【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ｐＨ測定用指示薬を混ぜた水に二酸化炭素ガスを注入し、これをディジタルイメージ化することによって、非接触方式により二酸化炭素が溶けた炭酸水の正確な局部的ｐＨ測定は勿論、二酸化炭素の挙動を含んだ状態変化に対して定量化した情報が得られる二酸化炭素挙動モニタリングシステムを提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、水と共に統合ｐＨ指示薬が混合されて受容される観察水槽、上記観察水槽に二酸化炭素ガスを注入する二酸化炭素供給タンク、上記観察水槽をディジタルイメージまたは映像に撮影する撮影部、及び上記撮影部のディジタルイメージまたは映像の色相変化を通じて二酸化炭素の移動及び炭酸水の挙動に対する情報を獲得する分析部を含み、上記分析部がディジタルイメージまたは映像の色相をｐＨテーブルと比較して局部的ｐＨ値を導出することによって、イメージ内で二酸化炭素及び炭酸水を判別することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度が異なる場合にも対応して窒素濃度の値を求めることができるシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法および抵抗のシフト量を算出する方法を提供する。
【解決手段】窒素をドープしたシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法であって、前記窒素ドープシリコン単結晶における、酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率と窒素酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率との差から求められるキャリア濃度差分Δ［ｎ］と、酸素濃度［Ｏｉ］と、窒素濃度［Ｎ］との相関関係を予め求めておき、該相関関係に基づいて、前記キャリア濃度差分Δ［ｎ］と前記酸素濃度［Ｏｉ］とから、窒素ドープシリコン単結晶中の未知の窒素濃度［Ｎ］を算出して求めるシリコン単結晶中窒素濃度算出方法。 （もっと読む）

【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素（ＳｉＦ₄）を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から１００〜１８０℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に５〜５０℃に冷却し、しかる後、急速に５〜５０℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 （もっと読む）

【課題】外部から浸入した雨水や漏れた試料液等による電気的な不具合の発生を抑制することができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】試料セル２１０、試料液導入排出手段２２０、薬液注入手段２３０、光学検出手段２４０、攪拌手段２５０、試料液に含まれる特定成分の濃度を測定する測定手段、各手段の動作を制御する制御手段１２０及び各手段に電力を供給する電力供給手段１３０を有する本体ブロックと、本体ブロックの外部に設けられ、商用電源から入力された電源電圧を当該電源電圧よりも低い弱電電圧に降圧して出力する電圧変換手段２０と、を備えた濃度測定装置１であって、電力供給手段１３０は、電圧変換手段２０から出力された弱電電圧に基づいて、少なくとも試料液導入排出手段２２０、薬液注入手段２３０、光学検出手段２４０、攪拌手段２５０、測定手段及び制御手段１２０に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】簡易・簡便に、しかも多結晶シリコン棒中の所望の位置における置換型炭素不純物の大凡の濃度が測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコンロッドから板状多結晶シリコンを切り出し、該板状多結晶シリコンの両面を鏡面研磨して２.１２±０．０１ｍｍの厚みとする。置換型炭素濃度が既知の厚み２．００±０．０１ｍｍの単結晶シリコン標準試料を用いて赤外吸収分光法により標準測定法に則って検量線を作成し、鏡面研磨後の板状多結晶シリコンの置換型炭素の吸収帯ピークを含む波数領域の赤外吸収スペクトルを検量線作成時と同一条件下で求め、厚み補正を行うことなく置換型炭素濃度を求める上記置換型炭素濃度が既知の単結晶シリコン標準試料は、ＪＥＩＤＡによるラウンドロビン等で用いられた標準試料に準じて作成されたものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】より簡便に強度低下を起こすような量の鉄元素を含む炭素繊維前駆体繊維を見分ける方法を提供する。
【解決手段】少なくとも次の（１）〜（５）の工程からなる炭素繊維前駆体アクリル繊維の品質管理方法。（１）鉄分を０．５ｐｐｍ未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維および鉄分を０．５ｐｐｍ以上含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を同じ焼成条件で焼成して、炭素繊維を得る工程、（２）前記（１）で得たそれぞれの炭素繊維のストランド強度を求めて、前記鉄分を０．５ｐｐｍ未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を焼成して得た炭素繊維のストランド強度に対して、前記鉄分を０．５ｐｐｍ以上含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を焼成して得た炭素繊維のストランド強度の強度低下率が０．５％以上２０％以下となる鉄分の含有率を求める工程、（３）鉄分を０．５ｐｐｍ未満含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維および前記強度低下率が０．５％以上２０％以下となる鉄分を含有する炭素繊維前駆体アクリル繊維を、温度が１８０〜３００℃、時間が１〜２０分の同じ条件で熱処理する工程、（４）前記（３）で得た熱処理した繊維の色差を色差計により求める工程、（５）前記（４）で得た色差を基準として、工程異常を検知する工程。 （もっと読む）

【課題】使用者が場所に制限されずに、携帯機器を利用して試験紙分析システムと通信することにより、試験紙読み取り分析の結果および検査報告を得ることができ、使用者の時間を節約し、試験紙読み取り分析の効率を上げることができる試験紙読み取り分析システムを提供する。
【解決手段】検査項目の反応領域を含む試験紙ユニット１１と、該試験紙ユニット１１の試験紙画像を捕捉する撮影モジュール１２１と撮影モジュール１２１に電気的に接続されている伝送モジュール１２２とを含む携帯機器１２と、試験紙画像を分析して検査報告を作成する試験紙分析システム１３１が内設されている遠隔計算装置１３とから構成され、撮影モジュール１２１が捕捉した試験紙画像は、伝送モジュール１２２により遠隔計算装置１３へ伝送され、検査報告は、遠隔計算装置１３により携帯機器１２へ返される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い精度でＳｉＨ_４ガスなどのガスの濃度を測定することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、レーザ光照射窓を備える成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスに希ガスを添加する希ガス添加部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるプラズマ発生部と、レーザ光照射窓から成膜容器の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、レーザ光照射部から照射されたレーザ光による、成膜容器の内部の空間の応答を検出する検出部と、検出部が検出した結果に基づいて、原料ガス供給部が供給する原料ガスの流量を制御する制御部と、を備えることを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、取り扱いやすい標準ガスを用いて容易に校正を行なうことが可能で、かつ分析計を劣化させることなく、間接的に水素化物ガスの濃度を測定可能なガス測定装置、及び水素化物ガスの測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ガスを分析する分析計１２と、分析計１２の前段に配置されると共に、分析計１２と接続され、かつ水素化物ガスと反応することで水素化物が含まれていないガスを発生させる置換剤を有する反応管２５と、を含む。 （もっと読む）

【課題】酸を含む溶液の酸濃度の計測精度を向上させること。
【解決手段】酸濃度計測装置１００ａは、計測対象溶液Ｌが通過する配管１に接続されて、計測対象溶液Ｌを分岐させる分岐管２１と、分岐管２１に設けられる入口側弁装置２２と、分岐管２１に接続されて、計測対象溶液Ｌを一時的に溜めておく溶液槽２３と、溶液槽２３と配管１の分岐管２１よりも下流とを接続して、溶液槽２３内の計測対象溶液Ｌを配管１内に戻す溶液戻し管２４と、溶液戻し管２４に設けられる出口側弁装置２５と、を含む。 （もっと読む）

【課題】フレームレス原子吸光光度計において、原子化炉内のカーバイド生成を抑制することによる希土類元素の測定感度向上と、正確なバックグラウンド補正を同時に実施可能とする。
【解決手段】グラファイト製の筒状の原子化炉と、その内部に固定される少なくとも２８００℃以上の融点の金属製かつ常磁性を有する試料台と、試料を原子化するために原子化炉の筒状のそれぞれの端部に設けられた右電極および左電極と、右電極の内部および左電極の内部に設けられたガスを原子化炉へ導入するためのガス流路とを備え、試料台は試料が滴下される皿形状の部分を有する。 （もっと読む）

【課題】Ａｓイオン吸着素子を用いて、水中のＡｓイオン濃度を短時間に検出する方法、及び水中のＡｓを除去する方法を提供する。
【解決手段】ナノ構造物からなる担体にＡｓイオン吸着素子を担持させて、Ａｓイオンが吸着すると光学特性が変化するレセプターを用いて、Ａｓイオンを検出、及び除去する。 （もっと読む）

【課題】発電機内で冷却剤として用いられる気体純度監視において、室温や気体温度による変動を受けにくい純度測定センサおよびシステムを提供する。
【解決手段】システムは、発電機（１２）であって、固定子、回転子、および発電機の内部を通る気体冷却剤経路（１８）を備える発電機と、気体冷却剤経路を通る気体冷却剤（５２）流の気体純度を感知するように構成された少なくとも１つの光ファイバ純度センサ（３４）とを含む。光ファイバ純度センサは、ファイバコアと、屈折率が周期的に変調される格子構造と、格子構造の周囲に位置決めされたファイバクラッドと、ファイバクラッドの周りに位置決めされた多層感知フィルムとを備えることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】プラズマ雰囲気の原子又は分子密度を吸光分光により測定する粒子密度測定プローブである。プラズマ雰囲気に設けられる円柱状の導光体２０であって、その先端部１３に、導光体を伝搬した光を反射する反射板１４と、その反射板の手前に、導光体の長手方向に垂直な断面において一部の壁面が欠落した部分が長手方向に所定長だけ形成され、この部分を通過する光とプラズマ雰囲気の原子又は分子とが接触可能にしたプラズマ導入部１５を有する。光伝搬体３２は、プラズマ導入部１５の手前に位置し側壁による全反射により光を軸方向に案内する。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を使用することなく、多数の検体について、公定試験方法と比較して十分に短い時間で、簡易に公定試験方法に相当する濃度を推計することができ、汚染の有無の確認や高濃度汚染地点の探索などに利用することができる土壌中有害物質の含有量の簡易試験方法を提供する。
【解決手段】比較的少量の土壌試料を採取し、これにその５倍以上の酸水溶液又はアルカリ水溶液を加え、数分以内程度の所定時間振とうさせた後、孔径０．４５μｍのろ紙の上に、孔径１μｍ以上のろ紙を重ねて成る複層ろ紙などによりろ過して得られた含有量試験用験液の分析値を求め、この分析値を振とう時間を変数とする指数関数によって得られた上記所定時間における溶出率で除すことによって土壌中有害物質の含有量を推計する。 （もっと読む）

【課題】検査水の全りんを安全に短時間で定量する。
【解決手段】検査水中のりん化合物をりん酸イオンへ変換した後にりん酸イオンを定量することで検査水の全りんを定量する方法は、検査水に対してペルオキソ二硫酸のアルカリ金属塩を含みかつアルカリ性に調整された第１水溶液と硫酸とを添加し、６５℃〜沸騰温度で加熱する工程１と、工程１を経た検査水へ炭素数５のアルドース、炭素数６のアルドース若しくは炭素数６のケトース又はこのような単糖を分解により生成可能なオリゴ糖を含む第２水溶液を添加して引き続き加熱する工程２と、工程２を経た検査水へ七モリブデン酸六アンモニウム又はモリブデン酸のアルカリ金属塩およびアンチモンの価数が３であるアンチモン化合物を含む第３水溶液を添加し、６５℃以上に維持する工程３と、工程３を経た検査水について、６００〜９５０ｎｍの範囲における任意の波長の吸光度を測定する工程４とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】自己吸収を利用した新規な原子吸光分析装置の実現。
【解決手段】原子吸光分析装置は、アトマイザー１と、ミラー２と、分光測定器３とで構成されている。アトマイザー１は、原子化した試料を含むプラズマ（アトマイズプラズマ５）を発生させる。ミラー２のない状態でアトマイズプラズマ５の発光強度を測定し、目的元素の共鳴線スペクトルの発光強度Ｉｒ１と、Ａｒの励起線スペクトルの発光強度Ｉｕ１を測定する。また、ミラー２を配置し、ミラー２による光の反射によって、アトマイズプラズマ５のゴースト（ゴーストプラズマ６）を発生させた状態で発光強度を測定し、目的元素の共鳴線スペクトルの発光強度Ｉｒと、Ａｒの励起線スペクトルの発光強度Ｉｕを測定する。これらＩｒ１、Ｉｕ１、Ｉｒ、Ｉｕから、目的元素の自己吸収による吸収率を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】測定時に人による誤差が発生しにくく、測定作業を効率的に行うことが可能な分光分析装置を提供する。
【解決手段】測定対象面Ｓに光を照射する光源２と、測定対象面Ｓからの反射光を受光する受光部３と、受光部３で受光した反射光のスペクトルを測定する分光器４と、分光器４で測定した反射光のスペクトルを基に、測定対象面Ｓにおける劣化因子の濃度を演算する演算手段５とを備えた分光分析装置において、光源２と受光部３とを収容するプローブヘッド１１を備え、プローブヘッド１１は、測定対象面Ｓに対する光源２と受光部３の位置関係を一定に保ちつつ、光源２と受光部３を測定対象面Ｓに沿って移動させる移動機構１２と、光源２と受光部３の測定対象面Ｓに沿った移動距離を検出する移動距離検出手段１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】従来システム及び方法における欠点を解決する、フィルター要素の濃度を正確に測定するための方法を提供することである。
【解決手段】濃度センサ３０がフィルタ要素１０に取付けられ、濃度センサ３０の付近に、あるいは濃度センサと一体化して無線トランスミッタ４０も位置付けられる。無線トランスミッタ４０は濃度センサ３０と共に一つの一体部品内にカプセル封入され得、あるいはトランスミッタ４０及びセンサ３０は分離され、電気信号の如きを介して相互通信され得る。フィルタハウジング２０の外側に位置付けた無線レシーバ６０が無線トランスミッタとの通信用に使用され無線レシーバとしてはＲＦＩＤリーダーあるいはベースステーションが用いられる。ＲＦＩＤタグのような無線トランスミッタ４０を濃度センサ３０にカップリングさせ得る。 （もっと読む）