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Fターム[2G059DD12]の内容

光学的手段による材料の調査、分析 (110,381) | 試料の調整及び取扱い (5,012) | 試料の取扱い (3,176) | サンプリング、試料の移送、移動、導入 (1,780)

Fターム[2G059DD12]に分類される特許

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【課題】不良と判定される欠陥を内在する半導体基板のウェハプロセスにおける製造効率を向上させ、良品率を向上させる。
【解決手段】ウェハ1を搬送してウェハ支持台4へ載置するための搬送装置3と、該ウェハ支持台4の位置を可変制御する駆動装置14と、該ウェハ1が載置される前記支持台4の位置の可変制御により、ウェハ1の上部に配設される照射光8を前記ウェハ1表面に走査させながら照射する光照射部6と該光照射部6に照射光8を供給する光源7と、前記ウェハ1表面からの散乱光9を検出する第1受光検出部13とウェハ1の透過光を検出する第2受光検出部10と、該受光検出部からの信号を受けて演算処理する演算部11と該演算部11からの信号を受けて画像として出力するモニター12とを含む半導体基板の欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】試料を汚染することなく、試料の色の濃淡変化を短時間で高感度に検出することができる、コンパクトな還元気化水銀測定装置を提供する。
【解決手段】試料前処理装置1で試料Sの前処理を行ったのちに、還元気化法により各試料中の水銀を測定する還元気化水銀測定装置であって、試料前処理装置1は、試料Sが収容された複数の試料容器10のそれぞれに少なくとも過マンガン酸カリウム溶液を含む複数の試薬を注入する試薬分注装置2と、発光素子として緑色LED71を有し、試料容器10に対して移動される反射型光センサ7とを備え、反射型光センサ7が、試料容器10の開口部の直上で、試料容器10内における試薬の過マンガン酸カリウム溶液の色の濃淡変化を非接触で検出するとともに、試料容器10を非接触で検出する。 (もっと読む)


【課題】分析する試料に含まれる抗原や抗体を高い精度での検出を可能とする。
【解決手段】ディスク面におけるグルーブ107およびランド108からなる溝構造またはピット109が設けられた構造を有するトラック領域105に固定化された、生体高分子が結合している標識用ビーズ110を、光学的読み取り手段によって数量を計測するための試料分析用ディスク100において、標識用ビーズ110の直径が、グルーブ107またはピット109の幅より小さく且つグルーブ107またはピット109の幅方向に標識用ビーズ110が1個のみ配置される大きさである。 (もっと読む)


【課題】 放射線や電波、紫外線などの光線をはじめとする各種電磁波が生体に与える影響を、細胞レベルで簡便かつ統一的に評価することのできる生体為害性測定システムを提供する。
【解決手段】 生体為害性測定システム1は、細胞に電磁波を照射するための照射ユニット3を有する照射装置2と、照射装置2から電磁波を照射される生体由来の細胞を搬送する細胞搬送装置4と、を備えている。細胞搬送装置4は、細胞を収容したディッシュを表面に備えた無端ベルト8が、一対の回転ローラ7,7に掛け回されて構成され、細胞を環状に循環する環状搬送路を形成している。照射ユニット3は、照射する電磁波の種類に応じて交換可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】測定対象物質の検出感度をより高精度に向上させることが可能な光導波路型測定システム、測定方法及び光導波路型センサチップを提供する。
【解決手段】本実施形態の光導波路型測定システムは、測定対象物質と特異的に結合する第1物質が表面に固定化された光導波路と、前記測定対象物質と特異的に結合する第2物質及び発色反応を生ずる標識体が固定化され、磁性を有する磁性微粒子と、前記磁性微粒子を移動させるための磁場を生成する磁場印加部とを備える。 (もっと読む)


【課題】測定時のS/N比(シグナル/ノイズ比)の低下を抑制し、短時間の測定で精密な測定を行い、リアルタイム性の向上が図られるような光学的検知装置を提供する。
【解決手段】測定用の光が通過する測定光路と、前記測定光路に測定用の光を照射する光源と、前記測定光路を通過した光を受光し、吸収スペクトルの検出を行う検出器と、を有し、前記測定光路と前記光源とを連結させる第1の連結路と、前記測定光路と前記検出器とを所定の間隔でもって連結させる第2の連結路と、が設けられ、前記第1の連結路は前記測定光路と前記光源との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第2の連結路は前記測定光路と前記検出器との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部を排気する排気機構と、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構と、を備えた光学的検知装置が提供される。 (もっと読む)


【課題】気泡による反応の阻害を回避でき、反応場形成物の劣化が抑制される計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】流路は、気泡検出区間及び反応区間を順に経由して液体入口から液体出口へ至る。プリズムは金膜の一方の主面に密着する。抗体固層膜は、金膜の他方の主面に定着し、反応区間に配置され、反応物が反応する反応場を形成する。照射機構は、気泡検出光又は励起光をプリズムに照射する。気泡検出光は、プリズムの内部を進行し気泡検出区間へ向かう。励起光は、プリズムの内部を進行し反応区間へ向かう。測定機構は、気泡検出区間を透過した気泡検出光又は気泡検出区間において反射された気泡検出光の光量を測定し、反応場から放射される表面プラズモン励起蛍光の光量を測定する。気泡検出部は、当該光量の測定結果を測定機構から取得し、気泡検出区間への気泡の混入を検出する。 (もっと読む)


【課題】剥離細胞と接着細胞との重なりを考慮せずに、細胞剥離性能を高精度に評価する。
【解決手段】細胞と液体とを含む系に動きを与えた状態から、前記細胞が静止するまでの状態を動画撮影した動画ファイルのフレームのうち、前フレームとの画素の差分値が所定の値以上である動きエリアを抽出する動きエリア抽出部を有することを特徴とする細胞画像解析装置。 (もっと読む)


【課題】複数の試料を均一に加熱して各試料間の温度差を少なくし、高精度の分析を可能にし、かつ加熱後の冷却時間を短くできる還元気化水銀測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の還元気化水銀測定装置は、試料前処理装置1で複数の試料Sの前処理を行う装置であって、試料前処理装置1は、試料Sが収容された試料容器10に試薬を注入する試薬分注装置2と、試料容器10を鉛直方向の軸心121回りに環状配列で取り外し可能に保持し、かつ試料容器10の少なくとも上部を露出させる環状保持部122を有して、軸心121回りに回転されるターンテーブル12と、環状保持部122の下面の一部に対向して配置され、直上に位置する環状保持部122の部分を非接触で加熱するヒータ13と、環状保持部122の温度を測定する温度センサー17と、測定された環状保持部122の温度に基づいて試料Sの温度を調節する温度調節手段18とを備える。 (もっと読む)


【課題】凝固活性因子の指標を迅速に測定する。
【解決手段】凝固活性測定装置は、溶液が流れる流路を備えた測定チップ100の流路の表面における屈折率を測定する表面プラズモン共鳴測定装置を備える。表面プラズモン共鳴測定装置は、プリズム1と、光源2と、偏光板3と、集光レンズ4と、CCDカメラ5と、データ処理装置6とから構成される。さらに、データ処理装置6は、測定チップ100の流路中に緩衝液が充填された後に、血液凝固を活性化する活性化剤と血漿とが混合された血漿サンプルが流路中に投入されたときの屈折率の変化から、流路中を進行する血漿の流速を算出する流速算出手段と、血漿の流速と凝固活性因子の指標との既知の関係に基づいて、流速算出手段が算出した流速から凝固活性因子の指標を算出する凝固活性因子指標算出手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】光音響分光分析において微小な試料の測定感度を向上させること。
【解決手段】光源(3)からの断続光が照射された試料に発生する熱により気体中に発生する音響を検出して前記試料(S)の分析を行う光音響分析において、試料(S)を支持する光音響分析用の試料カップ(SC)であって、前記光の入射方向および前記入射方向に直交する方向に対して傾斜して形成されて前記試料(S)を支持する支持面(22)であって、前記直交する方向に沿って前記試料(S)を配置した場合に比べて、前記試料(S)の表面を前記光の入射方向に対して沿った方向に近づけた状態で前記試料(S)を支持する前記支持面(22)、を備えた光音響分析用の試料カップ(SC)。 (もっと読む)


【課題】バラスト水に含まれるLサイズ生物及びSサイズ生物の各個体数を短時間で精度良く検査できるバラスト水の検査方法を提供する。
【解決手段】バラスト水に含まれる微生物の検査方法であって、最小サイズが50μm以上の微生物については、スキャナにより取得した画像データに基づいて個体数を検査し、最小サイズが10μm以上50μm未満の微生物については、スキャナにより取得した画像データに基づく以外の方法により個体数を検査することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】成分の分析のために測定対象の量が目減りすることを抑制することのできる成分分析装置を提供する。
【解決手段】成分分析装置1は、被測定部分32に照射した近赤外光の拡散反射光により血液中のグルコース濃度を測定する測定部20を備えている。被測定部分32は血液の流路を形成するチューブ30に設けられる。また、照射部24Aから受光部25Aまでの光ファイバー間距離LFは、「0.2mm」以上かつ「1mm」以下に設定される。 (もっと読む)


【課題】酸洗液の酸及び溶存金属イオン濃度を最適濃度範囲に常時制御する。
【解決手段】金属帯を連続的に処理する酸洗槽11、12、13から酸洗液のサンプリングを連続又は所定周期で行ない、サンプリングした液について、近赤外領域での吸光度の連続スペクトル、又は、複数の所定波数もしくは波長における吸光度を測定し、得られた吸光度に対して多変量解析を行なって検量線を作成し、該検量線を用いて、サンプリングした液中の酸濃度及び溶存金属イオン濃度を算出し、算出結果に応じて酸及び溶存金属イオン濃度を所定濃度範囲に常時制御する。 (もっと読む)


【課題】測定対象物に塗布された塗布物質の塗布状態をより簡単に精度よく測定する。
【解決手段】測定対象物を撮像して測定対象物のスペクトル画像を取得する画像取得ステップS01と、画像取得ステップにより得られたスペクトル画像に基づいて、塗布物質の種類を判別する塗布物判別ステップS02と、画像取得ステップにより得られた前記スペクトル画像に基づいて、塗布物質の塗布量を測定する塗布量測定ステップS03と、を備える。 (もっと読む)


【課題】天然ガスの水分を検出するように構成された、光スペクトル法による水分分析器を提供する。
【解決手段】水分分析器10は、天然ガスを封入し、案内する吸収セル20を含む。水分分析器はまた、吸収セル内の天然ガスの圧力を減少させることができる圧力制御装置38を含む。水分分析器は、吸収セル内の天然ガスを通って光を透過することができる発光装置12、ならびに天然ガスを通って透過され、吸収セルを出る光の強度を検出することができる光検出器26を備える。 (もっと読む)


【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素(SiF4)を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から100〜180℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に5〜50℃に冷却し、しかる後、急速に5〜50℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 (もっと読む)


【課題】効率良く安価に電磁波パルスの測定精度を向上する技術を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置100は、テラヘルツ波を試料Wに照射する照射部12と、試料Wを透過したテラヘルツ波の電界強度を検出する検出部13と、レーザ光源11から検出部13までの光路長を段階的に変更することによって、検出部が前記電磁波パルスの電界強度を検出するタイミングを段階的に変更する遅延部14と、光路長を変更する変更範囲を設定する変更範囲設定部23とを備えている。変更範囲設定部23は、遅延部14が、光路長を第1の変更範囲で段階的に変更した場合に、前記試料を透過または反射した前記電磁波パルスが前記検出部で検出されるときの前記光路長を含む前記光路長の範囲を、第2の変更範囲に設定する、前記遅延部14は、光路長を変更範囲R2で段階的に変更する際に、光路長を変更範囲R1で段階的に変更する場合よりも細かく変更する。 (もっと読む)


【課題】血液中に含まれるウニ状赤血球を検出するための新規な装置および方法の提供。
【解決手段】赤血球の可視吸収スペクトルを取得し解析を行った結果、ウニ状赤血球がSorbet帯とQ帯との間の、450〜490nmの波長域に吸収ピークを伴う特徴的なスペクトルパターンを示すことを見出した。そこで、血液について取得された可視吸収スペクトルの前記吸収ピークを検出する解析部を有する血液分析装置を提供する。この装置によれば、前記吸収ピークに基づいて血液中に含まれるウニ状赤血球を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】血液の品質を評価するための新規な装置および方法の提供。
【解決手段】赤血球の紫外可視吸収スペクトルを取得し解析を行った結果、異なる赤血球であるいは同一赤血球でも異なる時間で、ヘムとその分解性生物であるビリベルジンおよびビリルビンのスペクトルにそれぞれ対応する複数のスペクトルパターンが検出されることを見出した。そこで、赤血球について取得された測定スペクトルを、ヘムおよびビリベルジン、ビリルビンの標準スペクトルと比較してそのいずれかに帰属させる解析部を備える血液分析装置を提供する。この装置によれば、赤血球について取得された測定スペクトルがこれらいずれのスペクトルと一致するかによって当該赤血球中のヘムの分解程度を評価し、赤血球の経時劣化の指標とすることができる。 (もっと読む)


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