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Fターム[2G059CC02]の内容

光学的手段による材料の調査、分析 (110,381) | 検出物質 (6,138) | 無機物 (1,821) | 元素;イオン (246)

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【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、pH測定用指示薬を混ぜた水に二酸化炭素ガスを注入し、これをディジタルイメージ化することによって、非接触方式により二酸化炭素が溶けた炭酸水の正確な局部的pH測定は勿論、二酸化炭素の挙動を含んだ状態変化に対して定量化した情報が得られる二酸化炭素挙動モニタリングシステムを提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、水と共に統合pH指示薬が混合されて受容される観察水槽、上記観察水槽に二酸化炭素ガスを注入する二酸化炭素供給タンク、上記観察水槽をディジタルイメージまたは映像に撮影する撮影部、及び上記撮影部のディジタルイメージまたは映像の色相変化を通じて二酸化炭素の移動及び炭酸水の挙動に対する情報を獲得する分析部を含み、上記分析部がディジタルイメージまたは映像の色相をpHテーブルと比較して局部的pH値を導出することによって、イメージ内で二酸化炭素及び炭酸水を判別することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】酸素濃度が異なる場合にも対応して窒素濃度の値を求めることができるシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法および抵抗のシフト量を算出する方法を提供する。
【解決手段】窒素をドープしたシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法であって、前記窒素ドープシリコン単結晶における、酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率と窒素酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率との差から求められるキャリア濃度差分Δ[n]と、酸素濃度[Oi]と、窒素濃度[N]との相関関係を予め求めておき、該相関関係に基づいて、前記キャリア濃度差分Δ[n]と前記酸素濃度[Oi]とから、窒素ドープシリコン単結晶中の未知の窒素濃度[N]を算出して求めるシリコン単結晶中窒素濃度算出方法。 (もっと読む)


【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素(SiF4)を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から100〜180℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に5〜50℃に冷却し、しかる後、急速に5〜50℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 (もっと読む)


【課題】外部から浸入した雨水や漏れた試料液等による電気的な不具合の発生を抑制することができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】試料セル210、試料液導入排出手段220、薬液注入手段230、光学検出手段240、攪拌手段250、試料液に含まれる特定成分の濃度を測定する測定手段、各手段の動作を制御する制御手段120及び各手段に電力を供給する電力供給手段130を有する本体ブロックと、本体ブロックの外部に設けられ、商用電源から入力された電源電圧を当該電源電圧よりも低い弱電電圧に降圧して出力する電圧変換手段20と、を備えた濃度測定装置1であって、電力供給手段130は、電圧変換手段20から出力された弱電電圧に基づいて、少なくとも試料液導入排出手段220、薬液注入手段230、光学検出手段240、攪拌手段250、測定手段及び制御手段120に電力を供給する。 (もっと読む)


【課題】簡易・簡便に、しかも多結晶シリコン棒中の所望の位置における置換型炭素不純物の大凡の濃度が測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコンロッドから板状多結晶シリコンを切り出し、該板状多結晶シリコンの両面を鏡面研磨して2.12±0.01mmの厚みとする。置換型炭素濃度が既知の厚み2.00±0.01mmの単結晶シリコン標準試料を用いて赤外吸収分光法により標準測定法に則って検量線を作成し、鏡面研磨後の板状多結晶シリコンの置換型炭素の吸収帯ピークを含む波数領域の赤外吸収スペクトルを検量線作成時と同一条件下で求め、厚み補正を行うことなく置換型炭素濃度を求める上記置換型炭素濃度が既知の単結晶シリコン標準試料は、JEIDAによるラウンドロビン等で用いられた標準試料に準じて作成されたものが好ましい。 (もっと読む)


【課題】より簡便に強度低下を起こすような量の鉄元素を含む炭素繊維前駆体繊維を見分ける方法を提供する。
【解決手段】少なくとも次の(1)〜(5)の工程からなる炭素繊維前駆体アクリル繊維の品質管理方法。(1)鉄分を0.5ppm未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維および鉄分を0.5ppm以上含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を同じ焼成条件で焼成して、炭素繊維を得る工程、(2)前記(1)で得たそれぞれの炭素繊維のストランド強度を求めて、前記鉄分を0.5ppm未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を焼成して得た炭素繊維のストランド強度に対して、前記鉄分を0.5ppm以上含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を焼成して得た炭素繊維のストランド強度の強度低下率が0.5%以上20%以下となる鉄分の含有率を求める工程、(3)鉄分を0.5ppm未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維および前記強度低下率が0.5%以上20%以下となる鉄分を含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を、温度が180〜300℃、時間が1〜20分の同じ条件で熱処理する工程、(4)前記(3)で得た熱処理した繊維の色差を色差計により求める工程、(5)前記(4)で得た色差を基準として、工程異常を検知する工程。 (もっと読む)


【課題】使用者が場所に制限されずに、携帯機器を利用して試験紙分析システムと通信することにより、試験紙読み取り分析の結果および検査報告を得ることができ、使用者の時間を節約し、試験紙読み取り分析の効率を上げることができる試験紙読み取り分析システムを提供する。
【解決手段】検査項目の反応領域を含む試験紙ユニット11と、該試験紙ユニット11の試験紙画像を捕捉する撮影モジュール121と撮影モジュール121に電気的に接続されている伝送モジュール122とを含む携帯機器12と、試験紙画像を分析して検査報告を作成する試験紙分析システム131が内設されている遠隔計算装置13とから構成され、撮影モジュール121が捕捉した試験紙画像は、伝送モジュール122により遠隔計算装置13へ伝送され、検査報告は、遠隔計算装置13により携帯機器12へ返される。 (もっと読む)


【課題】従来よりも高い精度でSiHガスなどのガスの濃度を測定することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、レーザ光照射窓を備える成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスに希ガスを添加する希ガス添加部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるプラズマ発生部と、レーザ光照射窓から成膜容器の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、レーザ光照射部から照射されたレーザ光による、成膜容器の内部の空間の応答を検出する検出部と、検出部が検出した結果に基づいて、原料ガス供給部が供給する原料ガスの流量を制御する制御部と、を備えることを特徴とする薄膜形成装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、取り扱いやすい標準ガスを用いて容易に校正を行なうことが可能で、かつ分析計を劣化させることなく、間接的に水素化物ガスの濃度を測定可能なガス測定装置、及び水素化物ガスの測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ガスを分析する分析計12と、分析計12の前段に配置されると共に、分析計12と接続され、かつ水素化物ガスと反応することで水素化物が含まれていないガスを発生させる置換剤を有する反応管25と、を含む。 (もっと読む)


【課題】酸を含む溶液の酸濃度の計測精度を向上させること。
【解決手段】酸濃度計測装置100aは、計測対象溶液Lが通過する配管1に接続されて、計測対象溶液Lを分岐させる分岐管21と、分岐管21に設けられる入口側弁装置22と、分岐管21に接続されて、計測対象溶液Lを一時的に溜めておく溶液槽23と、溶液槽23と配管1の分岐管21よりも下流とを接続して、溶液槽23内の計測対象溶液Lを配管1内に戻す溶液戻し管24と、溶液戻し管24に設けられる出口側弁装置25と、を含む。 (もっと読む)



【課題】Asイオン吸着素子を用いて、水中のAsイオン濃度を短時間に検出する方法、及び水中のAsを除去する方法を提供する。
【解決手段】ナノ構造物からなる担体にAsイオン吸着素子を担持させて、Asイオンが吸着すると光学特性が変化するレセプターを用いて、Asイオンを検出、及び除去する。 (もっと読む)


【課題】発電機内で冷却剤として用いられる気体純度監視において、室温や気体温度による変動を受けにくい純度測定センサおよびシステムを提供する。
【解決手段】システムは、発電機(12)であって、固定子、回転子、および発電機の内部を通る気体冷却剤経路(18)を備える発電機と、気体冷却剤経路を通る気体冷却剤(52)流の気体純度を感知するように構成された少なくとも1つの光ファイバ純度センサ(34)とを含む。光ファイバ純度センサは、ファイバコアと、屈折率が周期的に変調される格子構造と、格子構造の周囲に位置決めされたファイバクラッドと、ファイバクラッドの周りに位置決めされた多層感知フィルムとを備えることができる。 (もっと読む)


【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】プラズマ雰囲気の原子又は分子密度を吸光分光により測定する粒子密度測定プローブである。プラズマ雰囲気に設けられる円柱状の導光体20であって、その先端部13に、導光体を伝搬した光を反射する反射板14と、その反射板の手前に、導光体の長手方向に垂直な断面において一部の壁面が欠落した部分が長手方向に所定長だけ形成され、この部分を通過する光とプラズマ雰囲気の原子又は分子とが接触可能にしたプラズマ導入部15を有する。光伝搬体32は、プラズマ導入部15の手前に位置し側壁による全反射により光を軸方向に案内する。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤を使用することなく、多数の検体について、公定試験方法と比較して十分に短い時間で、簡易に公定試験方法に相当する濃度を推計することができ、汚染の有無の確認や高濃度汚染地点の探索などに利用することができる土壌中有害物質の含有量の簡易試験方法を提供する。
【解決手段】比較的少量の土壌試料を採取し、これにその5倍以上の酸水溶液又はアルカリ水溶液を加え、数分以内程度の所定時間振とうさせた後、孔径0.45μmのろ紙の上に、孔径1μm以上のろ紙を重ねて成る複層ろ紙などによりろ過して得られた含有量試験用験液の分析値を求め、この分析値を振とう時間を変数とする指数関数によって得られた上記所定時間における溶出率で除すことによって土壌中有害物質の含有量を推計する。 (もっと読む)


【課題】検査水の全りんを安全に短時間で定量する。
【解決手段】検査水中のりん化合物をりん酸イオンへ変換した後にりん酸イオンを定量することで検査水の全りんを定量する方法は、検査水に対してペルオキソ二硫酸のアルカリ金属塩を含みかつアルカリ性に調整された第1水溶液と硫酸とを添加し、65℃〜沸騰温度で加熱する工程1と、工程1を経た検査水へ炭素数5のアルドース、炭素数6のアルドース若しくは炭素数6のケトース又はこのような単糖を分解により生成可能なオリゴ糖を含む第2水溶液を添加して引き続き加熱する工程2と、工程2を経た検査水へ七モリブデン酸六アンモニウム又はモリブデン酸のアルカリ金属塩およびアンチモンの価数が3であるアンチモン化合物を含む第3水溶液を添加し、65℃以上に維持する工程3と、工程3を経た検査水について、600〜950nmの範囲における任意の波長の吸光度を測定する工程4とを含んでいる。 (もっと読む)



【課題】測定時に人による誤差が発生しにくく、測定作業を効率的に行うことが可能な分光分析装置を提供する。
【解決手段】測定対象面Sに光を照射する光源2と、測定対象面Sからの反射光を受光する受光部3と、受光部3で受光した反射光のスペクトルを測定する分光器4と、分光器4で測定した反射光のスペクトルを基に、測定対象面Sにおける劣化因子の濃度を演算する演算手段5とを備えた分光分析装置において、光源2と受光部3とを収容するプローブヘッド11を備え、プローブヘッド11は、測定対象面Sに対する光源2と受光部3の位置関係を一定に保ちつつ、光源2と受光部3を測定対象面Sに沿って移動させる移動機構12と、光源2と受光部3の測定対象面Sに沿った移動距離を検出する移動距離検出手段13と、を有する。 (もっと読む)


【課題】従来システム及び方法における欠点を解決する、フィルター要素の濃度を正確に測定するための方法を提供することである。
【解決手段】濃度センサ30がフィルタ要素10に取付けられ、濃度センサ30の付近に、あるいは濃度センサと一体化して無線トランスミッタ40も位置付けられる。無線トランスミッタ40は濃度センサ30と共に一つの一体部品内にカプセル封入され得、あるいはトランスミッタ40及びセンサ30は分離され、電気信号の如きを介して相互通信され得る。フィルタハウジング20の外側に位置付けた無線レシーバ60が無線トランスミッタとの通信用に使用され無線レシーバとしてはRFIDリーダーあるいはベースステーションが用いられる。RFIDタグのような無線トランスミッタ40を濃度センサ30にカップリングさせ得る。 (もっと読む)


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