【課題】簡易な構成で、スネーキング現象による測定値への影響を回避することができる紫外線分析計を提供する。
【解決手段】低圧水銀ランプ３は測定セル２に隣接して配置され、測定セル２内の試料に紫外光を照射し、その透過光量を検出器４が検出する。そして、図示しない演算部によりオゾンガス濃度に換算して出力部や表示部に出力することができるようになっている。低圧水銀ランプ３の電源である光源用電源５は、スイッチ６の動作によりオン／オフされるようになっており、制御部７が予め定めた周期でスイッチ６を開閉するようになっている。 （もっと読む）

【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子１０２を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部１２９を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による光導入面及び光導出面の間の拡縮を防止する。
【解決手段】被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５に設けられてセルブロック６の外部からの光を流路に導入する光導入面７と、流路５において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光をセルブロック６の外部に導出する光導出面８と、セルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６と、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】部品不良、または、取付けミスや組立ミスなどの人為的な不具合があった場合であっても、簡単に不具合の原因を特定することができる自動測定装置を提供する。
【解決手段】ｐＨ計（自動測定装置）１が、試料水中に浸漬されたガラス電極と比較電極との電位差の計測信号を出力する電位差信号出力部（信号出力部）１１と、その計測信号から周波数と強度を分析する信号分析部１２と、前記測定信号から試料水のｐＨを演算するｐＨ演算部（指標成分量演算部）１３と、少なくとも部品不良、または、取付けミスや組立ミスという不具合がある場合の信号の周波数と強度を予め記憶しておく異常信号記憶部１４と、信号分析部１２と異常信号記憶部１４に記憶された周波数及び強度に基づいて、不具合の原因を特定する異常原因特定部１５を備えることにより、設置現場において簡単に不具合の原因を特定することができ、非常に手間と時間がかかっていた作業を大幅に削減することができる。 （もっと読む）

【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。このため、窒化物系深紫外線半導体素子を使用した、正しい測定値が得られ、装置へのダメージを排除するオゾン濃度測定装置を提供する。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】
２００ｇ／Ｎｍ^３以上の高濃度オゾンガス濃度を測定する場合、従来の紫外線吸光式オゾン濃度計でオゾン吸光のための紫外線光路長を非常に短くする必要があったため、オゾンガスを流すための圧力損失が大きく、また、オゾンが紫外線により光解離し濃度低下が生じる恐れがあった。
【解決手段】
可視光光源、特に、波長５５０〜６３０ｎｍｎｍ付近の光を用いると、２００ｇ／Ｎｍ^３以上の高濃度オゾンガス濃度も、広い空間でオゾンガスを流通させたり滞留させて計測でき、かつ、オゾン分解を生ずることなく、精度良くオゾンガス濃度を計測できる。 （もっと読む）

【課題】大気中のオゾン濃度を高精度に、かつ短時間で再現性良く測定できるだけではなく、利便性、経済性及びメンテナンス性を有するオゾン濃度計を提供する。
【解決手段】オゾン吸収スペクトルにおいてオゾン吸光度を示す波長領域内の所定の波長をλ１としたときに、前記のλ１に発光ピークを有するＬＥＤ１と、該ＬＥＤ１からの発光に対するオゾン吸光度の１／２以下となるオゾン吸光度を示す波長λ２に発光ピークを有するＬＥＤ２とからなる複数の光源と、試料空気を収納する試料測定用セルと、ＬＥＤ１の光源１とＬＥＤ２の光源２からの光強度を、試料測定用セルに入射する前及び通過した後でそれぞれ測定するための検出器１と検出器２とからなる複数の検出器とを有し、検出器１及び検出器２によって測定されるＬＥＤ１とＬＥＤ２との光強度比を用いて、差分吸光法によってオゾン濃度を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度を精度よく検出できるコンパクトなオゾン検出センサを提供する。
【解決手段】透光性基板４ａ、４ｂの対の対向間隙５にオゾン含有流体Ｏを装入する測定セル４と、一方の基板４ａに紫外光ＵＶを照射する光源２０と、他方の基板４ｂの透光側に設けたドーピング又は真性欠陥により紫外光感度を増大させたＰ型又はＮ型の所定膜厚ｄの酸化亜鉛（ＺｎＯ）の薄膜１０と、薄膜１０に一定電圧を印加する電極対１１、１２と、電極対１１、１２間の電流を検知する計測回路１６とを備え、酸化亜鉛薄膜１０の所定膜厚ｄをＡ領域紫外光に対するＣ領域紫外光の感度比率（ＵＶＣ／ＵＶＡ）が所定比率以上となるように選択する。好ましくは、酸化亜鉛薄膜１０の所定膜厚ｄを、電極対１１、１２間の電流の時定数が所定値以下となる範囲内においてＡ領域紫外光に対するＣ領域紫外光の感度比率（ＵＶＣ／ＵＶＡ）が最大となるように選択する。 （もっと読む）

【課題】入力ガス流内の不純物を定量化する装置および方法を提供する。
【解決手段】入力ガス流１２内の不純物を、出力ガス流３０内の検出可能な種類に変換する触媒を用い、その後、検知器２６によりその検出可能な種類の濃度が測定される。これにより、ガス流内の不純物の分析に、高レベルな感度を達成する。 （もっと読む）

【課題】真空放電を利用した低圧水銀ランプは時間単位における放射出力強度の上限値、下限値の差が大きくなり補正が常に必要になるためオゾン濃度測定精度が悪くなることが問題である。
【解決手段】窒化物系深紫外半導体発光素子１１９から発する紫外線の連続波長から光学フィルタ２００〜２０８で微弱光の紫外線の単一波長を取り出し、オゾンの再オゾン化、活性酸素の影響を無くす事によって正しい紫外線吸収式オゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 水溶性ラジカル種濃度をその発生場所にて非侵襲且つリアルタイムに計測することが可能な水溶液中の水溶性ラジカル種濃度の測定方法を提供すること。
【解決手段】 水溶液中の水溶性ラジカル種濃度と、該水溶液の１４０〜２１０ｎｍの範囲内における1以上の波長で測定した吸光特性との相関性に基づいて該水溶液中の水溶性ラジカル種濃度を定量すること特徴とする水溶液中の水溶性ラジカル種濃度の測定方法。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル等の微粒子からの散乱光と、所望のハードターゲットからの散乱光とを分別し、より高い精度で計測対象となる気体の濃度を計測することを可能にする差分吸収ライダ装置を提供する。
【解決手段】計測する気体の光吸収量が大きい波長と小さい波長からなる光信号に与える強度変調の変調信号にチャープ信号を用い、２つのチャープ信号のチャープ範囲が重ならないようにすることで、２波長を同時に送受した場合でも両者を分別できるようにする。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度の経時的変化傾向をより容易に把握させることができるオゾン水濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筐体としての測定装置本体１と、該測定装置本体１内に形成され、オゾン水を流通させるオゾン水流路（オゾン水導入路５及び排出路７）と、該オゾン水流路を流通するオゾン水のオゾン濃度を測定する濃度測定手段９とを具備したオゾン水濃度測定装置において、濃度測定手段９で測定されたオゾン濃度を経時的な変化傾向を示すグラフとしてリアルタイムに表示する表示手段１０を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比色法によりガス濃度を測定する際に、撮影環境のバラツキを減らす。
【解決手段】外光の侵入を抑えたケース内に検知紙１２、照明装置１３、および撮影装置１４を配置する。これにより、撮影環境を一定に保つことができるので、撮影した画像データを用いてオゾン暴露量を算出する際、撮影環境の違いによるオゾン濃度測定の誤差を除去することが可能となる。また、温湿度測定装置１５により、オゾン濃度測定装置１０内の温湿度を計測し、オゾン濃度算出装置１６がその温湿度を用いて計算したオゾン暴露量を補正する。これにより、より正確なオゾン暴露量を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】正確なガス濃度測定を簡易にすることにある。
【解決手段】オゾン暴露量に応じて変色する検知紙４１と既知のオゾン暴露量に対応する色を帯びた色見本４２，４３，４４とを配置したガス濃度検知シート４０を画像入力装置３０により撮影し、ガス濃度測定装置１０により、検知紙４１の色情報と色見本４２，４３，４４の色情報とを比較し、オゾン濃度を算出する。これにより、大型で高価な装置を用いることなく、オゾン濃度を測定することができる。また、ガス濃度検知シート４０にマーカー４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄを配置し、ガス濃度検知シート４０を撮影した電子画像データ上に、マーカー４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄに基づいて相対座標を設定する。これにより、撮影サイズ、撮影角度、画像の回転を考慮して電子画像データを解析することができるので、撮影者は撮影に気をつかうことなく気軽に利用できる。 （もっと読む）

【課題】内周面での赤外線の乱反射を防いで、濃度測定の精度の悪化を防止できる気体セル、気体サンプル室、及び、濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されており、一端部６ｂに配置された光源７から放射される赤外線を、内部を通じて他端部６ｃに配置された赤外線センサに導く気体セル６であって、内周面６ｄに黒体処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで非破壊的に高精度にオゾン濃度を測定する。
【解決手段】紫外光吸収方式のオゾン濃度測定部２に供されるオゾン含有ガスの一部を導入するオゾン分解部３はオゾン濃度測定部２に並列に配置されている。オゾン分解部３では前記導入したガスに紫外光を照射することにより前記ガスに含まれるオゾンガスを酸素ガスに分解する。そして、オゾン分解部３にてオゾンガスが完全に酸素ガスに分解したときの圧力上昇の割合に基づき算出された前記オゾン含有ガスのオゾン濃度に基づきオゾン濃度測定部２の校正が行なわれる （もっと読む）

【課題】基板に紫外光及びオゾン含有ガスが供されるプロセスにおいて基板の表面温度及びその変化をリアルタイムで把握する。
【解決手段】プロセス制御システム１は、基板１０に対してオゾン含有ガスが供されると共に紫外光が照射されるオゾン処理炉２と、これから排出されたオゾン含有ガス中のオゾン濃度に基づき基板１０の温度を検出するオゾン濃度測定部３を備える。基板１０に紫外光及びオゾン含有ガスを供するプロセスの開始前にオゾン処理炉２はオゾン含有ガスを間欠的に導入し、この導入毎にオゾン濃度測定部３によって測定されたオゾン濃度に基づきプロセス開始前の基板１０の温度を検出する。前記測定されたオゾン濃度に基づきオゾン処理炉２に供されるオゾンガスの流量または圧力、前記紫外光の照射強度のいずれかを調整することで基板１０の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】可視域の吸収スペクトル変化を検出対象とした簡便で安価な装置により、より多くの種類の検知剤を用いた分析対象物質の比色分析ができるようにする。
【解決手段】光源１０１，検出部１０２，波長変換部１０３，受光部１０４，および濃度算出部１０５を備える。光源１０１より出射した光源光は、検出部１０２を透過し、検出部１０２を透過した透過光は、波長変換部１０３を透過して受光部１０４に受光される。波長変換部１０３は、光源１０１より出射されて検出手部１０２を透過した光の中の検知剤の吸収スペクトルの波長の光をより長波長の光に変換する。波長変換部１０３は、例えば、ＤＡＰＩなどの蛍光色素をポリエチレンなどのポリマーに混合して作製した蛍光フィルムより構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】レーザ光照射によるオゾン分解によって、目的酸素同位体が濃縮された酸素を得る際に、オゾン分解時における目的酸素同位体含有オゾンの濃度を迅速に測定でき、この測定値に基づいてオゾン分解反応を制御できるようにすることにある。
【解決手段】線幅が０．０５ｎｍ以下の分解用レーザ光を用いて前記目的酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解すると同時に、残存する目的酸素同位体を含むオゾンの濃度を線幅が０．０５ｎｍ以下の測定用レーザ光によって測定し、この測定値に基づいて前記分解用レーザ光によるオゾンの光分解を制御する。測定用レーザ光による測定が、正弦波で変調された注入電流により発振された測定用レーザ光を用い、受光器で光電変換された電気信号をロックインアンプに入力し、前記正弦波を参照信号として二次微分処理を行うものである。 （もっと読む）