Fターム[2G059BB00]の内容
光学的手段による材料の調査、分析 (110,381) | 測定対象 (10,253)
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Fターム[2G059BB00]に分類される特許
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画像生成システム内のサンプル中の対象領域の位置を検証する装置および方法
【課題】サンプル中の対象領域の位置を検証するのに好適な装置および方法を提供すること。
【解決手段】画像生成システムは、光学システムと、上記光学システムに対して移動可能なステージとを含む。コンピュータサーバが、上記画像生成システムおよびレビューステーションと通信する。上記画像生成システムは、上記サンプル上の基準マークの空間的位置を配置し、上記マークの公称位置に対する上記マークの空間オフセット値を判定することができる。上記画像生成システムおよび上記レビューステーションそれぞれの座標系を標準化することが可能である。上記方法は、上記サンプル上に基準マークを配置する工程と、上記サンプル内の対象領域を識別する工程とを含む。上記方法は、上記マークに対する上記対象領域の位置を判定する工程をさらに含む。
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