【課題】原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）において、高分解能観察ができる水準のノイズレベルを達成し、試料を中低温領域に冷却できるサンプルホルダーを提供する。
【解決手段】ペルチェ素子１の冷却側に測定対象物２を接着し、放熱側に銅を含む金属材料からなるヒートシンク１４を有する。ペルチェ素子１及び測定対象物２の温度を制御する直流電源８と温度測定部１０を有し、温度測定部１０によって測定される温度が一定となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】液中ＳＰＭ観察において、試料を簡便且つ強固に固定することができ、なおかつ観察用液体の種類を問わずに使用可能な試料ホルダを提供する。
【解決手段】上面に試料固定部１２を有する本体１１を備え、試料固定部１２に接着剤によって固定された試料の上に観察用液体を載せて走査型プローブ顕微鏡による観察用液体中での試料の観察を行うための試料ホルダ１０において、本体１１の上面に試料固定部１２を囲むように形成され、試料固定部１２に固定された試料によってその上部開口が閉鎖される環状の溝であって、試料固定部１２から流出した接着剤を受容するための接着剤受容溝１３と、本体１１上面に接着剤受容溝１３の周囲を囲むように形成された環状の溝であって、試料上から流出した観察用液体を受容するための観察用液体受容溝１４とを設ける。 （もっと読む）

【課題】一定面の微小な特定箇所を分析する試料用の保護具において、分析対象箇所の最表面にも汚染や状態変化が生じない状態で試料を加工出来る分析用試料の保護具を提供する。
【解決手段】板状の分析用試料に載置される分析用試料の保護具であって、
桶状体と、この桶状体の外側底部を囲繞し、前記分析用試料と気密に接合する再剥離が可能な接着部と、を備えるものとする。ここで、前記桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部を備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡に代表される荷電粒子を利用する観察系を有するサンプリング装置において、微小物体を確実にサンプリングする手段を提供することを目的とする。
【解決手段】
前記目的を達成するために本発明は、微小物体試料を載せる基板と、前記微小物体試料を移動させるプローブと、前記微小物体試料を帯電させる電子線照射手段とを備えるサンプリング装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】低侵襲であると共に、角層細胞表面の物理的／化学的特性に影響を与えずに、角層細胞の物性を簡便、正確かつ客観的に測定する、角層細胞の物性測定方法を提供する。
【解決手段】片面に粘着層を有する、透孔を設けた支持体をヒトの皮膚に貼着し、前記支持体を皮膚から剥離して支持体に角層細胞を接合採取し、透孔内の角層細胞に対して支持体の非接合側から走査型プローブ顕微鏡観察を行い、角層細胞の物性を測定する、角層細胞の物性測定方法。 （もっと読む）

【課題】プローブとの接触が維持され正確に測定を行うことのできる電気特性測定用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に形成された電子回路における電気特性の測定を行うための電気特性測定用試料の作製方法において、真空中において、前記半導体基板上に形成されている所定の領域を除去し、配線部分の表面を露出させるエッチング工程と、真空中において、露出している前記配線部分の表面に、導電性材料により中央に凹部を有する形状の導電層を形成する導電層形成工程と、を有することを特徴とする電気特性測定用試料の作製方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、微小物体２０、２３、３３を空間的に操作するための方法に関し、前記方法は、開口１９を持つ先端と内部を長手方向に延びる微小流路１５とを有し、微小流路が先端の開口に流体接続されて成るカンチレバー１２を用意するステップと、カンチレバーを保持しかつカンチレバーを予め定められた空間経路に沿って移動させるための懸吊手段を用意するステップと、カンチレバー内の微小流路に予め定められた圧力を加えるための加圧手段を用意するステップと、先端の開口が微小物体に隣接するように微小物体にカンチレバーの先端を移動させるステップと、カンチレバーの先端の外側の圧力に対して微小流路内の圧力を低減させることによって、カンチレバーにより微小物体をピックアップするステップと、カンチレバーを用いて微小物体を予め定められた空間経路に沿って移動させるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜状試料に張力を与えた時に発生するクラックについて、引張り率の変化やさらには温度依存に応じた挙動の詳細な観察を容易かつ簡単にできる薄膜試料観察用治具を提供する。
【解決手段】基板１０の載置面１０ａ上に載置された薄膜状試料４０を固定する試料固定機構２０と、基板１０の載置面１０ａ上に固定された薄膜状試料４０に張力を付与する張力付与機構３０を備え、張力付与機構３０は、張力が付与された薄膜状試料４０を加熱する加熱手段を含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】膜にダメージを与えず、真空系等が必要無く、比較的簡易な方法で、低コストで、ミクロ相分離構造を確認する方法を提供する。
【解決手段】ミクロ相分離構造膜に、常圧プラズマを照射し、ミクロ相分離構造が確認可能な部分まで膜をエッチングした後、表面を原子力間顕微鏡（ＡＦＭ）で観察することによりミクロ相分離構造を確認する方法である。 （もっと読む）

【課題】 タンパク質やその複合体を含む水の厚さを制御できる試料ホルダを提供する。
【解決手段】 ＳｉＮにより成る薄膜Ａ（100）の上に、微小開口部を有するチタンより成る薄膜Ｂ（101）を配置した。これらの構造は、部分的に除去されたＳｉ基板102の上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の研磨面における研磨痕や応力ムラの発生を抑え、試料表面の極めて広い範囲において十分な平坦度が得られて分析評価の可能な領域の大幅な拡大化を実現し、信頼性の高い薄膜化された試料を得る。
【解決手段】試料保持部２は、試料１０が固定される試料台１１と、試料台１１を研磨表面１ａに対して移動自在とし、試料台１１を研磨表面１ａ内の任意の位置で固定する試料台設置機構と、試料台１１に固定された試料１０の研磨表面１ａ内における研磨方向に対する設置角度を調節する角度調節機構１３と、試料台１１を研磨表面１ａに対して水平となるように調節する水平調節機構１４とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】原子オーダで平坦な広い領域を持つ清浄な劈開面を高い再現性で作製することができる劈開方法および劈開装置を提供すること。
【解決手段】ノッチ１１２を形成した試料１１０をホルダ１２０に固定し、超高真空中で試料１１０の劈開を行う際に、試料１１０と劈開棒１３０との相対速度を劈開時に発生するクラックの伝播速度以下に制御する。ノッチ１１２は、好ましくは、線状で、かつ、断面がＶ字形であって、劈開予定場所の一部に形成する。劈開棒１３０は、先端が球状であって、ノッチ１１２に近い、試料１１０の端部に配置する。 （もっと読む）

【課題】近接場分光解析における空間分解能評価に適した標準試料を得る。
【解決手段】近接場分光解析における空間分解能評価のための標準試料（１０）は、表面が反射率の高い金属材料によって構成された下地金属層（１１）と、下地金属層（１１）上に形成された厚さが１０μｍ以下の樹脂層（１２）と、樹脂層（１２）との境界（１４）が明確になるように樹脂層表面を部分的に被覆する金属層（１３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡は高分解能（数ナノメール以下）ではあるが、その分解能や誤差を保証することが難しい。また、探針の大きさや非対称性のためのアーティファクト(測定形状の歪曲、非対称性等)が存在する。用いたプローブ（鋭い探針）の形状を測定することが可能であれば、分解能や測定誤差を規定し、プローブ形状を考慮した真の形状を画像処理で抽出できる。
【解決手段】 ナノメートルサイズの探針の評価には、同等かそれ以下の大きさの分解能測定ツールが必要である。探針形状測定用の最小構造の大きさが100nm以下(典型的には図２に示す10nm)の標準試料を、測定に用いるプローブ顕微鏡で測定し、その画像データから分解能を導出する。 （もっと読む）

【課題】 多数の切片試料を、損傷や損失なく連続的に、しかも所定の姿勢で且つ所定の順序で容易に採取することが可能で、３次元構造分析の効率的実施を可能ならしめる分析用切片試料の作製方法及び作製装置を提供する。
【解決手段】 分析対象物を含む固体Ｓを切削用ナイフ４２で切削することにより順次形成された切片試料Ｅを、同等の姿勢で液体Ｌの自由表面上に順次供給する。蠕動ポンプ６１により液体Ｌにその自由表面に沿って流れる液流Ｆ１〜Ｆ４を形成する。この液流に従って切片試料Ｅを液体自由表面上の移動経路にて移動させ、その際に、切片試料Ｅの移動経路の幅を切片試料Ｅの短径より大きく且つ最長径より小さく設定しておく。そして、移動経路を移動してきた切片試料Ｅを、捕集手段１２により試料台Ｐの上表面に貼り付けて捕集する。 （もっと読む）

【課題】複数の試料台の試料固定面を容易に一様に表面処理することを可能にする試料台配列を提供する。
【解決手段】試料台配列１０は、１０個の試料台１２が架橋部分１４とガラス板ＧＰの左端部とで一体的に保持されている。試料台配列１０はガラス板ＧＰを削り出して作製される。すべての試料台１２は試料固定面１２ａが同一平面を共有するように配列されている。 （もっと読む）

【課題】 大気中で安定的な表面を有し、保管方法が簡便で寿命の長いＡＦＭ標準試料を提供すること。
【解決手段】 被検体の垂直方向の測定値を１０^−１０〜１０^−８ｍの分解能で直接的に校正する為に用いられるＡＦＭ標準試料であって、
主面として（０００１）面、または（０００１）面から１０度以内のオフ角度を持った面を有する単結晶サファイヤ基板からなり、該凹部の内側の面にステップ構造を有することを特徴とするＡＦＭ標準試料及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 半導体中の個々の不純物原子を検出して、その位置を特定し、その不純物の種類を判別し、さらにある特定の領域内に含まれるアクセプターおよびドナー不純物原子の数をそれぞれ区別して数え上げることによって不純物濃度の測定を行う方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 被測定対象物である半導体表面を走査型トンネル顕微鏡(STM)で観察する際に、探針を基準として半導体に正の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像と、探針を基準として半導体に負の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像とを比較することにより、半導体中の不純物原子を検出することを特徴とする半導体不純物原子検出方法である。 （もっと読む）

【課題】 断面観察用試料の観察面に残存する加工ダメージ層を簡単かつ迅速に除去する手段を備え、２次元キャリア分布測定を精度よく実施することが可能な断面観察用試料を作製する方法を提供すること。
【解決手段】 シリコン基板上に不純物を導入したシリコン層を有する半導体デバイスの断面観察用試料片を作製する方法において、半導体デバイスの断面を露出させ、その断面を平坦化する加工を施した後、断面観察用試料をアルカリ金属水酸化物と過酸化水素とを含む強アルカリ性エッチング液に浸漬させ、さらに塩酸またはアンモニアと過酸化水素とを含む表面改質液に浸漬させて、加工ダメージ層を除去し、かつ、加工ダメージ層が除去された断面表面に均一なシリコン酸化膜を形成する。 （もっと読む）