【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜１０００℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料（内標準試料）に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 （もっと読む）

【課題】大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
【解決手段】ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うこと。
【解決手段】試料分析を行う質量分析装置に導入させるための試料を切符９から採取する試料採取装置であって、内部を通過する切符９に付着した試料を気化させる気化容器本体と、一端が気化容器本体内に開口し、他端が質量分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路２４１とを備え、気化容器本体の内面には、試料引込み流路２４１の試料引き込み口２４５と切符９とを離間させる台形状凸部２５３ａが試料引き込み口２４５面に沿って設けられている試料採取装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】空間内に存在する化学物質を容易に回収可能な回収装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る回収装置は、一つ又は複数の部材によって構成された空間内の物質を回収する回収装置であって、上記空間内に気体又は溶媒を導入するための導入口を上記部材に形成する、導入用ニードル１３と、上記導入口を介して上記空間内に上記気体又は溶媒を供給する供給配管１４と、上記空間から上記物質を含む上記気体又は溶媒を排出するための排出口を上記部材に形成する、回収用ニードル１５と、上記排出口を介して上記物質を含む気体又は溶媒を回収する回収配管１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】土壌中の石油系炭化水素成分含有量を汚染調査を行う現場で短時間に計測できる測定装置を提供する。
【解決手段】気化・燃焼部１は、測定する試料の土壌をカプセル状の試料容器１１５と、前記試料用器１１５と試料投入室蓋１４５を２つの空間を持つ収容空間１１８へ収容させるために自動的に昇降させる収容昇降装置３と、前記試料容器１１５を収容する前記収容空間１１８の一方の加熱ガス通過空間１１９と、前記収容空間１１８のもう一方の酸素と窒素の混合ガスを導入する混合ガス入口２ａを備えた常温ガス通過空間１２０と、前記常温ガス通過空間１２０とインラインヒーター１１３に接続されて前記混合ガスが通過する混合ガス配管２ｃを備えた土壌中揮発性物質抽出装置。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続されたクヌッセン型の試料セル２０を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル２０へガス供給管２６を介してガスを供給可能であり、この試料セル２０を内包した減圧室３０の内包空間を拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４によって減圧可能である。そして、試料セル２０を加熱し試料から生成した試料ガスを、第１オリフィス２２、内包空間、第３オリフィス７２及び第２オリフィス５２を介して検出器が配設された測定室５０へ導入してこれを測定する。このように、試料セル２０が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室３０内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル２０を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】採取針や採取刃などを用いて、厚みが３００ｎｍ以下の極薄層の微小試料片を採取すると、基板層の一部が採取サンプル中に混入してしまい、積層体表面の極薄層を構成する成分を精度良く分析することが困難であった。
【解決手段】厚みが１０〜３００ｎｍの極薄層と、基板層とからなる積層体の表層として存在する極薄層を構成する成分の分析方法であり、
前記極薄層を構成する成分を１０００℃以下の温度で熱分解しない粉末を用いて擦り取り採取する工程と、前記工程により採取された前記成分を熱分解ガスクロマトグラフ質量分析装置に供する工程とを含むことを特徴とする分析方法。 （もっと読む）

【課題】土壌中の石油系炭化水素成分含有量測定する方法を提供する。
【解決手段】気化・燃焼部１は、測定する試料の土壌をカプセル状の試料容器１１５と、前記試料用器１１５と試料投入室蓋１４５を２つの空間を持つ収容空間１１８へ収容させるために自動的に昇降させる収容昇降装置３と、前記試料容器１１５を収容する前記収容空間１１８の一方の加熱ガス通過空間１１９と、前記収容空間１１８のもう一方の酸素と窒素の混合ガスを導入する混合ガス入口２ａを備えた常温ガス通過空間１２０と、前記常温ガス通過空間１２０とインラインヒーター１１３に接続されて前記混合ガスが通過する混合ガス配管２ｃを備えた土壌中揮発性物質抽出装置。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡において、加熱しても試料を連続観察することができ、かつ試料とヒーターの温度差を減らすことができる試料ホルダーおよび試料観察方法を提供する。
【解決手段】試料を載置するための試料膜が固定された加熱部を備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッドスペースガスサンプラにおいて、オーブン内の熱が、動力伝達用二重軸を伝導して軸を支持する軸受の精度および寿命の劣化を惹起する。
【解決手段】ヘッドスペースガスサンプラにおけるオーブン１内部への動力伝達用の二重軸構造において、第一の中空軸４に２箇所以上の開孔４ａ、４ｂを備えるとともに第二の軸５の外側に螺旋状の突起５ａを形成する。前記第二の軸５が回転すると螺旋状の突起５ａに誘導されて前記二軸間に存在する空気に流れが発生し、その流れにつれて前記第一の中空軸４に開孔した一方の孔より外部の空気が吸い込まれ、二重軸の内側に位置する第二の軸５を伝わってくる熱を奪いながら他方の孔を経て外部へと放出される。この空気の循環により、常に外部の冷たい空気が軸５を冷却するので軸受１２の温度上昇を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】吸着剤のバックグラウンドが低く、かつバックグランド上昇が少なくて精度が高く測定できるＶＯＣ用パッシブサンプラーを提供する。
【解決手段】捕集部が吸着剤を充填できる多孔性フィルターとそれを密栓できるキャップから構成され、収納部が保存容器とそれを密栓できるキャップから構成されるＶＯＣ捕集用パッシブサンプラー。 （もっと読む）

【課題】燃焼温度の高い粒子状物質を発生させることができる粒子状物質発生装置を提供する。
【解決手段】燃焼用空気Ｆ１を供給するための空気入口１及び発生した粒子状物質を含有する粒子状物質含有ガスＦ２を排出するためのガス出口２を有し、気体燃料が内部で燃焼されて粒子状物質が発生する燃焼室３と、燃焼室３に挿入され気体燃料を燃焼室３内に連続的に供給するメインバーナ４と、燃焼室３取り付けられ燃焼室３に供給された気体燃料に着火するパイロットバーナ６とを備え、メインバーナが配置されている位置が、パイロットバーナが配置されている位置から下流側に向かって１００ｍｍの位置から、パイロットバーナが配置されている位置から上流側に向かって２００ｍｍの位置までの範囲内である粒子状物質発生装置１００。 （もっと読む）

【課題】被検液の飛散を抑制できる反応容器及び反応方法を提供すること。
【解決手段】遺伝子検査に用いる反応容器１であって、反応容器１内において、被検液を反応容器１内に滴下する滴下手段と嵌合する嵌合部１４と、嵌合部１４に嵌合した滴下手段を反応容器内に封止する蓋２０と、を含む。滴下手段は、マイクロピペットのチップを含んで構成されていてもよい。また、滴下手段は、プランジャーを備えたシリンジを含んで構成されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、フッ化水素を含む化合物中の水分量を精度よく定量できる水分量の測定方法を提供することである。
【解決手段】 一般式：ＸＦ・ｎＨＦ(ただし、Ｘ：Ｋ、ＮＨ_４、Ｎａ、Ｌｉのいずれか１種類、ｎ＞０の有理数、を示す。)で表されるフッ化水素を含む化合物を加熱分解し、発生するガス中の水分中の水分量を定量することにより、該化合物中の水分量を求めることを特徴とするフッ化水素を含む化合物の水分量の測定方法。 （もっと読む）

【課題】土壌中の有害物質を含む液体の前処理を常に監視することなく、かつ、短時間で行うことが可能な前処理装置及びその装置を用いた前処理方法を提供する。
【解決手段】前処理装置１は、有害物質を含む液体である水を密閉して貯留可能な容器２と、容器２内の水を加熱するための加熱器３と、加熱器３による加熱によって容器２内の水が気化した水蒸気を導入可能な熱交換用コンデンサ４と、熱交換用コンデンサ４内を減圧するための真空ポンプ５と、熱交換用コンデンサ４で水蒸気を冷却することにより生じた有害物質を含む水を冷凍して保存するための冷凍装置６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
従来の加熱気化水銀測定装置は、ハロゲン系ガス含有する試料を測定すると水銀捕集剤にコーティングしてある金とハロゲンガスの結合によりハロゲン化金化合物を生成してしまい、水銀を金アマルガム合金として一旦捕集する水銀捕集剤の役目を果たさなくなってしまうという欠点があった。
【解決手段】
本発明の装置は、加熱気化水銀測定装置の流路内にハロゲンガスを吸収するための銀粒子を詰めたガラス管であるカラムを取付け、さらにこのカラムを常時９０℃以上にするための加熱炉を装着した。
本発明は、銀粒子を９０℃以上にすることにより銀と水銀の合金である銀アマルガムとなるのを防ぎ、ハロゲン系ガスを吸着する特性を利用した装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス基板のエッチング過程の品質のスクリーニング試験法を開発する。
【解決手段】本発明は、セラミック基板の上に接合された銅板をエッチングすることにより形成されるDBC基板のエッチングを試験する。電気負性絶縁ガスを加熱して分解したガスを満たした部屋に、DBC基板を所定時間挿入または通過させる。電気負性絶縁ガスのガス分解生成物がDBC基板に残存した銅と反応した生成物を、エッチングの欠陥として判別する。 （もっと読む）

【課題】試料分解時の不純物の混入を確実に避けることにより、精度の高い多結晶シリコンの分析を可能にする。
【解決手段】上方が開放され、前記試料を収容可能な試料容器と、上方が開放され、前記試料を分解する分解用溶液を保持する溶液容器と、前記試料容器および前記溶液容器を収容して密閉空間を形成するチャンバと、前記試料容器を所定の試料温度に加熱する試料加熱器と、前記分解用溶液を所定の溶液温度に加熱する溶液加熱器とを備え、多結晶シリコンに含まれる不純物濃度を分析するために多結晶シリコンの試料を分解昇華させる装置。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍの難揮発性の有機微小異物を高感度に分析できる熱分解質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
加熱プローブ２によって気化した試料をイオン源４に導入し，イオン化された試料を質量／電荷比ごとに分離して検出する質量分析技術において，加熱プローブ２を筒型の気体捕集機構３で覆い，気化した試料を気体捕集機構3によって効率よくイオン源４へ導くことにより，従来は拡散して無駄になっていた試料成分も分析に寄与できるようにした。これにより従来より高感度でＳ／Ｎのよい質量分析が可能となる。 （もっと読む）