【課題】残留農薬検査における農産物等の検査対象物の前処理を自動化し、高い回収率で残留農薬を抽出でき、かつクロスコンタミネーションが低減された残留農薬自動前処理システムを提供すること。
【解決手段】試料コップ１１０と、可動式試料ストックテーブル１００と、溶媒供給装置と、ホモジナイザーと、第１の試料容器と、第１の可動式容器ストックテーブル２００と、メスアップ装置３０と、第１の撹拌手段４０と、第２の試料容器と、分注装置５０と、第２の撹拌手段８０と、第３の試料容器と、溶媒回収装置６０と、を備える、残留農薬自動前処理システム。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ上に形成されたエピタキシャル層の層厚測定用試料を簡便に製造できる層厚測定用試料製造装置を提供する。
【解決手段】エピタキシャル層３が形成されたウエハ片１を、そのエピタキシャル層３の一部を残してエピタキシャル層３をエッチングして層厚測定用試料を製造し、エッチング後のウエハ片１上に段差として残ったエピタキシャル層３の層厚を測定するための層厚測定用試料製造装置１０において、ウエハ片１を挟み込む開閉自在の２枚の樹脂板１１，１２と、これら２枚の樹脂板１１，１２の一方に設けられ、ウエハ片１上に形成されたエピタキシャル層３の一部をエッチングから保護すべくエピタキシャル層３の一部と密着するエッチング防止ゴム１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 銀メッキ層が形成された金属母材の溶解を抑制して銀メッキ層のみを選択的に溶解し、人体や環境に対する安全性が高く、効率的にかつ高い精度で銀メッキ層に含有する元素の定量分析を行うことができる銀メッキ層溶解液及び銀メッキ層溶解方法、並びに銀メッキ層含有元素の定量方法を提供する。
【解決手段】 銀以外の金属母材の表面に銀メッキ層が形成された被処理物を、カルボン酸化合物と過酸化水素とを含有する溶解液に浸漬させる。好ましくは、カルボン酸の含有量を１０ｍｌ／ｌ以上１００ｍｌ／ｌ以下とし、過酸化水素の含有量を９００ｍｌ／ｌ以上９９０ｍｌ／ｌ以下とする。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ 線分析装置において高精度な分析結果を得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板を酸蒸気に暴露する工程と、酸蒸気に暴露された前記半導体基板の表面の不純物を酸溶液で走査回収する工程と、前記走査回収した酸溶液を前記半導体基板上で濃縮乾燥させ濃縮乾燥物に変える工程と、前記濃縮乾燥物を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第一の測定値を得る工程と、前記半導体基板を酸蒸気に暴露する工程の後に、前記半導体基板上で前記濃縮乾燥物の位置とは異なる位置を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第二の測定値を得る工程と、前記第二の測定値を用いて前記第一の測定値の精度の確認を行う工程とにより半導体基板の分析を行う方法。 （もっと読む）

【課題】シート状固形物の表面に残留している揮発性成分と難揮発性成分の分析を簡
便に且つ短時間に実施できるようにする為の装置を提供すること。
【解決手段】シート状固形物の表面と裏面に存在する揮発性成分を同時に捕集することができ、且つ、難揮発性成分を溶媒抽出することができる捕集・抽出用装置であって、シート状固形物を２つの容器で挟み込むことにより、前記シート状固形物の表裏にそれぞれの前記容器によって密閉空間が形成され、前記容器には、それぞれ開口部が設けられており、
前記開口部には、それぞれセプタムが設けられていて前記密閉空間を密閉でき、前記セプタムには、前記揮発性成分を吸着する捕集体を保持する支持体が設けられていることを特徴とするシート状固形物の捕集・抽出用装置。 （もっと読む）

【課題】半導体製造に係る基板処理装置に用いられる、新規で有用な石英部材を提供する。
【解決手段】半導体製造に係る基板処理装置に用いられる石英部材１０１であって、前記石英部材自身の金属汚染物質を検出するためのエッチング液を保持する凹状のエッチング液保持部１０２を備えたことを特徴とする石英部材１０１が提供される。 （もっと読む）

【課題】分析試料を溶解液に浸漬して試料表層部を溶解し、分析不純物を含んだ溶解液を効率よく回収することのできる容器及びそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】試料処理用容器１は、固体試料が容器内側面にも容器内底面にも一面全体で密着しないように、容器内壁および容器底に微小な突起部２、３を有し、溶解液が試料表面と均質に接することが可能となる。また、溶解液を効率よく回収するための微小な液溜め４を設ける。試料処理用容器１の材質は、フッ素樹脂であることが好ましく、溶出試験ですべての金属元素の濃度が１ｐｐｂ未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハ表面の超微量不純物金属の分析、特に自動分析の方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る分析方法は、第１工程である分解（又はエッチング）表面に生じる種々の生成物（副生物）を除去又は不活性化処理を行い、かつその後必要であれば表面を速やかにＨＦガスで疎水性化することで、極めて再現よく効率的に、疎水性シリコンウェハ表面を水滴でスキャンして表面の分解物を回収して分析する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板内部に含まれる金属不純物汚染を低コストかつ容易に回収および分析可能な半導体基板の分析方法および分析装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１の表面に回収液の濃硫酸２を供給し、該濃硫酸２を半導体基板１との間に挟むように疎水性部材３を配置し、該濃硫酸２を前記半導体基板１に広く接触させ、前記半導体基板１の内部に含まれる金属不純物を前記濃硫酸２中へ溶解させた後、前記疎水性部材３を取り外し、前記半導体基板１および前記疎水性部材３の少なくとも一方の表面に残留する前記濃硫酸２を分析する。また、前記半導体基板１を加熱することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【解決手段】分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、容器に設けられた、被測定面と抽出液とを接触させるための開口部と、容器内の抽出液を循環する循環手段と容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、を備える分析対象物質抽出装置である。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に付着したイオン性汚損物中のイオン成分の種類と量を分析できる汚損物の分析方法及び、プリント基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】イオン性汚損物で汚損されたプリント基板から、該イオン性汚損物質中のイオン成分を純水中に抽出させ、得られた抽出液中のイオン成分をイオンクロマトグラフィー法で測定し、検出されたイオン成分の種類と量を分析する。該方法で、プリント基板に付着したイオン成分の種類と量を分析することにより、プリント基板に付着した各イオン成分の濃度を所定値以下とするのに必要な洗浄条件を求め、この洗浄条件に従って、同様な使用条件下で汚染されたプリント基板の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ低侵襲に、常時、生体から生理活性物質を採取することができ、正確な生体情報を取得することが可能な生体情報取得方法の提供。
【解決手段】生体に由来する生理活性物質の定量値に基づいて、生体に関する情報を取得する生体情報取得方法において、生理活性物質を生体の体表表面から取得する手順を含むことを特徴とする生体情報取得方法を提供する。この生体情報取得方法において、体表表面は、指又は掌の皮膚表面とすることができる。生体の体表表面から生理活性物質を取得することにより、簡便かつ低侵襲に生理活性物質を採取することができ、また常時生体から生理活性物質を採取することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】フィルム中の特定成分の表面近傍の成分量と内部に存在する成分量を区別し、深さ方向における特定成分の成分量を求めるための深さ方向分析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】フィルムの特定成分の成分量を深さ方向に分析する深さ方向分析方法であって、フィルム表面の特定面積Ｓ_１について第１の溶媒を接触させる工程と、時間Ｔ_１経過後に前記第１の溶媒を回収する工程と、前記回収した溶媒についてクロマトグラフィーをおこない、特定成分の成分量ｍ_１を求める工程と、フィルム表面の特定面積Ｓ_２について第２の溶媒を接触させる工程と、時間Ｔ_２経過後に前記第２の溶媒を回収する工程と、前記回収した溶媒についてクロマトグラフィーをおこない、特定成分の成分量ｍ_２を求める工程とを備え、且つ、少なくとも第１の溶媒と第２の溶媒の溶解度パラメーターが異なる、または、時間Ｔ_１とＴ_２が異なることを特徴とする深さ方向分析方法とした。 （もっと読む）

試料を形成して分析対象の表面（２２）から吸引するための方法およびシステム（２０）では、ポート（３７）を備える採集器具（２４）を利用し、そのポートを通じて分析対象の表面上に溶液が誘導される。ポートは分析対象の表面に近接させて位置決めされ、そして溶液がポートを通じて表面上に誘導されて、これにより、表面上に誘導された溶液が、表面を構成する物質と相互作用するようになる。その後、一分量の物質（５２）が表面から吸引される。圧力制御を利用して、表面における溶液平衡を操作することができ、これにより、上記一分量の物質の表面からの吸引が制御される。また、そのような圧力制御を、ＸＹ平面内での採集器具のポートに対する表面の相対移動に連携させることができる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハの外周部の膜を確実に除去し、シリコンウェーハの外周部に含まれる金属不純物を高感度に分析可能なシリコンウェーハの分析方法を提供する。
【解決手段】溶出装置３０を用いて、外周部Ｅまで酸化膜を除去したシリコンウェーハの外周部Ｅに含まれる金属不純物を溶媒３６に溶出（回収）させる際には、まず、溶出用容器３３に所定量の溶媒３６を注入する。溶媒３６は、シリコンウェーハ１０の特性劣化の原因となるＣｕを確実に溶出させることが可能な、フッ化水素酸、過酸化水素水、および塩酸を含む溶媒を用いる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス板状体の表層に含有される金属をエッチング液で溶解して定量分析する際、エッチング液が漏出しないようにする。
【解決手段】板状体分析用治具１の下側シート材２１に分析すべき板状体試料４０を載せ、その板状体試料４０の表面にリング１０を載せ、更に上側シート材２０をリング１０の上に載せる。固定手段３のボルト３０を穴２６に通し、ナット３１によって上下のシート材２０、２１を締め付けて上下シート材２０をリング１０に密着させる。開口２５からエッチング液をリング１０と上側シート材２０で画定された貯留空間に注入し、板状体試料４０の表層部分を溶解させ、溶解液を採取し、採取した溶解液中の金属またはイオンを分析定量する。 （もっと読む）

【課題】有機材料とセシウム化合物との混合試料中のセシウム量を迅速かつ簡便に定量する方法を提供する。
【解決手段】基板上に製膜された有機材料とセシウム化合物との混合試料中のセシウムを希酸により溶出し、その溶出液中のセシウムイオンをイオンクロマトグラフィーで測定し、その測定値から上記混合試料中のセシウム量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面に付着する液滴から水分を飛ばす液滴乾燥方法を提供しようとする。
【解決手段】
従来の基板を液滴で処理する液滴乾燥方法にかわって、開口に連通した窪みを形成し前記開口の周囲を囲う輪状の縁部を持ち前記開口を基板の表面に対面させ基板の表面に付着した液滴を前記窪みで覆って基板の表面に付着した液滴に接触しない様に支持され雰囲気を基板の表面と前記縁部との隙間から吸引し前記窪みの奥から外へ排出できる様になった液滴保持治具を準備する準備工程と、前記窪みの中の気体を前記窪みの奥から外へ排出する排気工程と、前記液滴保持治具を支持して基板の表面と前記縁部との離間距離を所定の距離に維持する支持工程と、を備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】シリコン溶液の量や分析の対象の形状にかかわらず適用でき、短時間で容易に分析でき、しかも高精度で信頼性の高いシリコンウェーハ中の汚染物の分析方法を提供する。
【解決手段】溶解されたシリコンウェーハを含むシリコン溶液７を製造用シリコンウェーハ８上に載置する載置工程と、前記製造用シリコンウェーハ８上で前記シリコン溶液７を加熱することにより、前記シリコン溶液７中のシリコン成分を除去する除去工程とを備えるシリコンウェーハ６中の汚染物の分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】精度を保ちつつ、簡易な工程で迅速に分析を行うことが可能な残留農薬の分析方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る残留農薬の分析方法は、第１抽出液１２Ａであるヘキサン中に農作物３０を浸して超音波洗浄し、主として疎水性の農薬を第１抽出液１２Ａ中に抽出する第１超音波洗浄工程（Ｓ１０）と、第２抽出液１２Ｂである水中に農作物３０を浸して超音波洗浄し、主として水溶性の農薬を第２抽出液１２Ｂ中に抽出する第２超音波洗浄工程（Ｓ１１）と、第１及び第２抽出液１２Ａ，１２Ｂに対して転溶・濃縮を行う抽出液の転溶・濃縮工程（Ｓ１２）と、転溶・濃縮工程において得られた分析試料に含まれる農薬の測定を行う農薬測定工程（Ｓ１３）とを有している。 （もっと読む）