【課題】簡易な光量補正ロジックを追加することで、正確な光量補正を行い、濃度を正確に算出できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】周波数変調方式のレーザ式ガス分析計において、同期検波回路の検出信号から測定対象ガスについての受光光量実測値および測定対象ガスのガス濃度指示値を取得し、ガス濃度指示値とオフセット吸収係数とを用いて測定対象ガスの受光光量理論値を算出し、受光光量理論値から受光光量実測値を引いて算出した光量変動分と、同期検波回路の検出信号から取得したスパンを用いて測定対象ガスの濃度真値を算出するようなレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】排ガス分析装置のメンテナンスにおいて、外部記録媒体を用いて初期設定データを用意する必要を無くすとともに、排ガス分析装置の設定を、製品出荷時の初期設定だけでなく、当該メンテナンス前に行われた最新のメンテナンス設定に戻すことができるようにする。
【解決手段】製品出荷状態における排ガス分析装置を構成する各部の初期設定情報を示す初期設定データと、最新のメンテナンスにおける前記排ガス分析装置を構成する各部の最新メンテナンス設定情報を示す最新メンテナンス設定データとを格納する設定データ格納部５５を有する。 （もっと読む）

【課題】ウィンドウの表面を清浄に保持することでガス濃度の測定精度を長期的に安定して得ることができるガス濃度測定装置。
【解決手段】レーザ光を発光する光源部２００と、レーザ光を受光する受光部３００と、光源部と受光部との間で且つレーザ光が通過する位置に配置された光学素子６と、光源部と受光部と光学素子とを連結する連結管５ａ，５ｂと、光源部と受光部との間で且つ連結管に接続され、測定対象ガスが存在する煙道１と、連結管の内の煙道付近に取り付けられ、パージガスを導入するための第１パージガス導入口７ｃと、連結管の内の光学素子付近に取り付けられ、パージガスを導入するための第２パージガス導入口７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】試料ガスが低濃度の場合にも高精度の測定が可能な赤外線ガス分析計の提供。
【解決手段】本発明は、赤外線光源１からの赤外光の光路上に配置され試料ガスが流通される試料セル３と、試料セル３を透過した赤外光の光路上に配置される赤外線検出器４と、を備える。赤外線検出器４は、受光室４１、４２、圧力センサ４３、および光学フィルタ４４、４５を備える。受光室４１、４２のそれぞれには、被検出成分ガスの赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入されている。圧力センサ４３は、受光室４１と受光室４２とにおける赤外光の吸収量の差を検出する。光学フィルタ４４、４５は、受光室４１、４２に封入されているガスの赤外線吸収帯のうちの予め定めた異なる一部をそれぞれ反射する。また、光学フィルタ４４、４５は、受光室４１よりも後段側の位置にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】より高い精度でガスを分析することができること。
【解決手段】測定対象ガスに含まれる複数の成分を分析する光学式ガス計測装置である。光学式ガス計測装置は、測定対象の成分毎に使用するレーザ光を切り替え、計測セルを通過する測定レーザ光と計測セルを通過しない参照レーザ光に分割して使用することで差分信号を検出する。受光手段で受光した測定レーザ光の強度と参照レーザ光の強度との差分信号を生成する信号処理手段は、測定レーザ光の強度と参照レーザ光の強度との差分を検出する検出感度が異なる差分検出器を複数備え、計測セルに入射させるレーザ光の波長に応じて、解析装置に差分信号を入力する差分検出器を切り替えることで、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】出力変動の比較的小さなＰ−Ｐ出力に対するノイズ成分の平滑化が可能なレーザガス分析装置を提供する。
【解決手段】測定ガスにレーザ光をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子と、受光素子の出力信号が入力されるゲイン可変のアンプと、ゲイン可変のアンプの出力信号が入力されるＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニット、とで構成されたレーザガス分析装置において、半導体レーザの１スキャンごとにＡ／Ｄ変換器の出力データのＰ−Ｐ値を検出するＰ−Ｐ検出器と、Ｐ−Ｐ検出器の出力信号を入力するゲイン分解能が所定の範囲で設定可能なゲイン設定部と、ゲイン設定部からの信号を入力し、１スキャンごとにゲインを調整するゲイン変換器を設けた。 （もっと読む）

【課題】圧力センサ等の気圧測定装置を追加装備することなく、測定環境に応じた正確なガス測定値を得る。
【解決手段】測定部１２は、被測定ガスの所定パラメータについて測定値を得る。標高取得部１４は、設置場所の標高を示す標高情報を取得する。気圧算出部１５は、前記標高情報に基づいて前記設置場所における気圧を算出する。補正部１３は、前記気圧の算出値に基づいて前記測定値を補正する。 （もっと読む）

【課題】外部（大気）圧力が変化しても、測定対象ガスを正確に測定及び分析できるようにする。
【解決手段】測定対象ガスを流入出するためのガスセル１と、ガスセル１内の測定対象ガスの成分濃度を検出するためのガス検出器２と、測定対象ガスをガスセル１へ供給するための第１ポンプ３と、測定対象ガスをガスセル１から排気するための第２ポンプ４と、ガスセル１内の測定対象ガスの圧力を一定に保持するためのガスセル圧力保持手段５と、ガスセル内の測定対象ガスの流量を一定に保持するためのガスセル流量保持手段６と、外部（大気）圧力を検出するための外部圧力検出器７と、外部圧力検出器７により検出された検出値に基づいて、第１ポンプ３が供給する測定対象ガスの流量が一定になるように調整するための流入量調整手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス導入管入口およびガス排出管出口付近の外部（大気）圧力が変化しても、ガスセル内の圧力を一定に維持し得るガス分析装置を提供する。
【解決手段】ガスセル１と、ガスセルに接続されたガス導入管２およびガス排出管３と、ガス導入管に設けられた第１のポンプ４と、ガス導入管の第１のポンプの下流側に接続された分岐管５と、分岐管に設けられた第１の背圧弁７と、ガス排出管に設けられた第２のポンプ８と、ガス排出管の第２のポンプの上流側に設けられた第２の背圧弁９と、ガスセル内を流れるサンプルガスに含まれる特定のガス成分の濃度を検出するための検出ユニットを備える。第１の背圧弁が、ガス導入管内の分岐点より下流側の圧力がガスセル上流側圧力設定値に維持されるように動作し、第２の背圧弁が、ガスセル内の圧力またはガス排出管内の第２の背圧弁の上流側の圧力がガスセル内圧力設定値に維持されるように動作する。 （もっと読む）

【課題】波長可変ダイオードレーザ吸収分光法（TDLAS）の実現の問題点を克服する。
【解決手段】選択されたレーザ発振周波数を有する２つ以上のダイオードレーザ１２の出力に光学結合されたマルチプレクサ１６が、ピッチ側の光ファイバに光学結合される。多重化レーザ光が、プロセスチャンバ２２に関連付けられたピッチ光学部品２０にピッチ側光ファイバを通して伝送される。ピッチ光学部品２０は、プロセスチャンバの中を通して多重化レーザ出力を放射するように方向配置される。キャッチ光学部品２４が、放射された多重化レーザ出力を受け取る。キャッチ光学部品２４は、デマルチプレクサ２８に多重化レーザ出力を伝送する光ファイバに光学結合される。デマルチプレクサ２８はレーザ光を逆多重化し、光の選択されたレーザ発振周波数を検出器２５に光学結合し、この検出器は、選択されたレーザ発振周波数の１つに対し感度を有する。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサにおいて、低濃度域を高速高精度に安定して測定できるようにする。
【解決手段】ＮＯ_２ガスの濃度センサＳ１，Ｓ２において、ガス流路として相互に並列に配置された第１の流路Ｈ０および複数の第２の流路Ｈ１〜Ｈ４を設ける。第１の流路Ｈ０には光センサからなる高濃度ガスセンサＳＰを、第２の流路Ｈ１〜Ｈ４には半導体からなる低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４をそれぞれ設け、低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４の上流側には電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を設ける。そして、制御装置Ｃの弁制御回路Ｃ１は、光センサ回路Ｃ２でセンサＳＰの測定値が充分下がってから、電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を択一的に「開」として、半導体センサ回路Ｃ３に測定を行わせる。したがって、高感度なセンサＳＳ１〜ＳＳ４を、非測定時にむやみにＮＯ_２ガスに曝露することなく、劣化や破損を防止し、高濃度域から低濃度域までの広いレンジにおいて安定して使用できる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の物質の濃度を高い応答性かつ高い精度で検出することができる濃度計測装置を提供することにある。
【解決手段】流体が通過する中空ファイバと、対象配管と連結し、流体を中空ファイバの一方の端部に供給する流入管と、測定対象の物質に固有の吸収が生じる波長を含む波長域の測定光を出力する発光部と、中空ファイバの一方の端部に連結され、発光部から出力された測定光を案内し中空ファイバに入射させる第１光ファイバと、中空ファイバの他方の端部に連結され、中空ファイバを通過した測定光が入射する第２光ファイバと、第２光ファイバを案内される測定光を受光する受光部と、受光部が受光した受光信号に基づいて流体に含まれる測定対象の物質の濃度を算出する算出部と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のバルブ２と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のバルブ８と、前記圧力検出手段４から検出された圧力を変換し前記第二のバルブへ信号を送る制御器７と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設されたバルブ２と、前記第二のポンプ９の回転数を制御する制御手段と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）