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Fターム[2G052EC18]の内容

サンプリング、試料調製 (40,385) | 切断、切削、研磨、薄片化 (1,238) | 手段 (984) | ビーム (343) | イオン(イオンミリングを含む) (248)

Fターム[2G052EC18]に分類される特許

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【課題】試料作製装置及び試料作製方法において、簡便な方法により加工対象の試料の膜厚を測定すること。
【解決手段】試料Sに第1の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第1の二次信号Is1を取得するステップと、試料Sに第2の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第2の二次信号Is2を取得するステップと、第2の二次信号Is2と第1の二次信号Is1との比Is2/Is1を算出するステップと、比Is2/Is1が試料Sの膜厚tに依存することを利用し、比Is2/Is1に基づいて膜厚tを算出するステップと、算出した試料Sの膜厚tに基づき、膜厚tが目標膜厚t0となるのに要する試料Sの加工量を算出するステップと、試料SにイオンビームIBを照射して上記加工量だけ試料Sを加工して、膜厚tを目標膜厚t0に近づけるステップとを有する試料作製方法による。 (もっと読む)


【課題】走査型電子顕微鏡等を用いて化粧料の断面を観察する化粧料の断面観察方法に関し、所望する位置での断面観察を可能とした化粧料の断面観察方法を提供する。
【解決手段】サンプルホルダに化粧料を配設して試料を作成する試料作成工程S1と、この試料を凍結させる凍結工程S2と、凍結された試料を集束イオンビームにより加工し試料に切断面を形成する切断工程S3と、走査型電子顕微鏡を用いて切断面の切断面画像を生成する切断面画像処理工程S4とを有する。また凍結工程S2において凍結された試料を凍結環境を保ったままシールド処理し、凍結環境を保ったまま切断工程S3及び切断面画像処理工程S4を実施する。この際、支持台として、人工皮膚、樹脂テープ、又は皮膚のいずれかを用い、かつ、シールド処理では真空状態又は不活性ガスを充填したシールド部材に凍結された試料を配設する。 (もっと読む)


【課題】S/TEM分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、1以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 (もっと読む)


【課題】湿潤状態にある多孔質繊維の内部構造をSEMで観察するために繊維の断面を得る方法を提供する。
【解決手段】湿潤状態にある多孔質繊維の内部構造を観察するために繊維の断面を得る方法であって、繊維を乾燥処理する工程、前記乾燥処理した繊維を樹脂包埋する工程、前記樹脂包埋処理した繊維を断面加工する工程、前記断面加工処理した繊維から包埋樹脂を除去する工程を順に有する試料調製方法。 (もっと読む)


【課題】FIB加工装置で試料を加工するにあたって、FIB加工装置の真空装置内でプローブ先端に付着した異物を、真空状態を維持したまま除去することが可能な試料作製方法を提供すること。
【解決手段】作業が失敗してプローブの先端部に試料片の一部または全部が異物として付着してしまった場合に、真空を保持したまま、試料片の一部をイオン液体(常温溶融塩)に接触させてから引き離すことによって、前記異物がプローブの先端部から除去されることを特徴とする試料作製方法。 (もっと読む)


【課題】S/TEMサンプルの調製および分析用の改良された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好ましい実施形態により、TEMサンプル作成用、特に小さい形状(厚さ100nm未満)のTEMラメラ用の改良された方法が提供される。本発明の好ましい実施形態は、TEMサンプルの作成および分析のプロセスの労力を低減し、TEM分析のスループットおよび再現性を高めるために、TEMサンプル作成を一部または全部自動化する方法を提供することにより半導体ウェハ上に製造される集積回路または他の構造などの対象に対するS/TEMベースの計測用のインライン・プロセスも提供する。 (もっと読む)


【課題】分析時におけるバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能な微小試料台を提供すること。
【解決手段】微小試料台100は、半導体基板よりなる微小試料台基部10の一面に成膜により一体化された微小試料搭載用薄膜20を有する。微小試料台基部10はV字形状の溝11を有し、微小試料搭載用薄膜20は溝11の上面と溝11の最深部との間に設けられた上端面21を有する。V字形状の溝の両側面は(111)面である。微小試料台基部10の上面13と微小試料搭載用薄膜20の上端面21との間の部分が微小試料70のガード部となる。 (もっと読む)


【課題】超高圧透過型電子顕微鏡の試料室内で試料に対して外的負荷を与え、試料の変形挙動をその場で動的に観察するのに適した透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡を用いて観察する試料の作製方法であって、試料材料を電解研磨または化学研磨し、孔と、孔の周囲に形成された薄膜領域とを有する研磨試料を調製する研磨工程と、研磨試料の薄膜領域の一部を除去して孔を円形孔に形成し、円形孔の周囲に観察対象領域を有する試料を調製する孔形状調整工程とを含むことを特徴とする、透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法である。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工を行う装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の真空室内にイオン液体を充填した液体浴と超音波振動手段を配置し、イオン液体と試料の加工対象領域が接触した状態において、イオン液体中に超音波振動を伝搬させて試料を加工する。
【効果】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工ができるため、スループットを向上させるとともに、大気の影響を防止する。 (もっと読む)


【課題】曲りおよびカーテニングを低減させまたは防ぐような方式でTEM試料を作製する方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好ましい実施形態は、試料を作製するプロセスの最中に、TEM試料の面に材料を付着させる。好ましいいくつかの実施形態では、反対側の面を薄くする前に、既に薄くした試料面に材料を付着させることができ、付着させた材料は、試料の構造的完全性を強化し、カーテニング現象のために薄くなりすぎたエリアを再び埋める役目を果たすことができる。好ましい実施形態では、ミリングしている面に材料を付着させることもでき、付着させた材料は、その試料面のカーテニングを低減または排除する役目を果たすことができる。 (もっと読む)


【課題】イオンビームを用いた断面観察試料の作製方法であって、きれいに鏡面研磨されたエッチング面(加工面)を、広い面積で形成できる方法、及びこの方法を行うための断面観察試料の作製装置を提供する。
【解決手段】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、前記被加工物を、イオンビーム照射方向に対して垂直な方向に、研磨速度以上の速度で移動させながら前記エッチングを行うことを特徴とする断面観察試料の作製方法、及び、試料台、試料台上に被加工物を固定する試料固定手段、遮蔽板固定手段、及び、イオンビーム照射手段、並びに、前記試料台をイオンビーム照射方向に対して垂直な方向に移動させるための試料移動手段を有することを特徴とする断面観察試料の作製装置。 (もっと読む)


【課題】粒子表面からコート層が剥がれ難く、粒子内部とコート層に損傷のない透過式の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法と薄片試料の観察方法を提供する。
【解決手段】透過式の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、コート層で被覆された複数の粒子をSiウェーハー上に載置し各コート層表面にカーボン蒸着膜を形成する第一工程と、集束イオンビーム(FIB)装置を用いて得られたSIM像から3つ連結した特定の連結粒子群を選択しかつFIB装置に装備されたデポジションシステムを用いて連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間にタングステン保護膜を形成した後、FIB装置に装備されたマイクロプローブを用いてSiウェーハーから連結粒子群を抽出する第二工程と、抽出された連結粒子群を加工処理台に載置しかつFIB装置から弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程を具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 透過電子顕微鏡等の観察に適した薄膜部分を広く形成した試料を作製する。
【解決手段】試料素材11上に遮蔽ベルト8を配置し、遮蔽ベルト8の上方から遮蔽ベルト8と試料素材11にイオンビームを照射し、試料素材11にイオンミリングされないイオンビーム非照射面11bと、イオンミリングされるイオンビーム照射面11c,11dを作製するに際し、イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなり、最終的に貫通孔Kが開いた試料が出来る様に、イオンビームの照射方向をそれぞれ設定して遮蔽材と試料素材に向けて異なる方向からイオンビームを照射する様すると共に、作製しようとする薄膜の面に直交する軸を中心として試料素材11を傾斜させながらイオンビームを試料素材11に照射する様にし、試料素材11に貫通孔Kが開いたら試料素材11へのイオンビーム照射を停止する様にした薄膜試料作製方法において、試料素材11の傾斜において、少なくても1つの傾斜角で該試料素材を一時停止させる様にした。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡用試料の薄膜化を可能とすること。
【解決手段】一端34が他端より膜厚の小さい先細り形状の支持台の前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて、試料の正面がみえるように前記試料を前記一端に搭載する工程と、前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する工程と、前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面44a、44bにイオンビーム82を照射することにより、前記上面をイオンミリングする工程と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造方法。 (もっと読む)


【課題】集束イオンビームを利用する微細加工により、微細粒子の凝集体からなる膜の断面を、透過電子顕微鏡観察する目的の薄片化試料を作製する際、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止でき、また、薄片化された部位の大気暴露を防止可能な、薄片化試料の作製方法を提供する。
【解決手段】微細粒子の凝集体からなる膜から抽出した試料片に対し、その二つの断面に集束イオンビームを利用する微細加工を施し、薄片化を行う工程中、各断面に微細加工を施した後、微細加工端面を被覆する、均質な材料からなる薄膜をそれぞれ形成する。形成される均質な材料からなる薄膜は、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止し、また、微細加工端面の大気暴露を防止する、被覆膜として利用される。 (もっと読む)


【課題】本発明は電子顕微鏡用針状試料の作製方法に関し、針状試料を簡単に作製することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡で観察するための針状試料を作製する方法であって、目的試料を載置用試料上に載置する工程と、前記目的試料を前記載置用試料上に固定する工程と、前記目的試料と前記載置用試料に集束イオンビームを照射して、前記目的試料と前記載置用試料からなる薄片試料を作製する工程と、前記薄片試料を溶液に入れて、前記載置用試料を溶解せしめて目的試料のみにする工程と、残った目的試料を溶液から取り出す工程とを含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】高分子材料中のフィラーの分散状態を、迅速かつ定量的に評価することが可能な高分子材料の評価方法を提供する。
【解決手段】高分子化合物とフィラーとを含む高分子材料であって、少なくとも上面が平坦な表面である高分子材料の評価方法である。高分子材料1を、集光イオンビーム(FIB)10を用いて、高分子材料の表面に対する角度αが1〜60°をなす方向に切削した後、切削により形成された高分子材料の平滑面1Aを、平滑面に対し垂直な方向から撮影する。 (もっと読む)


【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程(ステップS1)および薄片部形成工程(ステップS2)を順に行うことで、試料1Bの薄片部13を形成することができる。薄片部形成工程(ステップS2)では、試料の平坦面11の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面11に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面11に対向する対向面12が形成される。これにより、平坦面11と対向面12とに挟まれた薄片部13を有する試料1Bが作成される。 (もっと読む)


【課題】透過型電子顕微鏡用試料において薄片化を行う場合、崩れの制御を容易とする。
【解決手段】透過型電子顕微鏡用試料は、試料本体4aと薄膜部11と保護膜8とを具備する。薄膜部11は試料本体4aから第1の向きに伸び、試料本体4aより薄い。保護膜8は試料本体4a及び薄膜部11の上側の表面に連続的に設けられ、試料本体4a及び薄膜部11の主材料より固い。薄膜部11は、保護膜8の下側に接した極薄膜部12と、極薄膜部12の下側に接した残余部11aとを備える。極薄膜部12は残余部11aより薄い。極薄膜部12は保護膜8と接する部分を第1の辺とする三角形又は四角形の薄片形状を有している。極薄膜部12は、第1の辺に交わり外側に露出した第2の辺と、第2の辺に交わり残余部11aと結合する第3の辺とが成す角が、0°より大きく180°より小さい。 (もっと読む)


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