【課題】 試料のレーザアブレーション量を求めることができるレーザアブレーション装置及びレーザアブレーション量算出方法を提供する。
【解決手段】 レーザアブレーション装置２においては、試料Ｓに対するレーザアブレーションが開始されると、演算部５０によって、光検出器４５により測定されたレーザ光のエネルギから、光検出器４３，４４により測定されたレーザ光のエネルギが減ぜられて、試料Ｓに照射されたレーザ光のうち試料Ｓに吸収されたレーザ光のエネルギが算出される。更に、演算部５０によって、試料Ｓに吸収されるレーザ光のエネルギと試料Ｓのレーザアブレーション量との相関関係についての情報に基づいて、試料Ｓに吸収されたレーザ光のエネルギから、試料Ｓのレーザアブレーション量が算出される。 （もっと読む）

【課題】電子材料などのウェット洗浄工程で使用される炭酸ガス溶解水中の極微量の塩素イオン濃度を、正確に定量することができる炭酸ガス溶解水の評価方法及び炭酸ガス溶解水試料の採水装置を提供する。
【解決手段】超純水に炭酸ガスを溶解して調製した炭酸ガス溶解水を脱気処理したのち、炭酸ガス溶解水中の塩素イオンを定量することを特徴とする炭酸ガス溶解水の評価方法、及び、炭酸ガス溶解水を脱気処理する脱気装置、脱気処理した炭酸ガス溶解水の電気伝導率を測定する電気伝導率計又は電気伝導度計及び脱気処理した炭酸ガス溶解水を充填する採水容器を有することを特徴とする炭酸ガス溶解水試料の採水装置。 （もっと読む）