【課題】半導体製造に係る基板処理装置に用いられる、新規で有用な石英部材を提供する。
【解決手段】半導体製造に係る基板処理装置に用いられる石英部材１０１であって、前記石英部材自身の金属汚染物質を検出するためのエッチング液を保持する凹状のエッチング液保持部１０２を備えたことを特徴とする石英部材１０１が提供される。 （もっと読む）

【課題】高温高圧化学反応において使用できるベッセルを提供すること。
【解決手段】高温高圧化学のための圧力ベッセルアセンブリであって、１つの端部に開放口部を画定する円筒形のベッセルと、該ベッセルの該口部の周囲を該口部から横に延びている円周状のリップと、該口部において該ベッセルを係合および閉鎖するためのシールカバーと、該シールカバーの該傾斜面と該ベッセルリップの該傾斜面との接合部において、該シールカバーによって画定される、円周状の圧力解放チャネルと、該圧力解放チャネルと連絡する、該シールカバーにおける少なくとも１つの圧力解放開口部と、該ベッセルの該傾斜面と該シールカバーの該傾斜面とが会合する位置において該シールカバーを包囲する保持リングであって、該ベッセルリップに対して該シールカバーを半径方向に促す、保持リングとを含む、圧力ベッセルアセンブリ。 （もっと読む）

本発明は試料２からの分子汚染物質２２のガス放出を分析するための装置１００，２００及び方法に関する。装置１００，２００は試料２を収容するための低圧チャンバ１を有し、低圧チャンバ１内の圧力は１０^−３ｍｂａｒ乃至１０ｍｂａｒである。さらに装置１００，２００は、低圧チャンバ１に層流ガス流１２，３３，３４を供給するための手段４，５，７，９であって、ガス流の第１の部分１３，３５は試料２からガス放出された分子汚染物質２２を捕捉し輸送する、手段と、試料２から下流の第１の位置にある、ガス流の第１の部分１３，３５を受け取るための手段３，４０とを有する。分析器３はガス流の第１の部分１３，３５の内容を分析する。
（もっと読む）

【課題】重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる重金属抽出方法を実現する。
【解決手段】本発明の重金属抽出方法は、液体サンプル中の重金属を陽イオン交換樹脂に吸着させる吸着工程と、抽出対象以外の重金属を溶出する洗浄試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から抽出対象以外の重金属を除去する第１の除去工程と、抽出対象の重金属を溶出する溶出試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から重金属を溶出する第１の溶出工程とを含むので、重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】溶融金属採取場所の制約に影響を受けずに、成分分析に直ちに供し得る試料を採取するサンプラーと、それを用いるサンプリング方法を提供する。
【解決手段】本発明は、溶融金属から金属試料を採取する金属試料採取サンプラーであって、溶融金属を採取して当該溶融金属を凝固させるサンプラー本体と、サンプラー内を真空吸引する吸引ポンプと、サンプラー本体と吸引ポンプとの間を接続し、少なくともフレキシブルパイプを含む接続部とを備える金属試料採取サンプラー、及び、これを用いたサンプリング方法である。 （もっと読む）

【課題】従来、高純度のクロロシラン類中の無機系不純物元素の分析においては試料の加水分解反応は塩化水素、ケイ酸の生成と熱の発生を伴う激しい反応であり、効率良く安全に分解することが極めて困難であった。また気体試料の場合、微量不純物の検出のためには大量の試料を扱う必要があり、分解に時間がかかる問題があった。
【解決手段】本発明の分析法により、冷却固化させた試料と、同様に予め冷却固化させたフッ化水素酸、あるいは液体のフッ化水素酸を接触させることにより、クロロシラン類を安全で穏やかに短時間で分解できる。その後、副生成物を加熱気化により除去すると共に、微量不純物を濃縮することで高感度に不純物を分析できる分析試料の処理の提供を目的とする。 （もっと読む）

【課題】爆発物および薬物を検出する場合に試料採取用スワイプが変形するのを防止する携帯型試料採取装置および試料採取方法を提供する。
【解決手段】装置は後方部においてハンドル１４を備え、前方部においてその下面に配置された拭き取り面７を有する拭き取り試料採取機構１５を備える。試料採取用スワイプ８は拭き取り中に対象の表面と完全に接触した状態となり、拭き取り効率を向上させる。大量の試料採取用スワイプを節約するために、より小さな試料挿入口を分析装置に配置する。復帰させることが難しい試料採取用スワイプの変形及び折り曲げを防止し、試料挿入操作を保証し、試料の収集および試料の注入の双方の効率を増強し、検出されるべき被検体の検出性能を向上させる。拭き取り面に試料採取用スワイプを取り付ける工程と、試料採取用スワイプの前端部を固定する工程と、試料採取用スワイプの後端部を固定する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ケイ素含有固体金属材料中に含有するケイ素その他の成分を、簡便な装置および操作により分析または定量する。
【解決手段】金属材料１０に第１の酸を添加し、金属成分を酸溶解させる第１の酸処理手段１２と、金属材料１０を酸溶解させた金属材料溶液に塩基を添加し、ケイ酸塩を形成させる塩基処理手段１６と、ケイ酸塩を含む金属材料溶液に第２の酸を添加し、ケイ酸イオンを形成させる第２の酸処理手段２２とで処理された後に測定手段または装置２８により成分分析を行う。 （もっと読む）

【課題】カドミウム以外の金属イオンを除去しカドミウムを濃縮させるという前処理が迅速に実施できるカートリッジ、及び該カートリッジを用いた試料中のカドミウムを分析する方法を提供する。
【解決手段】収納部及び複数の口を有し該口以外は密閉されたカートリッジにおいて、該口の少なくとも１つの口は試料注入口であり、試料注入口の断面積は収納部の断面積よりも小さく、試料注入口と収納部との間にはフィルターが具備されており、収納部にはカドミウムを選択的に吸着する剤を担体に固定化した充填材が充填されてなるカートリッジ；並びに
該カートリッジに試料を通液し、0.05M以上の塩酸水溶液を通液したのち、硝酸水溶液を通液し、得られた硝酸水溶液による脱離分のカドミウム含有量を測定することを特徴とする分析方法。 （もっと読む）

【課題】基板上の分析対象物質が被膜で覆われている場合に、良好な精度で当該被膜の下の分析対象物質の分析を行うことが可能となる分析方法と、該分析方法を実施する分析装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された被膜を、紫外線を照射することで除去する第１の処理部と、前記基板表面に溶解液を供給して前記基板上の分析対象物質を溶解させる第２の処理部と、前記第２の工程で用いた前記溶解液中の前記分析対象物質を分析する第３の処理部と、を有することを特徴とする分析装置。 （もっと読む）

【課題】良好な精度で、かつ容易に石英部材の分析を行う分析方法を提供する。
【解決手段】石英部材にエッチング液を供給してエッチングする第１の工程と、前記第１の工程で用いた前記エッチング液中の金属を分析する第２の工程と、を有する石英部材の分析方法であって、前記第１の工程の前記エッチング液の供給は、前記石英部材に形成された凹状のエッチング液保持部にされることを特徴とする石英部材の分析方法。 （もっと読む）

【課題】分析できる試料を素早く、且つ、確実に採取できる。
【解決手段】紙管４内にディスク状の試料を採取する鋳型２と、ピン状の試料を採取するガラス管３とを個別に設けた溶鋼の採取を行うための溶鋼採取複合サンプラー１であって、分析できる試料を素早く、且つ、確実に採取できるように、鋳型２の厚みＤ１，鋳型２の内径Ｒ１，鋳型２内の高さＨ，ガラス管３の全長Ｌ，ガラス管３の厚みＤ２，ガラス管３の太部２１の内径Ｒ２，ガラス管３の細部１９の内径Ｒ３，細部１９の内容積Ｖ，鋳型２の本体とガラス管３の細部１９との間隔Ｓを設定する。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼または非鉄金属のＸ線蛍光分析用・発光分光分析用など及びガス分析用の酸化物層と汚染物などを除去した新鮮な表面を有する板状試料及び酸化物層と汚染物などを除去した新鮮な微細片を一つの装置で同時に調製することができる分析用試料調製方法および装置を提供することである。
【手段】断面が略円形の棒状または円板状の上記分析用検体の切断面から微細片をフライス盤で切削する際、フライス盤として、その回転ヘッドに上記切断面の周縁部をテーパー状に切削するテーパー形成切削歯（ａ）と、（ａ）によりテーパー状の周縁が形成された切断面を切削してガス分析用の微細片を形成する微細片形成切削歯（ｂ）とが設置されているフライス盤を使用する。 （もっと読む）

【課題】 金属試料中に存在する介在物の粒径を迅速に且つ精度よく測定する。
【解決手段】 発光装置５２の放電回路５２Ａを構成する放電発生用コンデンサ５２ａとして、容量が８〜１６μＦのものを用いて、電圧が３００〜５００Ｖで、１パルス当たりの放電時間が８０〜１９０μｈの条件でパルス放電を生じさせることにより、金属試料の被検査面に存在する介在物を発光分光分析する。この発光分光分析による結果に基づいて、金属試料の検査基準面積に存在する介在物の最大粒径を測定し、この最大粒径を用いて極値統計法に基づく統計処理を行うことにより、金属試料の予測を行う面積に存在する介在物の推定最大粒径を測定する。 （もっと読む）