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Fターム[2G059BB10]の内容

光学的手段による材料の調査、分析 (110,381) | 測定対象 (10,253) | 固体 (1,815) | シート状、膜状のもの (723)

Fターム[2G059BB10]に分類される特許

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【課題】薄膜の蛍光を測定する技術において、当該蛍光を増強するための技術を提供すること。
【解決手段】薄膜12の蛍光を測定するための測定装置であって、薄膜12を含む薄膜試料13が積層されているプリズム10を、任意の媒質または真空からなる環境内において支持するための透光部材支持部と、プリズム10と薄膜試料13との界面に対し、プリズム10側から、プリズム10と環境との界面における臨界角以上の特定の入射角で光L1を照射して、薄膜試料13における光吸収を増大させる励起手段と、当該光吸収を増大させることによって増強された、薄膜12からの蛍光L3を測定する蛍光測定手段と、を備えている測定装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】微細パターン(例えば、透明基板上に形成された微細な半透光膜パターン)の膜透過率を正確に測定可能な透過率測定装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】透明基板上に形成された半透光膜の微細パターン等の膜透過率の測定において、測定対象物となる半透光膜に、測定波長の光が最も小さなスポット径(ビームウエスト)となるように集光させて透過させた後、その透過光を全て積分球に取り込んでディテクタで検出する。 (もっと読む)


【課題】計算時間を短縮することが可能なパラメータフィッティング方法を提供する。
【解決手段】本発明は遺伝的アルゴリズムを用いて、測定値又は目標値と計算値との間の誤差を表す評価関数値を算出し、前記評価関数を最小化することでパラメータフィッティングを行うパラメータフィッティング方法であって、前記評価関数に所定条件を代入したときに得られる評価関数値に対するボーダー値を定めて、前記評価関数値が前記ボーダー値を超えたときは処理を打切るステップを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】物体表面の角度の検出感度を向上させることができると共に、計測装置から物体表面までの計測距離に依存することなく精密に物体表面の角度を計測することができる表面角度計測方法及び表面角度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
計測対象2の表面に計測光を照射すると共に、当該計測対象2で反射した計測反射光を受光することで計測対象2の表面の傾斜角度を計測する表面角度計測装置1において、計測反射光を金属薄膜11で受光すると共に、金属薄膜11で表面プラズモン共鳴を生じさせるプラズモンフィルタ部9を備える。さらに、その表面プラズモン共鳴が生じた金属薄膜11からの反射光の強度を計測する強度検出部15と、強度検出部15で計測された反射光の強度を基に、計測対象2の表面の傾斜角度を算出する傾斜角度算出手段を有する演算部4と、を備える。 (もっと読む)


【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部11、反射光受光部12及び分析部13(エリプソメータ部)と、X線源21、蛍光X線検出部22及び分析部23(X線測定部)と、レーザ光源31、ビームスプリッタ34、ラマン散乱光検出部32及び分析部33(ラマン散乱光測定部)とを備える。試料6に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光X線分析を組み合わせることにより、試料6の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料6が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 (もっと読む)


【課題】2次元的な広がりを持つ被評価面の光沢又は肌を簡易に評価することができるようにする。
【解決手段】明部又は暗部が2以上の方向に繰り返し配置された2次元パターンを持つ光源像を反映するように光を照射する光源装置を用いて、塗装外観面に光を照射し、光源装置によって塗装外観面に反映された光源像に基づいて、塗装外観面の光沢又は肌を評価する。 (もっと読む)


【課題】高速且つ高精度に円二色性イメージを撮像することが可能な円二色性イメージング装置を提供する。
【解決手段】円二色性イメージング装置1では、右円偏光画像を撮像するための第1の期間では、円偏光変調器31から右円偏光を出射しているときはゲート51を透過光が通過すると共に、円偏光変調器31が左円偏光を出射しているときには透過光が遮断され、この結果カメラ52によって撮像された画像を右円偏光画像として右円偏光画像格納部63に格納される。また、第1の期間とは異なる第2の期間では、円偏光変調器31から左円偏光を出射しているときはゲート51を透過光が通過すると共に、円偏光変調器31が右円偏光を出射しているときには透過光が遮断され、この結果カメラ52によって撮像された画像を左円偏光画像として左円偏光画像格納部64に格納される。そして、この右円偏光画像と左円偏光画像とから円二色性イメージが作成・出力される。 (もっと読む)


【課題】セルロース繊維の屈折率データを用いてセルロース繊維の劣化度合の推定する際に、精度が高く、効率よく推定できる方法を提供することにある。
【解決手段】分散染色法によりセルロース繊維の屈折率データを求め、この屈折率データに基づいてセルロース繊維の劣化度を推定する方法であって、マハラノビス・タグチシステム法を用い、あらかじめ作成しておいた、劣化したセルロース繊維の劣化度合いと屈折率データのマハラノビス距離との関係を用い、マハラノビス距離を劣化度の程度を表わす指標とすることを特徴とするセルロース繊維の劣化程度を推定する方法である。 (もっと読む)


【課題】長期間の使用でも発光素子の劣化が少なく、発光素子の交換のメンテナンスの負荷が低減する着霜検出装置を得る。
【解決手段】着霜する熱交換器3に向けて光を発する発光素子と、熱交換器3に付着した霜により反射した光を受光し、その光量に対応する電気信号を生成する受光素子とを有するセンサ7と、ヒータ10により熱交換器3に付着した霜を除去するデフロスト部と、センサ7の受光素子からの電気信号を用いた演算を行う演算回路と、演算回路の演算結果に基づいてデフロスト部を制御する制御部とを有する回路9とを備え、センサ7の発光素子は、連続的に点灯せずに、間欠的に点灯し、着霜の検出を行う。また、間欠点灯とした場合の点灯時間をT1とし、演算回路の時定数をTとしたときに、3×T<T1とし、かつ、発光素子の点灯時間と消灯時間との和(T1+T2)が60秒以下となるように構成した。 (もっと読む)


【課題】高精度に膜厚を測定することを可能にした膜厚測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】分光スペクトル情報を信号処理して膜厚を推定する膜厚測定方法において、
検量線作成用分光スペクトル情報を基底分解し、その基底に掛かる第1の係数を分光スペクトル情報の代表値として求め、第1の係数と分光スペクトル情報に対応した膜厚データとから重回帰係数を求める工程と、測定対象物の分光スペクトル情報と基底とに基づいて基底に掛かる第2の係数を求め、第2の係数と重回帰係数とに基づいて測定対象物の膜厚を推定する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】被着体に対して、接合膜を介して基材を強固に接合することができるか否かの接合膜の接着性の程度を精度よく評価することができる接合膜の評価方法を提供する。
【解決手段】接合膜3の評価方法は、Si骨格と、有機基からなる脱離基とを含む接合膜3の評価方法であり、接合膜3は、エネルギーが付与されることにより、脱離基が前記Si骨格から脱離し、その表面に、対向基板(他の被着体)4との接着性が発現するものであり、前記エネルギーを付与する前後の接合膜3をそれぞれ赤外吸収スペクトル法で測定し、Si−O−Si結合に帰属するピーク強度を1としたときのメチル基に帰属するピーク強度を求め、エネルギーを付与する前後のメチル基に帰属するピーク強度を比較し、その比較結果に基づいて、接合膜3の対向基板4に対する接着性を評価する。 (もっと読む)


【課題】正反射光と拡散反射光が含まれた光に基づくデータを正反射光のみに基づくデータと拡散反射光のみに基づくデータに分離することが可能な画像検査装置、画像検査方法、及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】被計測対象物に斜め方向から照明光を照射する第1の光照明手段11と被計測対象物に第1の光照明手段とは異なる方向から照明光を照射する第2の光照明手段12と第1の光照明手段からの反射光11b、及び第2の光照明手段からの反射光12bを受光する撮像手段13と鏡面を有する第1の基準板と拡散面を有する第2の基準板と画像検査手段とを有し、画像検査手段は、第1の光照明手段から第2の基準板の拡散面に照明光を照射した場合の反射光の光量と、第2の光照明手段から第2の基準板の拡散面に照明光を照射した場合の反射光の光量との比に基づいて補正係数を算出し、補正係数で補正した光量を用いて画像の光沢分布を検査する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、近赤外スペクトルの主成分分析時に、本発明における第1の波数帯域を除外せずに主成分分析を行う場合に比べて、検出対象の記録媒体における古紙パルプ含有量を精度よく検出する、古紙パルプ含有量の検出方法を提供する。
【解決手段】回帰線作成処理実行部12Aと、古紙パルプ含有量検出部12Bと、を備え、主成分分析時に、回帰線作成用に用いる古紙パルプ含有量の異なる複数種類の記録媒体の近赤外スペクトルの主成分分析時、及び古紙パルプ含有量を検出する対象の記録媒体の近赤外スペクトルの主成分分析時に、酸素原子と水素原子との伸縮振動による吸収に対応する第1の波数帯域以外の波数帯域について主成分分析を行う。 (もっと読む)


【課題】小型で外光の影響を受け難く、ガラスの室外側に付着する雨滴と室内側に付着する結露の判別も可能な付着水分検出装置およびそれによる付着水分検出方法を提供する。
【解決手段】室内外を仕切るガラス20に付着する水分を検出する付着水分検出装置であって、発光部30と、ガラス20および水分からの反射光を受光する受光部40と、受光部30からの出力を演算処理する演算処理部50とを有してなり、発光部30が、可視光から水吸収波長を含んだ赤外光まで連続する波長帯域の光を発光する白色光源からなり、受光部40が、水吸収波長の光に対して感度の低い第1画素41と感度の高い第2画素42からなる画素対で構成されてなり、演算処理部50が、第1画素41の出力Lと第2画素42の出力Rを演算処理して、ガラス20に付着する水分を判別して検出する付着水分検出装置100とする。 (もっと読む)


【課題】小型な構成で迅速に被測定物に係る複屈折を測定可能な技術を提供する。
【解決手段】電場の振動方向が設定されている第1偏光を出射する光源部と、第1偏光における電場の振動方向を順次に変更する偏光制御部と、第1偏光を収束後に拡がる第2偏光に変換する光学素子と、第2偏光が被測定物に照射される際に該被測定物から射出される光に基づいて、電場の振動方向が一方向である第3偏光を生成する偏光子と、第3偏光における光の強度分布を検知する検知部と、第1偏光における電場の各振動方向に応じて検知部で順次に検知された複数の光の強度分布に基づき被測定物に係る複屈折の情報を得る取得部と、を備える複屈折測定装置とした。 (もっと読む)


【課題】クリーンルームでのシート製作に際し、工場エアやファン、冷却水を用いることなく、光源や検出器の冷却が可能な放熱機構を提供する。
【解決手段】両端が開口した通風路と、該通風路の内部もしくは該通風路に隣接して設けられた少なくとも一つの第1発熱体と、前記通風路の一端に配置され前記通風路に熱対流を生じさせる程度の発熱量を有する第2発熱体、を備えている。 (もっと読む)


【課題】迅速かつ高精度な測定を実現する試料の断面形成方法、固定用治具および測定方法、を提供する。
【解決手段】試料の断面形成方法は、減衰全反射法を利用した赤外分光法において、フィルム状の試料21に測定用断面22を形成するための方法である。試料の断面形成方法は、試料21を補強用シート31間に配置するステップと、補強用シート31に対してその両側から試料21を挟み込む方向の外力を作用させるステップと、補強用シート31に外力を作用させた状態で、補強用シート31の端部を試料21ごと除去することによって、試料21に測定用断面22を得るステップとを備える。 (もっと読む)


【課題】所定の圧力及び所定の温度に加圧された部屋に配置した基板に形成されている物質(特に、薄膜)の間隙率を求める装置及び非破壊方法に関する。
【解決手段】ガス物質(例えば、トルエン蒸気)が部屋1に導入され、所定時間後、部屋に配置した基板2に形成されている薄膜の間隙率が、少なくとも偏光解析測定によって求められる。特に、偏光解析器6から得られる光学的特性は、薄膜の間隙(ポア)に凝縮されたガス物質の量を求めるために利用される。その量は、薄膜の間隙率を計算するために利用される。 (もっと読む)


【課題】試料が表面に形成された一対の反射基板での反射回数を簡単に変更することができる多重外部反射赤外分光装置を提供する。
【解決手段】基板保持機構により所定間隔で平行に保持されている第一反射基板110と第二反射基板120とを基板配置機構が表面と直交する方向に変位させて配置する。このため、第一反射基板110と第二反射基板120とを所定間隔で平行に保持したまま変位させるだけで、第一反射基板110と第二反射基板120とで赤外線ILが反射される回数を増減することができる。さらに、第一反射基板110と第二反射基板120との反射方向の全長を変更するとともに変位させることで、基板保持機構による保持の間隔は変更することなく赤外線ILが反射される回数を大幅に増減することもできる。 (もっと読む)


【課題】拡散性を抑制する光学系を用いて低水分から高水分にわたって高精度の測定が可能な水分計を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を斜め方向から被測定物に照射し、該被測定物を透過した透過光をなだらかな曲率を有するミラーで反射させて集束し、再度前記被測定物を透過させて赤外線に感度のある検出器に入射させるように構成した。 (もっと読む)


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