【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】プラズモン増強場を利用したセンシングにおいて、同一試料内の複数の測定箇所に対して短時間且つ高感度なセンシングを可能にする。
【解決手段】センシング装置１は、励起光Ｌ１、Ｌ２が照射されることにより試料接触面１０ｓにプラズモン増強場を生じるプラズモン活性基体１０と、励起光Ｌ１を照射する励起光照射光学系２０と、試料Ｓに励起光を含む測定光Ｌ２を照射する測定光照射光学系３０と、測定光Ｌ２の照射により試料接触面１０ｓ上の試料Ｓから発せられ、且つ、該照射により試料接触面１０ｓに生じたプラズモン増強場により増強された信号光Ｌ３の物理特性を検出する物理特性検出系４０とを備えてなり、測定光Ｌ２を試料Ｓの複数の測定点に照射して、該複数の測定点における物理特性を検出するものであり、励起光照射光学系２０は、試料接触面１０ｓの少なくとも２つの測定点を含む領域を同時に照射可能な励起光Ｌ１を照射するものである。 （もっと読む）

【課題】 伝播表面プラズモンと局在表面プラズモンとを併用しながら、ホットサイトとして機能する金属ナノ粒子の密度を高めることができる光デバイス及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 光デバイス１００は、基材１０１の導体表面１０２より突起して、第１方向Ｘに沿って第１周期で配列される第１突起群１１０と、導体表面及び第１突起群を覆う誘電体層１２０と、誘電体層１２０上にて金属ナノ粒子１３０Ａが第１方向Ｘに沿って第１周期と異なる第２周期で配列されて成る第２突起群１３０とを有し、第１周期及び第２周期の一方をＰｘ１とし、第１周期及び第２周期の他方をＰｘ２とし、照射光の波長をλとしたとき、λ＞Ｐｘ１＞Ｐｘ２を満足し、かつ、０＜Ｐｘ１−Ｐｘ２＜Ｐｘ１／２を満足する。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】不良と判定される欠陥を内在する半導体基板のウェハプロセスにおける製造効率を向上させ、良品率を向上させる。
【解決手段】ウェハ１を搬送してウェハ支持台４へ載置するための搬送装置３と、該ウェハ支持台４の位置を可変制御する駆動装置１４と、該ウェハ１が載置される前記支持台４の位置の可変制御により、ウェハ１の上部に配設される照射光８を前記ウェハ１表面に走査させながら照射する光照射部６と該光照射部６に照射光８を供給する光源７と、前記ウェハ１表面からの散乱光９を検出する第１受光検出部１３とウェハ１の透過光を検出する第２受光検出部１０と、該受光検出部からの信号を受けて演算処理する演算部１１と該演算部１１からの信号を受けて画像として出力するモニター１２とを含む半導体基板の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】レーザー光で血液中のラマン活性物質を、簡単な構成で簡便に迅速かつ経時的に検出し、血液や血管壁の薬物特効などの各種特性を精度よく測定するレーザー光を用いたエバネッセント光のプラズモン共鳴効果と表面増強ラマン散乱分効果を用いたカテーテルラマン分光システムを提供する。
【解決手段】レーザー発信装置２からレーザー光８を中空光ファイバー１０を通してカテーテル１に導入し、このカテーテルを患者や動物検体の血管６に挿入して血液中の成分や血管碧内部の成分を測定する。カテーテル１にはラマン散乱光表面増感処理、被検体に挿入することで、励起レーザー光は、カテーテルに開けられた窓や、先端部から照射し、先端部では通常のラマンスペクトルも測定する。こうして、血漿中や血管碧ラマン活性物質を高い感度で測定することを可能とすることを特徴とするエバネッセント光表面増強ラマン散乱分効果を用いたラマン分光カテーテルシステム。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】インプリント技術を利用して、使用する樹脂の種類に制限を受けることなく高精度の凹凸パターンを有する局在型表面プラズモン共鳴デバイスを提供する。
【解決手段】局在型表面プラズモン共鳴センサーユニットの製造方法は、I）凹凸パターン形状を有する鋳型に、樹脂溶液を塗布し、乾燥させて前記凹凸パターン形状が転写された形状転写面を有する樹脂層を形成する工程、II）樹脂層に金属イオン含有溶液を接触させて金属イオンを樹脂層中に含浸させる工程、III）金属イオンを還元し、形状転写面を含む樹脂層の表面に金属を析出させて金属析出層を形成する工程、IV）金属析出層の上に、無電解めっきおよび／又は電気めっきを施すことにより金属めっき層を形成する工程、V）工程IVの後に、樹脂層を除去することにより、局在型表面プラズモン共鳴を生じる凹凸パターン形状を有する金属薄膜を形成する工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】センサー材料とその製造方法、および、検出方法を提供する。
【解決手段】分子汚染物質を検出するセンサー材料の製造方法は、金属酸化物前駆体の水溶液を準備する工程と、二酸化チタンナノチューブと金属酸化物の水溶液を混合して、混合物を形成する工程と、弱塩基で、混合物のｐＨ値を中性に調整する工程と、混合物を水に分散させて、加熱する工程と、混合物をろ過して、固体部分を残し、酸素の連続流下で、固体部分を焼成して、金属酸化物を担持した二酸化チタンナノチューブを形成する工程とを有している。本発明は、センサー材料およびセンサー材料を用いた検出方法も提供し、分子汚染物質のｐｐｍ〜ｐｐｔレベルの濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＲＳやＳＥＩＲＡＳに拠り任意の測定位置にある測定対象物を分析することが可能な分光分析方法を提供する。
【解決手段】磁性を有する金属ナノ粒子１０をゾルゲル液中に混合し、金属ナノ粒子１０を均一に分布させる為にゾルゲル液を撹拌する。このゾルゲル液にパイプ形状のスス体１１を浸漬させて、スス体１１の表面にゾルゲルコート層１２を形成する。スス体１１とゾルゲルコート層１２との界面直近の膜物性を確認するため、マグネット１３によりスス体１１の外部から内部へ向かって１Ｔの磁場Ｂをかけて、未硬化状態のゾルゲルコート層１２内の金属ナノ粒子１０を界面付近へ磁気泳動させる。そして、ゾルゲルコート層１２を焼結しガラス化した後、界面へ光を照射してラマン分光分析を行う。 （もっと読む）

【課題】不透明な試料についての測定を簡便に行うことができる表面増強ラマン分光測定装置を得る。
【解決手段】透明基板１６と、この透明基板１６の一表面に形成された、表面増強ラマン散乱を生じさせる金属体１７と、この金属体１７に接する状態に配置された試料体２０、２１を、該金属体１７側に押し付ける押圧機構２２，２３，２４と、前記透明基板１６を通して試料体２０、２１に測定光１１を照射する測定光照射光学系１２，１３，１４と、試料体２０，２１に測定光１１が照射されたとき発生したラマン散乱光を、透明基板１６を通して分光検出する光検出手段１５，２６，２７とから表面増強ラマン分光測定装置１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】測定環境に対して検出感度が低下しない局在表面プラズモンセンサーチップを提供する。
【解決手段】基材１１と、基材１１上に形成された第一の金属微細構造２１と、基材１１上に形成され第一の金属微細構造２１の間に設けられた第二の金属微細構造２２と、第一及び第二の金属微細構造２１，２２上に形成された薄膜２３と、を備え、第一の金属微細構造２１は、基材１１と接する端面が基材の表面に対して垂直な形状または構造断面積が基材の表面に向かうにつれて大きくなる形状であり、第二の金属微細構造２２は、第一の金属微細構造２１と接触しない位置に接近して配置され、基材１１と接する端面が基材１１の表面に対して垂直な形状または構造断面積が基材１１の表面に向かうにつれて大きくなる形状であり、薄膜２３は、第一及び第二の金属微細構造２１，２２を被覆するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】高速に測定を行うことができるスペクトル計測装置を実現すること。
【解決手段】波長可変光源１０はＥｒドープ超短パルスレーザファイバー１１とＥＯＭ１２と偏波保持シングルモードファイバーを有し、パルス光の強度を変更することで出力される光ソリトンパルスの波長を掃引することができる。波長可変光源１０からの光ソリトンパルスは、櫛歯状分布ファイバー２０によって断熱ソリトンスペクトル圧縮され、スペクトルが狭窄化される。この狭窄化された光ソリトンパルスは試料７０を透過してフォトダイオード４０ａにより受光され、デジタルオシロスコープ５０によって光強度が計測される。この時間波形と、波長可変光源１０での波長掃引との関係から、試料７０の吸収スペクトルを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】分析対象試料に赤外線とＸ線とを同時に透過させて測定することができると共に、装置の小型化を図ることができる赤外透過スペクトル測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線を照射するための赤外線発生器１０と、赤外線発生器１０からの赤外線を分析対象試料３０に向けて反射させる第１反射鏡１１と、分析対象試料３０を透過した赤外線を赤外線検出器１３に向けて反射させる第２反射鏡１２とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置において、分析対象試料３０に照射するためのＸ線発生器２０と、分析対象試料３０を透過したＸ線を受光する小角散乱検出器２１または広角散乱検出器２２のいずれか一方または両方とを備え、Ｘ線を挟んだ一方の側に第１反射鏡１１を配置し、Ｘ線を挟んだ他方の側に第２反射鏡１２を配置した。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性を高めてリアルタイム計測が可能な検出装置等を提供すること。
【解決手段】 検査装置は、光学デバイス２０と、流体試料を光学デバイスに吸引する吸引部４０と、光学デバイスに光を照射する光源５０と、光デバイスから出射される光を検出する光検出部６０と、吸引部を駆動制御する制御部７１と、を有する。光学デバイスは、吸着される流体試料を反映する光を出射する。制御部７１は、光検出部にて検出する期間を含む第１モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ１とし、第２モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ２（Ｖ２＞Ｖ１）とし、光検出部からの信号に基づいて第１，第２モードを切換える。 （もっと読む）

【課題】センサー種類、構造によらず、測定前のセンサー表面をリフレッシュでき、かつ化学物質検出に影響を与え難い化学物質検出装置、及び化学物質検出装置と組み合わせて使用するクリーニング装置を提供する。
【解決手段】化学物質検出素子１と、化学物質検出素子を収納し、室内を減圧可能なセル２と、セルに気体試料を供給する気体供給流路１２と、気体吸引口１１とセル２の間の気体移動を遮断する弁１３と、セルから気体試料を排出する気体排出流路２１と、セルや気体流路内を減圧するための真空ポンプ２３と、セルに気体試料を供給するための気体吸引手段２４を設ける。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱光を高い感度で検出し得る光電場増強デバイスを容易、かつ低コストに製造する。
【解決手段】基板１１上に第１の金属または金属酸化物から成る薄膜２０を形成し、この基板１１上に形成された薄膜２０を水熱反応させることにより、第１の金属または金属酸化物の水酸化物からなる微細凹凸構造層２２を形成し、その後、微細凹凸構造層２２の表面に、第２の金属から成る金属微細凹凸構造層２４を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）