【課題】同じ測定箇所で位相差値と厚みデータとを測定することで、複屈折や厚み方向位相差値Ｒｔｈをより精度よく得ることができる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置Ｍは、光学フィルムＳに光Ｌ１を入射する投光器３０と、投光器３０から光学フィルムＳに入射された入射光Ｌ１を受光する受光器３４と、受光器３４によって受光された透過光Ｌ１から光学フィルムＳの面内位相差値Ｒ０を算出する位相差Ｒ０算出部１１と、位相差Ｒ０算出部１１で面内位相差値Ｒ０を算出するのに用いた入射光Ｌ１と同じ入射光Ｌ１を用いて光学フィルムＳの厚みデータｄを算出する厚み算出部１２とを備えている。受光器３４は、２つのファイバ部８ａ，８ｂに分岐される光ファイバ８を含んでおり、一方のファイバ部８ａが位相差Ｒ０算出部１１に接続され、他方のファイバ部８ｂが厚み算出部１２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】より大きなダイナミックレンジかつ実用的な精度で物体との相互作用によって生じる光の強度を測定することが可能な光強度計測装置を提供することである。
【解決手段】光強度計測装置は、照射系、計測系及び減光フィルタを備えている。照射系は、被検物体に照射光を照射する。計測系は、照射光と被検物体との相互作用によって生じた光の強度の計測を行う。減光フィルタは、照射光及び相互作用によって生じた光の少なくとも一方を互いに異なる複数の減光率で減光する。計測系は、光の計測に先だってフォトンカウンタを用いて複数の減光率で減光された光を構成する光子をそれぞれ計数し、光子の計数結果に基づいて求められた減光率の校正値に基づいて、複数の減光率で減光されていない場合又は同一の減光率で減光された場合において相互作用によって生じる光の強度を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】被計測対象物の全域において濃度分布及び光沢分布を高精度で検査可能でありながら、低コストな画像検査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光沢用照明装置１４と濃度用照明装置１５とを同時に点灯させて給紙装置１３によって出力画像を搬送させる。また、被検査対象物２２の画像の表面からの不可視光の正反射光のみを受光して光量に基づいて光沢分布を出力する撮像素子ライン１１ａ、及び被検査対象物２２の画像の内部に透過した後に反射する可視光の拡散反射光のみを受光して光量に基づいて濃度分布を出力する撮像素子ライン１１ｂを設ける。これにより、被検査対象物の全域の光沢分布及び濃度分布を同時に検査できる。 （もっと読む）

【課題】基板抵抗にかかわらずシリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および面内分布を高精度に評価するための手段を提供すること。
【解決手段】評価対象シリコンウェーハに対して該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第一の面内分布情報を取得すること、上記第一の面内分布情報取得後の評価対象シリコンウェーハに対して熱酸化処理を施した後、該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第二の面内分布情報を取得すること、第一の面内分布情報と、第二の面内分布情報に１未満の補正係数による補正を加えて得られた第三の面内分布情報との差分情報を得ること、および、得られた差分情報に基づき、評価対象シリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および酸素析出物の面内分布からなる群から選ばれる評価項目の評価を行うこと、を含むシリコンウェーハの評価方法。 （もっと読む）

【課題】迅速性、簡便性に優れた、調光フィルムにおける樹脂マトリックスの硬化率の測定方法の提供。
【解決手段】高分子媒体の硬化物である樹脂マトリックスと前記樹脂マトリックス中に分散された光調整懸濁液とを含む調光層を２枚の透明導電性樹脂基材で挟持してなる調光フィルムにおける、前記樹脂マトリックスの硬化率を近赤外分光スペクトルにより測定する方法である。前記近赤外光を調光フィルムに透過させたときに干渉縞が生ずる場合、下記式（Ｉ）を満たす前記透明導電性樹脂基材を２枚備えた第二の調光フィルムを用いて近赤外分光スペクトルを測定する。式（Ｉ）：前記近赤外光の照射領域における表面粗さの最大高さ（Ｒｙ）≧前記干渉縞の波長λ×１／２ （もっと読む）

【課題】正反射光による補正パターンの検知タイミングと乱反射光による補正パターンの検知タイミングの差（相互検知誤差）を特定する。
【解決手段】パターン検知センサ７は、正反射光用発光素子２０１、乱反射光用発光素子２０２および受光素子２０４を備えている。光源切替部１１１は、正反射光用発光素子２０１を発光させるときは乱反射光用発光素子２０２を消灯しておく。光源切替部１１１は、乱反射光用発光素子２０２を発光させるときは正反射光用発光素子２０１を消灯しておく。オフセット検知部１０７は、正反射光の検知タイミングと乱反射光の検知タイミングとの差をオフセット値（相互検知誤差）として検知する。 （もっと読む）

【課題】ロールツーロール法を用いて長尺状の基材に透明導電膜が形成されてなる被処理体の特性評価を効率よく行うことが可能な被処理体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の被処理体の検査装置は、ロールツーロール法を用いて、長尺状の基材に透明導電膜が前もって形成されてなる被処理体の検査装置であって、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段と、を少なくとも備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高感度で再現性にすぐれた表面増強赤外吸収（ＳＥＩＲＡ）センサーの製造技術を供する。
【解決手段】以下のステップ（ア）から（ウ）を設けた表面増強赤外吸収センサーの製造方法。（ア）溶液中に分散した金属ナノ粒子を誘電体基板表面に吸着させる。（イ）吸着した金属ナノ粒子を溶液中で成長させることにより、誘電体基板表面に、扁平且つ互いに分断され島状に配置された複数の金属ナノ薄膜を製膜する。（ウ）ステップ（イ）を行っている間、基板の金属ナノ薄膜が配置されている側とは反対側の面から赤外光を照射し、基板から染み出したエバネッセント波を用いて複数の金属ナノ薄膜の赤外吸収シグナルをその場モニターして吸収スペクトルの変化を評価することにより、複数の金属薄膜が十分に扁平に成長して、しかも金属ナノ薄膜同士が繋がり始め系全体が導電性を発現する直前に成長を停止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、色差分析を用いた偏光板のムラ自動検査装置及び検査方法に関する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１枚の基準偏光板及び上記基準偏光板に装着される被検査偏光板又は偏光素子を含む検査部と、上記検査部の一面に位置し上記検査部に光を照射する光源部と、上記検査部の他面に位置し上記被検査偏光板又は偏光素子を撮影しその画像を演算部に伝送する撮影部と、上記撮影部から伝送された被検査偏光板又は偏光素子の画像を検査領域別に色差分析して微細ムラを検出する演算部と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】新規な粘着剤の複屈折性評価方法、その評価方法を用いた粘着剤の設計方法及び製造方法、この製造方法により得られた粘着剤、得られた粘着剤を用いる偏光板及び液晶表示装置、並びにこれらの製造方法の提供。
【解決手段】固有複屈折が絶対値で１×１０^−３以下、光弾性定数が絶対値で１×１０^−１２Ｐａ^−１以下であるポリマーフィルムを支持体として、支持体に粘着剤を付与した積層フィルムを準備する工程と、積層フィルムを熱延伸する工程と、熱延伸した後の積層フィルムのリタデーションと、粘着剤の層の厚さを測定する工程と、を有する粘着剤の複屈折性評価方法。 （もっと読む）

【課題】膜厚が数ｎｍから数μｍの範囲に及ぶ分析対象の特性を容易に分析する。
【解決手段】金属薄膜８には、一方の面に分析対象である誘電体２０が載置される。プリズム６及びガラス板７は、金属薄膜８の他方の面に実質的に接する界面Ｆを有する。光源１、ミラー２、３、１／２波長板４、偏光板５は、Ｐ偏光の光束を、プリズム６に入射させた後、さらに界面Ｆに入射させる。検出器１０は、界面Ｆで反射する光束の反射光の強度を検出する。コンピュータ１１は、ステージコントローラ１４を介して、界面Ｆへの光束の入射角θを、臨界角θｃを超える第１の角度θ１と、臨界角θｃ未満の第２の角度θ２との間の範囲で調整する。 （もっと読む）

【課題】簡易・簡便に、しかも多結晶シリコン棒中の所望の位置における置換型炭素不純物の大凡の濃度が測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコンロッドから板状多結晶シリコンを切り出し、該板状多結晶シリコンの両面を鏡面研磨して２.１２±０．０１ｍｍの厚みとする。置換型炭素濃度が既知の厚み２．００±０．０１ｍｍの単結晶シリコン標準試料を用いて赤外吸収分光法により標準測定法に則って検量線を作成し、鏡面研磨後の板状多結晶シリコンの置換型炭素の吸収帯ピークを含む波数領域の赤外吸収スペクトルを検量線作成時と同一条件下で求め、厚み補正を行うことなく置換型炭素濃度を求める上記置換型炭素濃度が既知の単結晶シリコン標準試料は、ＪＥＩＤＡによるラウンドロビン等で用いられた標準試料に準じて作成されたものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料面上の光沢ムラ特性を評価できる反射光ムラの測定方法および装置を提供することである。本発明により、反射光ムラの簡易で精度良い測定方法および装置を提供する。
【解決手段】平行光を試料に入射する入射工程と、その試料の表面をテレセントリック光学系により測定する受光工程と、その入射工程の光軸かつ／またはその受光工程の光軸をその試料上の１点を中心として回転させその試料の法線に対して任意の角度に設定する工程と、その試料の反射光分布を測定する工程と、を含むことを特徴とする反射光ムラ測定方法である。 （もっと読む）

【課題】共鳴トンネルダイオードを利用し、テラヘルツ波の透過を利用することで紙類による減衰の大きさを基にして、枚数の判定が可能な透過型テラヘルツ波検査装置を提供する。
【解決手段】テラヘルツ発振素子を備える発振器１００と、テラヘルツ検出素子を備える検出器２００と、発振器１００と検出器２００との間に配置された紙類３００とを備え、テラヘルツ発振素子より放射されたテラヘルツ波が紙類を透過して得られる透過テラヘルツ波をテラヘルツ検出素子によって検出し、紙類３００による減衰の大きさを基にして、紙類３００の枚数を判定する透過型テラヘルツ波検査装置。 （もっと読む）

【課題】印刷物に対してブロンジングの程度を定量的に示す指標値を算出するブロンジング指標値算出方法を提供する。
【解決手段】印刷物に対して拡散反射での測色値の色相角と正反射での測色値の色相角の差分を算出する差分算出工程と、観察光源での基準彩度と前記観察光源下における正反射での前記印刷物の測色値の彩度との差分を算出する彩度差算出工程と、前記算出された色相角の差分と前記彩度の差分とを乗算した値をもとにブロンジング指標値を算出する指標値算出工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】鏡面に近い面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価できるようにする。
【解決手段】コンピュータ制御にてディスプレイ１１に表示したチェックパターンを被測定面２１に投影して、反射像を撮影装置１２により撮影し、その画像データを収得してコンピュータ３でデータ処理するよう構成した鏡面計１を使用し、コンピュータ３に、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラストおよび白濁度といった複数の測定項目の算出ロジックを含むコンピュータソフト５を組み込んで、それら複数の測定項目を順次自動的に測定し、鏡面度を含む複数の測定項目を指標として表面性状を評価できるようにする。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】薄膜の物性を非破壊かつ高精度で測定することができる物性測定装置及び物性測定方法を提供する。
【解決手段】薄膜の物性を測定する装置において、レーザ発生源と、薄膜を励起する励起手段と、レーザ発生源が発生するレーザの偏光方向を制御する制御手段と、該制御手段により制御されたレーザを受光することによりｐ偏光およびｓ偏光のテラヘルツ波を発生し、励起手段により励起にされた薄膜にテラヘルツ波を照射する照射手段と、照射手段によりテラヘルツ波が照射された薄膜で反射したｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波を検出する検出手段と、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波夫々の振幅及び位相スペクトルを測定する測定手段と、測定手段が測定した振幅及び位相スペクトルに基づいて、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波の振幅比及び位相差を測定する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 金属部材の化成処理膜中に含まれる六価クロムを重量濃度で定量する分析方法を提供する。
【解決手段】
分析対象となる検体を研磨シート上に採取した分析試料に励起Ｘ線を照射し、弾性散乱Ｘ線強度を測定する手順と、散乱Ｘ線強度に基づいて分析試料の重量を算出する手順と、研磨シートの接着剤層を有機溶媒中で溶解した溶液をろ過し、ろ過残渣として分析試料を分離する手順と、ろ過した残渣をアルカリ分解液に溶解させた溶液中の六価クロム量を測定する手順と、分析試料の重量に対する六価クロム量の比を六価クロムの重量濃度として算出する手順とを有することを特徴とする六価クロムの分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】より低コスト且つ高速に紙葉類から複数種類の光を検出することができる光検出装置、及び光検出装置を備える紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る光検出装置は、紙葉類に対して光を照射する照明部と、光を検出し、信号を生成するセンサと、前記紙葉類からの光を前記センサに結像させるレンズと、前記照明部から発せられて前記紙葉類を照明した光の拡散反射光、正反射光、拡散透過光、及び直接透過光のうちの２つを前記レンズにより前記センサの異なる領域に結像させるように配置された反射部材と、を具備する。 （もっと読む）