【課題】試料作製装置及び試料作製方法において、簡便な方法により加工対象の試料の膜厚を測定すること。
【解決手段】試料Sに第１の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第１の二次信号Is₁を取得するステップと、試料Sに第２の加速電圧の電子線EBを照射し、試料Sから発生する第２の二次信号Is₂を取得するステップと、第２の二次信号Is₂と第１の二次信号Is₁との比Is₂／Is₁を算出するステップと、比Is₂／Is₁が試料Sの膜厚tに依存することを利用し、比Is₂／Is₁に基づいて膜厚tを算出するステップと、算出した試料Sの膜厚tに基づき、膜厚tが目標膜厚t₀となるのに要する試料Sの加工量を算出するステップと、試料SにイオンビームIBを照射して上記加工量だけ試料Sを加工して、膜厚tを目標膜厚t₀に近づけるステップとを有する試料作製方法による。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／ＴＥＭ分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、１以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】様々な形状の飲食品について組織構造を変化させずに、透過型電子顕微鏡用試料を調製する方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、液状またはゲル状食品を、急速凍結後に凍結置換することを含む、前記食品の透過型電子顕微鏡用試料の調製方法に関する。また、本発明は、前記方法により調製した試料を、透過型電子顕微鏡を用いて観察することを含む、液状またはゲル状食品の組織構造の評価方法に関する。 （もっと読む）

【課題】基板から試料を抽出するための効率的な方法。
【解決手段】集束イオンビームのようなビームを使って複数回の重なり合う切り込みを入れて試料のまわりに溝を作り、次いで当該試料の下を切って切り離す。切り込みの側壁が垂直でないため、重なり合う切り込みは以前の切り込みによって形成された傾きのある側壁上に入射する。大きな入射角のため、切削スピードが大幅に向上し、複数回の重なり合う切り込みを行って広い溝を生成することに必要な時間は、試料の周に沿って単一の深い切り込みを入れるよりも短くできる。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／ＴＥＭサンプルの調製および分析用の改良された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好ましい実施形態により、ＴＥＭサンプル作成用、特に小さい形状（厚さ１００ｎｍ未満）のＴＥＭラメラ用の改良された方法が提供される。本発明の好ましい実施形態は、ＴＥＭサンプルの作成および分析のプロセスの労力を低減し、ＴＥＭ分析のスループットおよび再現性を高めるために、ＴＥＭサンプル作成を一部または全部自動化する方法を提供することにより半導体ウェハ上に製造される集積回路または他の構造などの対象に対するＳ／ＴＥＭベースの計測用のインライン・プロセスも提供する。 （もっと読む）

【課題】超高圧透過型電子顕微鏡の試料室内で試料に対して外的負荷を与え、試料の変形挙動をその場で動的に観察するのに適した透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡を用いて観察する試料の作製方法であって、試料材料を電解研磨または化学研磨し、孔と、孔の周囲に形成された薄膜領域とを有する研磨試料を調製する研磨工程と、研磨試料の薄膜領域の一部を除去して孔を円形孔に形成し、円形孔の周囲に観察対象領域を有する試料を調製する孔形状調整工程とを含むことを特徴とする、透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】分析時におけるバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能な微小試料台を提供すること。
【解決手段】微小試料台１００は、半導体基板よりなる微小試料台基部１０の一面に成膜により一体化された微小試料搭載用薄膜２０を有する。微小試料台基部１０はＶ字形状の溝１１を有し、微小試料搭載用薄膜２０は溝１１の上面と溝１１の最深部との間に設けられた上端面２１を有する。Ｖ字形状の溝の両側面は（１１１）面である。微小試料台基部１０の上面１３と微小試料搭載用薄膜２０の上端面２１との間の部分が微小試料７０のガード部となる。 （もっと読む）

【課題】簡便に電子染色を行うことができ、かつ高い染色効果を有する電子顕微鏡観察用染色剤を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡観察用染色剤は、シスプラチンを含有する。 （もっと読む）

【課題】曲りおよびカーテニングを低減させまたは防ぐような方式でＴＥＭ試料を作製する方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好ましい実施形態は、試料を作製するプロセスの最中に、ＴＥＭ試料の面に材料を付着させる。好ましいいくつかの実施形態では、反対側の面を薄くする前に、既に薄くした試料面に材料を付着させることができ、付着させた材料は、試料の構造的完全性を強化し、カーテニング現象のために薄くなりすぎたエリアを再び埋める役目を果たすことができる。好ましい実施形態では、ミリングしている面に材料を付着させることもでき、付着させた材料は、その試料面のカーテニングを低減または排除する役目を果たすことができる。 （もっと読む）

【課題】 透過電子顕微鏡等の観察に適した薄膜部分を広く形成した試料を作製する。
【解決手段】試料素材１１上に遮蔽ベルト８を配置し、遮蔽ベルト８の上方から遮蔽ベルト８と試料素材１１にイオンビームを照射し、試料素材１１にイオンミリングされないイオンビーム非照射面１１ｂと、イオンミリングされるイオンビーム照射面１１ｃ，１１ｄを作製するに際し、イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなり、最終的に貫通孔Ｋが開いた試料が出来る様に、イオンビームの照射方向をそれぞれ設定して遮蔽材と試料素材に向けて異なる方向からイオンビームを照射する様すると共に、作製しようとする薄膜の面に直交する軸を中心として試料素材１１を傾斜させながらイオンビームを試料素材１１に照射する様にし、試料素材１１に貫通孔Ｋが開いたら試料素材１１へのイオンビーム照射を停止する様にした薄膜試料作製方法において、試料素材１１の傾斜において、少なくても１つの傾斜角で該試料素材を一時停止させる様にした。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡観察で用いられている、広域の観察が可能な、プラスチック基材に薄膜形成された試料の表層を、剥離して観察する剥離法において、プラスチック基材と非常に強固に密着してしまう無機蒸着膜を、透過電子顕微鏡用観察試料としてスムーズに基材フィルムであるプラスチックから剥離する方法を提供すること。
【解決手段】熱可塑性樹脂からなる基材フィルムに成膜した薄膜の電子顕微鏡平面観察用試料の作成方法であって、前記基材フィルム上に薄膜を備える成膜フィルムの基材フィルムを変質させる工程と、前記変質させた成膜フィルムの薄膜面に接着テープを貼る工程と、前記接着テープを剥離する工程と、剥離した接着テープの接着剤を溶解させる工程と、前記接着剤を溶解させた溶液上に浮遊する試料膜を観察用薄片グリッド上に転写する工程を備えること。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームを利用する微細加工により、微細粒子の凝集体からなる膜の断面を、透過電子顕微鏡観察する目的の薄片化試料を作製する際、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止でき、また、薄片化された部位の大気暴露を防止可能な、薄片化試料の作製方法を提供する。
【解決手段】微細粒子の凝集体からなる膜から抽出した試料片に対し、その二つの断面に集束イオンビームを利用する微細加工を施し、薄片化を行う工程中、各断面に微細加工を施した後、微細加工端面を被覆する、均質な材料からなる薄膜をそれぞれ形成する。形成される均質な材料からなる薄膜は、微細加工端面に露呈する微細粒子の剥落を防止し、また、微細加工端面の大気暴露を防止する、被覆膜として利用される。 （もっと読む）

【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】微小試料に生じる歪みを抑制できる微小試料の加工方法及び微小試料を提供する。
【解決手段】本発明の実施態様に係る微小試料の加工方法は、直方体形状を有する透過型電子顕微鏡の観察用の微小試料の加工方法であって、基板上に形成された半導体デバイスから前記透過型電子顕微鏡の観察対象領域を含む前記微小試料を切り出す工程と、前記微小試料の上面側から収束イオンビームを照射して前記微小試料の一部を切削し、前記微小試料の正面側に前記集束イオンビームの照射方向に対して平行な矩形の第１の平面を形成する第１の切削工程と、第１の平面に対して平行な面内において、第１の切削工程とは異なる角度で微小試料へ収束イオンビームを照射して微小試料の一部を切削し、微小試料の裏面側に第１の平面に対して平行な矩形の第２の平面を形成する第２の切削工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高分子材料中のフィラーの分散状態を、迅速かつ定量的に評価することが可能な高分子材料の評価方法を提供する。
【解決手段】高分子化合物とフィラーとを含む高分子材料であって、少なくとも上面が平坦な表面である高分子材料の評価方法である。高分子材料１を、集光イオンビーム（ＦＩＢ）１０を用いて、高分子材料の表面に対する角度αが１〜６０°をなす方向に切削した後、切削により形成された高分子材料の平滑面１Ａを、平滑面に対し垂直な方向から撮影する。 （もっと読む）

【課題】イオンビームの照射を受けて遮蔽板が高温度となって遮蔽板の支持部材に熱膨張が発生して遮蔽板が移動しても、良好な断面試料を作製する試料作製装置を提供する。
【解決手段】遮蔽板を試料の一部が露出しその他が遮蔽されるように配置し、遮蔽板と試料６の露出部分に跨るようにイオンビームを試料６に照射することにより、試料６の露出部分をエッチングして試料断面を作製する試料作製装置であって、遮蔽板ステージ９と、前記遮蔽板ステージ９により基端部を支持され、先端側が自由端となされた支持部材と、前記支持部材の先端側に支持された遮蔽板とを備え、前記支持部材は、前記遮蔽板の前記支持部材の基端側に向かう一側縁が前記イオンビームの照射位置となるように該遮蔽板を保持し、この遮蔽板により前記イオンビームが遮蔽される位置に設置された前記試料の該遮蔽板の一側縁から露出した箇所への前記イオンビームによる加工を行わせるようにした。 （もっと読む）

【課題】最適な方法で効率良く、液体中に存在し浮遊性を有するサンプルの浮遊性を抑止して光学顕微鏡で観察できるようにし、また、そのサンプルの中から電子顕微鏡観察の対象とすべきサンプルを光学顕微鏡で特定し、特定したサンプルを電子顕微鏡で詳細に観察することを可能にする電子顕微鏡観察用サンプル作製方法と、そのサンプル作製キットを提供すること。
【解決手段】レクチンを含有する媒体に浮遊性サンプルを含ませ、浮遊性サンプルの浮遊性を抑止し、浮遊性サンプルを含む層を観察用基板上に形成するステップと、その層に対する光学顕微鏡観察により、電子顕微鏡で観察対象とする浮遊性サンプルを特定するステップと、電子顕微鏡での観察対象に特定された浮遊性サンプルを含む部位に対して、固定及び包埋の処理を行うステップと、電子顕微鏡での観察対象に特定された浮遊性サンプルを含む部位を成形処理し、電子顕微鏡観察用サンプルとなる薄片を作製するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】冷却される処理プロセスを自動的に、かつ長時間操作することを可能にする冷媒装置を実現する。
【解決手段】サンプルを配置するためのサンプルステージ１０２を有し、冷媒が入っている冷媒容器を有し、及び少なくとも１つの、サンプルステージ１０２を当該冷媒に熱伝達可能に接続する熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂを有するイオンビームエッチングプロセスにおけるサンプルのための冷却装置１０１であって、当該熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂに熱伝達可能に接続される冷却フィンガ状部材１０５を有し、当該冷却フィンガ状部材１０５は、冷媒が通って流れることが出来、かつ当該冷媒容器に接続可能な導管を含む。 （もっと読む）

【課題】減厚による歪緩和の影響を補正して、バルクの結晶中の歪を測定する。
【手段】結晶基材を含む被測定試料に集束イオンビームを照射して減厚し、被測定試料薄片とする減厚工程と、減厚工程途中の複数時点で、被測定試料薄片に集束電子線を照射して高角度散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３を測定する工程と、前記複数時点で、結晶基材の格子定数を電子線回折法により測定し、被測定試料薄片の歪Ｅ１〜Ｅ３を算出する工程と、散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３及び歪Ｅ１〜Ｅ３に基づき、散乱電子の電子線強度Ｉを変数とする歪の近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）を作成する工程と、減厚に伴い歪緩和が始まる臨界厚さに等しい厚さの結晶基材に、集束電子線を照射したとき測定される高角度散乱電子の臨界電子線強度Ｉｏを予測する工程と、臨界電子線強度Ｉｏを近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）に代入して、被測定試料の歪Ｅｏを算出する工程とを有する。 （もっと読む）