【課題】低コストかつ簡便な方法で、チタン単体またはチタン化合物を含む材料中の、微量な不純物元素を高感度で定量する技術を提供する。
【解決手段】チタン単体またはチタンを含有する材料から粒子状もしくは粉末状の分析用原料を作製する工程と、分析用原料を濃度３０重量％以上の酸で溶解して酸溶液を作製する工程と、酸溶液を純水で希釈して酸の濃度が１重量％以上１０重量％以下の酸希釈液を作製する工程と、酸希釈液に沈殿抑制物を添加する工程と、酸希釈液に沈殿抑制物を添加した後さらに純水で希釈して分析用試料を作製する工程と、分析用試料中の不純物元素を定量分析する工程からなり、分析用試料は、０．１重量％以上５．０重量％以下の酸と、０．０５重量％以上３．０重量％以下の沈殿抑制物を共に含むことを特徴とするチタン含有材料中の微量元素分析方法。 （もっと読む）

【課題】 安価かつ操作が容易で高精度のサンプル液希釈を自動で行うことができるサンプル液希釈装置の提供。
【解決手段】 一対のシリンジ５，６を、シリンジ筒体間連通路２５を介して連通させた装置を使用し、両シリンジ５，６とシリンジ筒体間連通路２５によって構成される希釈攪拌液収容部内にサンプル液と希釈液とを注入し、シリンジ筒体間連通路２５をオリフィスとしこれを通じて前記両液を両シリンジ５，６内へ往復移動させることによってサンプル液と希釈液とを混合させる 。 （もっと読む）

【課題】排ガス成分計測前の前処理において汚れと大気漏れ込みとを判別する。
【解決手段】この前処理では、精製空気をサンプリングガスおよびバックグラウンドガスとして用いてサンプリング装置のパージを実行し、これらガスに基づきサンプリング装置のパージが完了したか否かを判定する。サンプリング装置のパージが完了していないと判定された場合、大気をサンプリングガスおよびバックグラウンドガスとして用いて大気の漏れ込みの有無を検出する。この検出結果に応じて大気の漏れ込みと汚れとを判別する。 （もっと読む）

本発明は、分析されるべき気体の濃度を判定するための気体分析装置を備える、半導体基板の輸送容器内の気体の汚染を測定するためのステーションであって、前記分析装置が、希釈係数（Ｄ）によって分析されるべき気体の流れ（Ｑ）を希釈するように構成された希釈ユニット（３）と、ポンピングによって希釈された気体の流れ（Ｑａ）をサンプリングするためにサンプリングパイプ（７）を介して希釈ユニット（３）と連通しており、サンプリングされた希釈された気体の流れ（Ｑａ）を分析し、前記分析された希釈された気体の流れ（Ｑａ）および希釈係数（Ｄ）によって分析されるべき気体の流れ（Ｑ）の濃度（Ｃ）を判定するための少なくとも１つの処理手段を備える分析ユニット（５）とを備える、気体の汚染を測定するためのステーションに関する。本発明はさらに、関連する気体分析方法に関する。
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【課題】排ガス成分計測前に適切な前処理を行って計測精度を高める。
【解決手段】この前処理では、まず空気精製機２の吸着材１１を高温精製空気によりパージし、次いで排気連結管７を高温精製空気によりパージする。排気連結管７のパージと並行してサンプリング装置４をパージする。これらパージ後、低温精製空気を用いてサンプリング装置４のパージが完了したか否かを判定する。パージ完了判定後、低温精製空気を用いて空気精製機２の診断を行い、次いで較正ガスを用いてシステム全体を診断する。 （もっと読む）

化学ルミネセンス分析器によって酸化窒素を測定する際に発生する急冷ガスは、測定結果を誤らせる原因となる。そこで本発明の課題は、ガス混合物を分析室（１４）内に制御しながら供給し、かつ分析室（１４）から送り出すための装置を提供することである。この調量装置は、流量制限器（６）を有していて、該流量制限器（６）の後ろで前記調量管路（２）内に前記第１の毛管（１２）が配置されており、バイパス管路（１０）が設けられていて、該バイパス管路（１０）内にノズル（２２）が配置されていて、該ノズル（２２）が前記分析室（１４）の後ろで前記アウトレット管路（１６）内に開口しており、前記バイパス管路（１０）が、前記流量制限器（６）と前記第１の毛管（１２）との間で前記調量管路（２）から分岐している。このような構成によって、急冷効果による測定結果の間違いは、反応室を通る流量を高める配置にも基づいて補償される。
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【課題】粒子数計測システムの構成を簡単化及びコンパクト化するとともに、そのコストを削減する。
【解決手段】メイン流路ＭＬ及び希釈ガス流路ＤＬとの接続点に設けた希釈器ＰＮＤ２と、希釈器ＰＮＤ２に導入される希釈ガス流量を制御する希釈ガス流量制御部ＭＦＣ３と、希釈された排出ガス中の固体粒子数を計測する粒子数計測装置２と、メイン流路ＭＬにおける希釈器ＰＮＤ２及び粒子数計測装置２間から分岐し、定流量器ＣＦＯ３が設けられたバイパス流路ＢＬ３と、メイン流路ＭＬ及びバイパス流路ＢＬ３の合流点下流に接続された吸引ポンプＰと、希釈ガス流量制御部ＭＦＣ３により制御される希釈ガス流量Ｑ_１と、粒子数計測装置２の装置流量Ｑ_２及び定流量器ＣＦＯ３の設定流量Ｑ_３の合計流量とから排出ガスの希釈率を算出する情報処理装置４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】常に正確で安定した揮発性有機化合物の処理能力の評価を行うことができる溶剤ガス処理装置、溶剤ガス処理装置の運転方法を提供する。
【解決手段】被処理気体を処理する溶剤ガス処理装置本体２００と、溶剤液を加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、溶剤ガスと希釈気体と混合させた希釈溶剤ガスを発生させる溶剤ガス発生装置１００と、を備え、被処理気体と溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの溶剤ガス処理装置本体への供給を選択可能とし、溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの供給による溶剤ガス処理装置本体の処理能力の評価運転と、被処理気体の供給による前記被処理気体の処理運転を行うことを可能とするともに、溶剤ガス発生装置からの希釈溶剤ガスを大気開放状態で所定量貯留する区画室３０１内に供給し、区画室内の貯留した希釈溶剤ガスを吸引して溶剤ガス処理装置に供給する。 （もっと読む）

本発明は、液体試料および流体試料から粒子を分離し濃縮するための方法、デバイスおよびシステムに関する。ある態様において、分離/濃縮は、連続的な遠心分離工程によって達成される。特に、本発明の一局面は、第1のバルブ(111)によって連結された第1のチャンバ(101)と第2のチャンバ(103)とを少なくとも含み、第1のバルブの操作によって、第1のチャンバから第2のチャンバへの物質移送が制御される分離/濃縮デバイスに関する。ある態様において、バルブ操作は、手動、半手動、または自動で行うことが可能である。本発明の別の局面は、シングルチャンバまたはマルチチャンバの分離/濃縮器デバイス、ならびに使用のための方法およびシステムに関する。本発明の別の局面は、半手動アクチュエーションデバイス、ならびに特注の遠心分離機に備えられた自動慣性アクチュエーションデバイスおよび機械式アクチュエーションデバイス等の、バルブ操作のためのデバイスに関する。

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【課題】粒子数計測システムにおいてメイン流路を構成する配管の構成をコンパクトにしながらも配管の流路方向を変更可能にし、また、システム全体として複雑な構造にすることを防止するとともに排出ガスと希釈ガスとを十分に混合可能にする。
【解決手段】粒子数計測システム１００の下流側希釈器ＰＮＤ２が、一端から他端に行くに従って漸次縮径する回転体形状の内部空間Ｓを有するボディ５と、内部空間Ｓの中心軸Ｃ上に沿って設けられ、排出ガス及び希釈ガスを内部空間Ｓ内に導入する導入管６と、導入管６に直交して設けられ、内部空間Ｓ内の旋回流により希釈された排出ガスを内部空間Ｓ外に導出する導出管７とを有し、ボディ５が内部空間Ｓの中心軸Ｃが略水平となるように設けられ、導入管６が蒸発器ＥＵに接続され、導出管７が粒子数計測装置２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】常に正確で安定した揮発性有機化合物の処理能力の評価を行うことができるとともに、構成の簡素化を図った溶剤ガス処理装置を提供する。
【解決手段】気化管１２１で気化した溶剤ガスを噴出する噴出口を有するノズル孔１２９と、溶剤ガスと混合する希釈気体を供給するブロアＡ１３６と、加熱した気化管にポンプにより溶剤液を供給し加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、ノズル孔から噴出した溶剤ガスにブロアＡ１３６より供給した希釈気体を混合させて希釈溶剤ガスを発生する溶剤ガス発生装置１００と、被処理気体を処理する溶剤ガス処理装置本体２００とを備え、希釈溶剤ガスの供給による溶剤ガス処理装置本体の溶剤ガスの処理能力の評価運転と、被処理気体の供給による被処理気体の処理運転を行うことを可能とし、被処理気体を前記ブロアＡ１３６により溶剤ガス処理装置本体へ供給する。 （もっと読む）

【課題】濃度調整の対象となるガスを他のガスで希釈して行う濃度調整の簡略化を図る。
【解決手段】水素ガス供給源ＨＳから純水素ガスを第１容器１０に封入し、この第１容器１０を、シリンダピストン構造を備える第２容器２０に連通管路５０を介して連通させる。第１容器１０に純水素ガス封入状態で、開閉バルブ５１と放出用開閉バルブ５３を閉弁し、ピストン２２を後退させてシリンダ内容器室２４の内容積を拡張させる。内容積拡張に合わせて、まず開閉バルブ５１を開弁して、第１容器１０から純水素ガスをシリンダ内容器室２４に吸引通気しつつ、放出用開閉バルブ５３も開弁して、空気を第１容器１０を経てシリンダ内容器室２４に吸引通気する。 （もっと読む）

【課題】ガスの組成分析を行うにあたり、サンプル流量調整用のマスフローコントローラ内部における水分の凝縮を抑制するとともに、マスフローコントローラの構造に起因する分析計の応答遅れを抑制することにより、組成分析の精度を向上させる。
【解決手段】ガス組成分析装置１０は、分析対象となるガスをサンプリングするサンプリング手段（バルブ１２等）と、このサンプリング手段でサンプリングしたサンプルガスの流量を調整するマスフローコントローラ１３と、マスフローコントローラ１３で流量を調整したサンプルガスの組成分析を行う組成分析手段１４と、を備え、さらに、サンプリング手段でサンプリングされマスフローコントローラ１３に導入されるサンプルガスに希釈ガスを供給してサンプルガスを希釈する希釈手段（希釈ガス用のマスフローコントローラ１５等）を備える。 （もっと読む）

【課題】排ガス中のＮ₂Ｏの排出質量の計測をより高精度に行なうことが可能な排ガス計測装置を提供する。
【解決手段】本実施の形態に係る排ガス計測装置１０は、大気中の空気１１Ａを取り込んで精製した精製空気１２を希釈空気として送風する空気精製機１３を有する排ガス計測装置であって、空気精製機１３は、取り込んだ空気１１Ａを加熱する加熱部１６と、加熱された空気１１Ｃ中の計測対象成分を除去する触媒１７が備えられている触媒部１８と、加熱された空気１１Ｃの冷却又は加温を行なう温度調整可能な温調部１９と、冷却された空気１１Ｄ中の少なくともＮ₂Ｏを吸着し、除去する吸着材２０が設けられている吸着部２１と、取り込まれた空気１１Ａと加熱部１６で加熱された空気１１とを熱交換する熱交換部２２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】排気接続管内の汚れを高感度で簡易に分析を行なうことが可能な排ガス計測装置を提供する。
【解決手段】排ガス計測装置１０は、取り込んだ空気１１を精製した精製空気１２を希釈空気として用いる排ガス計測装置であり、空気１１の温度を調整し、温度調整した空気を精製空気１２として圧送する空気精製機１３と、精製空気１２を流通させる主通路１７と、排ガスを主通路１７内に送給する排気接続管１８と、排ガスと精製空気１２とが混合される混合部１９より下流側に設けられ、主通路１７内を開閉可能とする開閉弁２０と、排気接続管１８の接続部２１から分岐した第一の分析ライン２２−１と、主通路１７から分岐された第二の分析ライン２２−２と、第一の分析ライン２２−１に採取したパージガス１２Ａ又は第二の分析ライン２２−２に採取した希釈排ガスを分析する分析器２３に接続される第三の分析ライン２２−３とが連結される三方弁２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 免疫測定法等の磁性粒子を用いた分析に用いることができる磁性粒子捕集用磁力体、該磁力体を用いる磁性粒子の捕集方法、及び、該磁力体を用いる装置を提供する。
【解決手段】 複数の磁石が、隣接するそれぞれの磁石の磁極が南北交互になるように磁化方向に対して平行に接触して配置されていることを特徴とする磁性粒子捕集用磁力体、又は、磁極面中に少なくとも１つ以上の磁力のピークを有し、該ピークの磁力が６００ガウス以上であることを特徴とする磁性粒子捕集用磁力体を用いて、磁性粒子を補集する。 （もっと読む）

【課題】排気ガス浄化装置へ供給する評価用の排気ガスであって、ＰＭが所望の（特定の）粒径分布を有するものを、安定して製造し供給するために好適な手段を提供すること。
【解決手段】空気の中に、軽油（燃料）を、空気過剰率λを特定して、間欠で噴射し、７５０℃以上、１０５０℃以下、の温度で燃焼させ、ガスの中に、特定の粒径分布からなるパティキュレートマター（ＰＭ）を発生させるＰＭ発生方法の提供による。 （もっと読む）

【課題】故障が抑制され、長寿命であり、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスをモニターすることができるガス検出装置およびそれを備えた酸窒化処理設備を提供する。
【解決手段】半導体の製造に用いる酸窒化処理設備１のガス検出装置３０において、排ガスを希釈するための希釈用ガスを搬送する希釈用ガス流路３３、および処理炉１０から排出された排ガスと希釈用ガスとを混合して混合ガスを生成する混合ガス流路３５を設ける。これにより、希釈用ガスにより排ガスを希釈して、窒素酸化物を検出するセンサ部３６に一定時間に導入される窒素酸化物や硝酸ガスの量を低減し、ガス検出装置の故障を抑制し、長寿命化を図り、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスのモニターを可能にする。 （もっと読む）

【課題】大気中のジフェニルシアノアルシン、ジフェニルクロロアルシン及びビス（ジフェニルアルシン）オキシドを高感度に連続測定できるモニタリング装置を提供する。
【解決手段】吸引配管１中において大気を加湿して比較的高い一定の湿度に調節し、ジフェニルシアノアルシン、ジフェニルクロロアルシン及びビス（ジフェニルアルシン）オキシドに由来する共通のイオンを測定する。 （もっと読む）

【課題】自動車等から排出される排気ガスを定容量採取（ＣＶＳ）によって採取して分析する排気ガス計測装置に関し、希釈率を低減させることで計測精度を向上させる。
【解決手段】排気ガス計測装置は、排気ガスが導入される本体部１４と、一端が本体部１４に連通し他端が外気に開放された希釈部１６と、本体部１４内のガスの一部を一定の割合で採取する定容量採取部２０と、採取されたガスの分析を行う分析部２２と、本体部１４に連通し、排気ガスを一時的に貯留するための空間を形成する可変容積部２４を備えている。可変容積部２４は、本体部１４と連通する上板２４１と鉛直方向に伸縮自在な側板２４３と所定の重さの底板２４２とから構成され、本体部１４の圧力が所定の基準値より大きい場合に、底板２４２が下降して容積部２４の容積が拡大するように、該底板２４２の重さが調整されている。 （もっと読む）