいて、小型で広範囲に移動でき精度が高く、かつマニピュレータの駆動手段(アクチュエータ)の長寿命化が期待できる試料観察装置,集束イオンビーム装置を提供すること。
【解決手段】
試料を載置する真空室と、該真空室内で移動可能なプローブと、該プローブを移動させるプローブ駆動手段と、該プローブ駆動手段の負荷を軽減する負荷軽減手段と、を備え、かつ該負荷軽減手段の軽減力を前記プローブの位置の情報に基づいて変化させる制御手段を備えた試料観察装置。 (もっと読む)


【課題】放射性試料の注入されたシリンジを安定した状態で保持することができるとともに、異なるサイズのシリンジに対しても容易に対応することのできる放射性試料ホルダを提供する。
【解決手段】放射性試料ホルダ62は、上面部にノブ71を有し、タングステン等の放射線遮蔽材料からなる放射線遮蔽板72と、放射線遮蔽板72から鉛直下方向に延在するシャフト74と、シャフト74の下端部に装着され、放射線遮蔽ケース40に挿入されたシリンジ24を立設状態で保持する略円形の保持部材76とを備える。保持部材76は、シリンダ34の鍔部32を上下から挟持することでシリンジ24を保持する。 (もっと読む)


【課題】 簡便、迅速、高感度にガス中の被検物質を検出することができ、手が試験紙に触れること等による誤差を回避することができる検出器及びそのための試験紙ホルダーを提供すること。
【解決手段】 ガス中の被検物質を検出するための試験紙ホルダーは、ガス流通孔を有する下部本体と、該下部本体上に、該下部本体と空隙をあけて支持され、その上に試験紙が保持される多孔性の試験紙支持板と、前記下部本体と接続され、少なくともその天井部が透明な材質で形成され、ガス流通孔を有する上部本体とを具備し、前記下部本体と前記上部本体は接続され、これらの内部に前記試験紙支持板が保持され、前記試験紙が前記試験紙支持板上に保持された場合に該試験紙と前記天井部の下面の間に空隙が形成される。ガス中の被検物質検出器は、上記ホルダー内の前記試験紙支持板上に、ガス中の被検物質を検出するための試験紙が気密に保持されたものである。 (もっと読む)


【課題】 機構の駆動に高電圧を必要とせず試料の把持に際し試料へのダメージを与えることがなく、しかも微細なサンプルを人為的ミスによる破損・紛失することなく、操作に熟練技術を要することもないTEM試料の安全迅速なハンドリング手法を提示すること、また、それを実現する構造的にも単純な微小サンプルホルダを提供する。
【解決手段】 本発明の常閉型微小サンプルホルダは、半導体シリコンプロセス技術によって作製されたものであって、試料を把持する2本の針状体1a,1bからなる先端部材を有し、該2本の針状体は常時近接又は所定の間隙を持って対向配置されると共に、電極間に電圧が与えられると前記2本の針状体を離反駆動させる静電アクチュエータ2a,2bとを備え、電圧が印加されると前記2本の針状体の間隔が開き、電圧が解除されると弾性力で間隔が戻るようにした。 (もっと読む)


【課題】 簡単に目的とする分析エリアについてのみ分析を行うことができ、最適な分析条件を決定することができる生体組織中の微量元素分析装置、試料台及びこれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】 X線マイクロアナライザーで分析する生体組織の分析エリアを決定する分析エリア決定手段21を備えた。また、分析エリア決定手段21で決定された生体組織の分析エリアにおける分析条件を決定する分析条件決定手段31を備えた。さらに、生体組織の染色画像を取得する染色画像取得手段51と、染色画像取得手段51で得られた生体組織の染色画像とX線マイクロアナライザーで得られた微量元素分布画像とを合成する画像合成手段41とを備えた。
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【課題】
検体試料中のAl又はCuの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がAl又はCuであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも一つの薄膜(2)が配置された基板(1)を備えている、蛍光測定器を較正又は標準化するための標準マイクロ素子(4)に関する。この薄膜(2)は、蛍光成分を含む。薄膜(2)には、厚さのない少なくとも一つの第1の領域(3)が形成され、それによって基板(1)を露光する。この薄膜(2)は、第1及び第2の蛍光レベルがそれぞれ薄膜(2)の非露光部分と露光部分(2a)とにおいて規定されるように、少なくとも一つの露光領域(2a)を備えている。第2の蛍光レベルは、第1の蛍光レベルより低い。標準マイクロ素子(4)はまた、複数の蛍光レベルを規定するように複数の積層された薄膜を備えることもできる。
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【課題】
試料基板内の所望観察領域を試料基板を細かく分離せずに正確に位置出しして試料基板表面から任意の深さの領域についての平面試料を容易に作製することのできる薄片状試料の作製方法及び装置を提供すること。
【解決手段】
集束イオンビーム4の照射によって試料基板1に、該基板表面に対し垂直な溝6と傾斜した溝8とを交差させて形成しクサビ状の試料片9を切り出す試料片摘出工程と、切り出した試料片9を試料ホルダ12上に固定する工程と、所望の観察領域を含んで試料基板1の表面15に略平行な薄壁部18を集束イオンビーム4の照射により形成する工程とにより、薄片状の観察部を有する試料を作製する。 (もっと読む)


【課題】 試料の断面構造を観察・解析する場合、試料の温度を調整した状態で断面を加工する。
【解決手段】 試料室内で試料の断面を評価する装置であって、該試料を載置する試料ステージと、該試料の温度を調整するための温度調整手段と、該試料の断面加工、及び観察を行うため該試料に対してイオンビームを照射するイオンビーム発生手段と、前記イオンビームの試料観察の照射に応じて前記試料から放出される放出信号を検出する検出手段とを備えている。前記温度調整手段により前記試料を予め設定された温度に調整した状態で、前記イオンビーム発生手段によるイオンビームの照射、及び前記検出手段による放出信号の検出を行う。 (もっと読む)


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