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Fターム[2G052GA36]の内容

サンプリング、試料調製 (40,385) | 分析方法、装置 (3,239) | 顕微鏡によるもの (924) | 走査プローブ顕微鏡(SPM) (29)

Fターム[2G052GA36]に分類される特許

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【課題】液中SPM観察において、試料を簡便且つ強固に固定することができ、なおかつ観察用液体の種類を問わずに使用可能な試料ホルダを提供する。
【解決手段】上面に試料固定部12を有する本体11を備え、試料固定部12に接着剤によって固定された試料の上に観察用液体を載せて走査型プローブ顕微鏡による観察用液体中での試料の観察を行うための試料ホルダ10において、本体11の上面に試料固定部12を囲むように形成され、試料固定部12に固定された試料によってその上部開口が閉鎖される環状の溝であって、試料固定部12から流出した接着剤を受容するための接着剤受容溝13と、本体11上面に接着剤受容溝13の周囲を囲むように形成された環状の溝であって、試料上から流出した観察用液体を受容するための観察用液体受容溝14とを設ける。 (もっと読む)


【課題】一定面の微小な特定箇所を分析する試料用の保護具において、分析対象箇所の最表面にも汚染や状態変化が生じない状態で試料を加工出来る分析用試料の保護具を提供する。
【解決手段】板状の分析用試料に載置される分析用試料の保護具であって、
桶状体と、この桶状体の外側底部を囲繞し、前記分析用試料と気密に接合する再剥離が可能な接着部と、を備えるものとする。ここで、前記桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部を備えることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 (もっと読む)


【課題】
電子顕微鏡に代表される荷電粒子を利用する観察系を有するサンプリング装置において、微小物体を確実にサンプリングする手段を提供することを目的とする。
【解決手段】
前記目的を達成するために本発明は、微小物体試料を載せる基板と、前記微小物体試料を移動させるプローブと、前記微小物体試料を帯電させる電子線照射手段とを備えるサンプリング装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】低侵襲であると共に、角層細胞表面の物理的/化学的特性に影響を与えずに、角層細胞の物性を簡便、正確かつ客観的に測定する、角層細胞の物性測定方法を提供する。
【解決手段】片面に粘着層を有する、透孔を設けた支持体をヒトの皮膚に貼着し、前記支持体を皮膚から剥離して支持体に角層細胞を接合採取し、透孔内の角層細胞に対して支持体の非接合側から走査型プローブ顕微鏡観察を行い、角層細胞の物性を測定する、角層細胞の物性測定方法。 (もっと読む)


【課題】プローブとの接触が維持され正確に測定を行うことのできる電気特性測定用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に形成された電子回路における電気特性の測定を行うための電気特性測定用試料の作製方法において、真空中において、前記半導体基板上に形成されている所定の領域を除去し、配線部分の表面を露出させるエッチング工程と、真空中において、露出している前記配線部分の表面に、導電性材料により中央に凹部を有する形状の導電層を形成する導電層形成工程と、を有することを特徴とする電気特性測定用試料の作製方法により上記課題を解決する。 (もっと読む)


本発明は、微小物体20、23、33を空間的に操作するための方法に関し、前記方法は、開口19を持つ先端と内部を長手方向に延びる微小流路15とを有し、微小流路が先端の開口に流体接続されて成るカンチレバー12を用意するステップと、カンチレバーを保持しかつカンチレバーを予め定められた空間経路に沿って移動させるための懸吊手段を用意するステップと、カンチレバー内の微小流路に予め定められた圧力を加えるための加圧手段を用意するステップと、先端の開口が微小物体に隣接するように微小物体にカンチレバーの先端を移動させるステップと、カンチレバーの先端の外側の圧力に対して微小流路内の圧力を低減させることによって、カンチレバーにより微小物体をピックアップするステップと、カンチレバーを用いて微小物体を予め定められた空間経路に沿って移動させるステップとを含む。 (もっと読む)


【課題】薄膜状試料に張力を与えた時に発生するクラックについて、引張り率の変化やさらには温度依存に応じた挙動の詳細な観察を容易かつ簡単にできる薄膜試料観察用治具を提供する。
【解決手段】基板10の載置面10a上に載置された薄膜状試料40を固定する試料固定機構20と、基板10の載置面10a上に固定された薄膜状試料40に張力を付与する張力付与機構30を備え、張力付与機構30は、張力が付与された薄膜状試料40を加熱する加熱手段を含んで構成されている。 (もっと読む)




【課題】試料の研磨面における研磨痕や応力ムラの発生を抑え、試料表面の極めて広い範囲において十分な平坦度が得られて分析評価の可能な領域の大幅な拡大化を実現し、信頼性の高い薄膜化された試料を得る。
【解決手段】試料保持部2は、試料10が固定される試料台11と、試料台11を研磨表面1aに対して移動自在とし、試料台11を研磨表面1a内の任意の位置で固定する試料台設置機構と、試料台11に固定された試料10の研磨表面1a内における研磨方向に対する設置角度を調節する角度調節機構13と、試料台11を研磨表面1aに対して水平となるように調節する水平調節機構14とを備えて構成されている。 (もっと読む)


【課題】原子オーダで平坦な広い領域を持つ清浄な劈開面を高い再現性で作製することができる劈開方法および劈開装置を提供すること。
【解決手段】ノッチ112を形成した試料110をホルダ120に固定し、超高真空中で試料110の劈開を行う際に、試料110と劈開棒130との相対速度を劈開時に発生するクラックの伝播速度以下に制御する。ノッチ112は、好ましくは、線状で、かつ、断面がV字形であって、劈開予定場所の一部に形成する。劈開棒130は、先端が球状であって、ノッチ112に近い、試料110の端部に配置する。 (もっと読む)





【課題】複数の試料台の試料固定面を容易に一様に表面処理することを可能にする試料台配列を提供する。
【解決手段】試料台配列10は、10個の試料台12が架橋部分14とガラス板GPの左端部とで一体的に保持されている。試料台配列10はガラス板GPを削り出して作製される。すべての試料台12は試料固定面12aが同一平面を共有するように配列されている。 (もっと読む)


【課題】 大気中で安定的な表面を有し、保管方法が簡便で寿命の長いAFM標準試料を提供すること。
【解決手段】 被検体の垂直方向の測定値を10−10〜10−8mの分解能で直接的に校正する為に用いられるAFM標準試料であって、
主面として(0001)面、または(0001)面から10度以内のオフ角度を持った面を有する単結晶サファイヤ基板からなり、該凹部の内側の面にステップ構造を有することを特徴とするAFM標準試料及びその製造方法である。 (もっと読む)




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