【課題】本発明は、同一装置により、エッチング工程と回収工程の両工程が行える、小型で簡易的な分析装置であって、基板に形成された膜の種類によらず分析可能であり、基板上の局所分析にも好適な分析装置を提供する。
【解決手段】本発明は、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とからなる２重管ノズルを備え、回収手段は２重管ノズルのノズル本体であり、エッチング手段はノズル本体と外管との間に供給されるエッチングガスである基板分析装置に関する。本発明は、同一装置によりエッチング工程と回収工程の両工程を行うことができる分析装置であり、簡易的な分析や、基板の特定箇所についての局所的な分析にも好適である。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】空間内に存在する化学物質を容易に回収可能な回収装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る回収装置は、一つ又は複数の部材によって構成された空間内の物質を回収する回収装置であって、上記空間内に気体又は溶媒を導入するための導入口を上記部材に形成する、導入用ニードル１３と、上記導入口を介して上記空間内に上記気体又は溶媒を供給する供給配管１４と、上記空間から上記物質を含む上記気体又は溶媒を排出するための排出口を上記部材に形成する、回収用ニードル１５と、上記排出口を介して上記物質を含む気体又は溶媒を回収する回収配管１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続されたクヌッセン型の試料セル２０を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル２０へガス供給管２６を介してガスを供給可能であり、この試料セル２０を内包した減圧室３０の内包空間を拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４によって減圧可能である。そして、試料セル２０を加熱し試料から生成した試料ガスを、第１オリフィス２２、内包空間、第３オリフィス７２及び第２オリフィス５２を介して検出器が配設された測定室５０へ導入してこれを測定する。このように、試料セル２０が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室３０内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル２０を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】常設された危険物質の検査エリアにおいて爆発物等の危険物質の発見が見逃された場合であっても、迅速かつ容易に爆発物等の危険物質を発見したりその所持者を特定したりする。
【解決手段】列車２の荷物置き用の棚付近、エアコン内部または座席付近等に据え付けられ、列車２の客室内部または荷室内部の気体を採取して試料とする試料採取部と、試料採取部により採取された試料を分析して爆発物等の危険物質を検出する検出装置とを備える危険物検出装置２０１を提供する。 （もっと読む）

【課題】常設された危険物質の検査エリアにおいて爆発物等の危険物質の発見が見逃された場合であっても、迅速かつ容易に爆発物等の危険物質を発見したりその所持者を特定したりすること。
【解決手段】試料を採取する試料採取装置３０２と、試料採取装置３０２により採取された試料に混入する爆発物を吸着する吸着剤または試料に混入する爆発物を溶解する溶媒を有する試料捕集装置３６１と、試料採取装置３０２および試料捕集装置３６１を据え付けたワゴン９と、試料捕集装置３６１により吸着剤に吸着した爆発物または溶媒に溶解した爆発物を検出する検出装置とを備える検出システム３００を提供する。 （もっと読む）

【課題】採取針や採取刃などを用いて、厚みが３００ｎｍ以下の極薄層の微小試料片を採取すると、基板層の一部が採取サンプル中に混入してしまい、積層体表面の極薄層を構成する成分を精度良く分析することが困難であった。
【解決手段】厚みが１０〜３００ｎｍの極薄層と、基板層とからなる積層体の表層として存在する極薄層を構成する成分の分析方法であり、
前記極薄層を構成する成分を１０００℃以下の温度で熱分解しない粉末を用いて擦り取り採取する工程と、前記工程により採取された前記成分を熱分解ガスクロマトグラフ質量分析装置に供する工程とを含むことを特徴とする分析方法。 （もっと読む）

【課題】特定のアミド化合物と該アミド化合物に混和する化学物質とを含有する混合物から、前記化学物質を高純度で分離できる手段の提供。
【解決手段】下記式（１）〜（７）で表されるアミド化合物からなる群から選択される一種以上のアミド化合物と、該アミド化合物及び該アミド化合物に混和する化学物質を含有する混合物から、該化学物質を除去するための担体と、を備えたことを特徴とする化学物質の分離キット；下記式（１）〜（７）で表されるアミド化合物からなる群から選択される一種以上のアミド化合物と、該アミド化合物に混和する化学物質と、を含有する混合物を、前記化学物質を除去するための担体と接触させ、前記化学物質と前記アミド化合物とを分離する工程を有することを特徴とする化学物質の分離方法。
［化１］
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【課題】オンライン固相抽出カラムを用いて、生体試料液中の薬物成分を簡便且つ短時間で分析を行うことができ、且つ、カラムの劣化を防止し、長期間にわたって再現性を維持する分析方法を確立する。
【解決手段】オンライン固相抽出方法を利用した生体試料液の分析方法であって、（工程１）採取した生体試料液に水溶性有機溶媒を添加する工程、（工程２）水溶性有機溶媒を添加した試料を遠心分離する工程、（工程３）遠心分離後の上清を採取し、その他の処理を行うことなく、オンライン固相抽出カラムに注入し、測定対象とする薬物成分を該カラムに保持させる工程、（工程４）オンライン固相抽出カラムに保持された成分を溶出させ、分析する工程、を含む分析方法。 （もっと読む）

【課題】たばこ煙に特異的存在するニコチン、エテニルピリジンを測定対象とすることを特徴とし、分子拡散作用で捕集することを特徴とする高性能の空気質測定用パッシブサンプラーを提供する。
【解決手段】環境中でたばこ煙に特異的に存在するニコチン、エテニルピリジンを分子拡散作用によるパッシブ法で捕集するために、スチレン・ジビニルベンゼン共重合体/ポリジメチルシロキサンを吸着剤１とし、これを担体２に噴霧塗布した後、不活性ガス中で熱処理をした吸着ディスク３、ウィンドスクリーン５、吸着ディスク固定用スペーサー６を装着する。ＸＡＤ４吸収管を使用したアクティブ法（ＩＳＯ１８１４５）との対応により、サンプリングレートを算出し、高性能のパッシブサンプラーを提供した。 （もっと読む）

【課題】分析対象物を破壊することなく、試料を採取し、直接、分析装置に導入することができるとともに、分析精度を向上させることを可能とするプラズマを用いたサンプリング法およびサンプリング装置を提供すること。
【解決手段】閉空間内に納められた分析対象物の表面にプラズマを放出し、その表層部を気相中に飛散させてサンプルガスとし、当該サンプルガスをガス流によって前記閉空間から導入手段を通して分析装置に導入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分析試料を溶解液に浸漬して試料表層部を溶解し、分析不純物を含んだ溶解液を効率よく回収することのできる容器及びそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】試料処理用容器１は、固体試料が容器内側面にも容器内底面にも一面全体で密着しないように、容器内壁および容器底に微小な突起部２、３を有し、溶解液が試料表面と均質に接することが可能となる。また、溶解液を効率よく回収するための微小な液溜め４を設ける。試料処理用容器１の材質は、フッ素樹脂であることが好ましく、溶出試験ですべての金属元素の濃度が１ｐｐｂ未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 顕微観察しながら１生細胞など微小域試料をナノスプレーイオン化細管チップで吸引捕捉し、直接質量分析する際、当該チップを微小域の視野しかない顕微視野内の細胞などの目的位置に誘導するのが、もっとも手間と時間と技術の必要な過程であり、測定法の隘路となっている。
【解決手段】細胞など顕微下で刺入するナノスプレーイオン化細管チップなどの試料捕捉細管をロボットの先端に保持し、そのチップの先端位置を検出し補正し、当該チップ取り付け毎のチップ先端位置の空間座標を補正し、また顕微鏡での焦点位置の対空間座標を観察する焦点面位置を顕微ステージのＺ軸エンコードで補正し、その両点間をロボットで先端誘導し、高速・高精度に試料捕捉細管を細胞など対象微小試料に誘導する。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍの難揮発性の有機微小異物を高感度に分析できる熱分解質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
加熱プローブ２によって気化した試料をイオン源４に導入し，イオン化された試料を質量／電荷比ごとに分離して検出する質量分析技術において，加熱プローブ２を筒型の気体捕集機構３で覆い，気化した試料を気体捕集機構3によって効率よくイオン源４へ導くことにより，従来は拡散して無駄になっていた試料成分も分析に寄与できるようにした。これにより従来より高感度でＳ／Ｎのよい質量分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】微量な化学物質の定量に好適な、試料中の化学物質を簡便且つ高精度に分離できる手段の提供。
【解決手段】試料中に含有される化学物質を分離する方法であって、分離対象の前記化学物質を混和させる、下記式（１）〜（７）で表されるアミド化合物からなる群から選択される一種以上のアミド化合物、及び水を含有する第一の混合物と、前記試料と、を混合して第二の混合物を調製する工程と、前記第二の混合物を複数層に分離させる工程と、前記複数層のうち、前記アミド化合物及び化学物質を含む層を、前記アミド化合物及び化学物質のいずれにも該当しないその他の物質を除去するための担体と接触させ、前記化学物質を回収する工程と、を有する化学物質の分離方法。
［化１］
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【課題】迅速且つ精確に定量分析でき、定量操作が容易な、レーザーアブレーションＩＣＰ分析法を用いた貴金属の分析方法を提供する。
【解決手段】貴金属を含む試料を秤量する工程Ｓ１１と、試料に融剤を調合する工程Ｓ１２と、融剤を調合させた試料を融解させる工程Ｓ１３と、融解した試料から鉛ボタンを形成する工程Ｓ１４と、鉛ボタンにレーザー光を照射して鉛ボタンの一部を微粒子にするアブレーション工程Ｓ１５１と、微粒子をヘリウム（Ｈｅ）ガスによりＩＣＰ分析装置内へ搬送し（Ｓ１５２）、微粒子をイオン化させて分析するＩＣＰ分析工程Ｓ１５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】濾液を一時回収することなく固相の抽出が可能な臨床検査システム，臨床検査法方法及び前処理用器材を提供することにある。
【解決手段】臨床検査システムは、生体試料から測定対象成分を抽出する前処理部１００と、前処理部により抽出された測定対象成分を質量分析する質量分析部２００とを有する。前処理部１００において、カートリッジテーブル１２０には、上流側のフィルター部を有するフィルターユニット１１２と下流側の固相抽出剤を有する固相抽出ユニット１１４が連結した前処理用器材１１０を、複数の設置される。分注機構１３２は、カートリッジテーブルに設置された前処理用器材に対して所定の溶液を供給する。圧力付加機構１３４は、カートリッジテーブルに設置された前処理用器材の内部の溶液に圧力を付加する。撹拌機構１３６は、カートリッジテーブルに設置された前処理用器材の内部の溶液を撹拌する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリシリコン等の膜を備える半導体基板がエッチング可能であるとともに、ウェーハ基材のエッチングを抑制できる半導体基板の分析方法を提供する。
【解決手段】本発明は、フッ化水素の蒸気と、放電により発生させたオゾン含有ガスとを用いた気相分解法により分析対象物を含む半導体基板をエッチングし、エッチング後の半導体基板上に回収液を吐出し、回収液とともに分析対象物を回収する半導体基板の分析方法に関する。本分析方法によれば、微量の分析対象物の高感度な分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板内部に含まれる金属不純物汚染を低コストかつ容易に回収および分析可能な半導体基板の分析方法および分析装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１の表面に回収液の濃硫酸２を供給し、該濃硫酸２を半導体基板１との間に挟むように疎水性部材３を配置し、該濃硫酸２を前記半導体基板１に広く接触させ、前記半導体基板１の内部に含まれる金属不純物を前記濃硫酸２中へ溶解させた後、前記疎水性部材３を取り外し、前記半導体基板１および前記疎水性部材３の少なくとも一方の表面に残留する前記濃硫酸２を分析する。また、前記半導体基板１を加熱することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被研磨物から研磨物を精度良く採取することのできる研磨治具を提供する。
【解決手段】研磨治具は、第１の方向Ｔに沿って第１の曲率半径Ｒ１で凸状に湾曲し、且つ、第１の方向Ｔと直交する第２の方向Ｓに沿って第２の曲率半径Ｒ２で凸状に湾曲した先端面２１ａを備える先端部２１を有する。このように方向Ｔ，Ｓの双方に湾曲している先端面２１ａを有する研磨治具を用いて、被研磨物の研磨を行い、その研磨物を採取する。 （もっと読む）