【課題】パターンを有する位相差フィルムの領域の直線性又はピッチの精度を簡単に評価しうる評価方法を提供する。
【解決手段】光源と基準部材と位相差フィルムと着脱可能な偏光フィルターと光検出器とをこの順に備える評価系において、基準部材は偏光子を備え且つ一の基準方向に延在する透光領域を有し、位相差フィルムは、面内に均一な位相差を有する第一位相差フィルムと、一方向に延在する複数の異方性領域及び等方性領域を面内において交互に有する第二位相差フィルムとを備え、基準部材の基準方向における複数の地点を偏光フィルターを装着せずに観察して、基準方向に平行な基準線を前記複数の地点で同様に設定することと、偏光フィルターを装着して観察して、基準線と光が検出された部分の縁部とのズレ量を測定することとを行い、ズレ量の相違から異方性領域及び等方性領域の直線性を評価する。 （もっと読む）

【課題】２媒質法や２波長による屈折率分布測定において、媒質や波長ごとに照明光学系の瞳の大きさが異なっていても高精度な屈折率分布の測定を可能とする。
【解決手段】屈折率分布測定方法は、第１および第２の媒質中にそれぞれ配置された被検光学素子を透過した光の波面の計測値である第１および第２の波面計測値を取得し、第１および第２の媒質中に配置された被検光学素子における光の透過領域に対応する照明光学系における光の透過領域である第１および第２の光線透過領域を計算し、第１および第２の光線透過領域に対応する照明光学系の波面収差の計算値である第１および第２の波面収差を計算し、第１および第２の波面計測値を第１および第２の波面収差を用いて補正し、これら補正波面を用いて被検光学素子の屈折率分布を計算する。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 テラヘルツ波検出器で広い波長範囲で用いることができる非線形結晶を用いた方法では、高感度、広帯域を両立することが難しい。
【解決手段】 テラヘルツ波素子は、電気光学結晶を含み光を伝搬する導波路（２、４、５）と導波路（２、４、５）にテラヘルツ波を入射させる結合部材（７）を備える。導波路（２、４、５）を伝搬する光の伝搬状態は、結合部材（７）を介して導波路（２、４、５）にテラヘルツ波が入射することで変化する。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図りつつ、高精度に測定対象物の屈折率を測定することができる屈折率測定装置を提供する。
【解決手段】所定の間隔をあけて近接して配置され、入射端面１１から入射させた照明光を内面反射させて反射端面１２まで導く導光ロッド１０および導光ロッド２０と、導光ロッド１０に照明光を入射させることで、導光ロッド２０内に入射するエバネッセント光の強度を検出する光検出器２７と、光検出器２７により検出されたエバネッセント光の強度の変化から、導光ロッド１０と導光ロッド２０との間に配置された試料Ｓの屈折率の変化を算出するＣＰＵ３０とを備える屈折率測定装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】 部品点数が少なく、作業者が片手でハウジングを固定部材に取り付け可能な雨滴検出装置を提供する。
【解決手段】 外ハウジング３０は、筒部３１の内壁から内側に突き出す係合突起３５を有する。係合突起３５は、ブラケット２０の突出部２３に形成された係合溝２５に嵌め込まれる。ブラケット２０は、係合突起３５が係合溝２５に嵌め込まれることで外ハウジング３０を着脱可能に固定する。これによれば、外ハウジング３０をブラケット２０に固定するとき別の部材が不要であり、部品点数が少なくてすむ。また、係合突起３５が係合溝２５に嵌め込まれるように外ハウジング３０をブラケット２０に対し相対回動させることで、外ハウジング３０をブラケット２０に取り付けることができる。そのため、外ハウジング３０を持つ片手のみで外ハウジング３０をブラケット２０に取り付けることができ、取り付け作業の工数が低減する。 （もっと読む）

【課題】被検査ガスが空気が未知の割合で混入されたものであっても、被検査ガスにおける燃焼性ガスの検出、および当該被検査ガスを構成する燃焼性ガスの燃焼熱量の検知を容易に行うことのできる燃焼性ガスの検知方法、および燃焼性ガスの検知装置を提供すること。
【解決手段】燃焼性ガスの検知方法は、空気と共に採取される、パラフィン系炭化水素ガスよりなる燃焼性ガス（以下、「パラフィン系ガス」という。）を含有する可能性のある被検査ガスの屈折率および密度を測定し、得られた屈折率の値ｎ１の空気の屈折率の値ｎ０との差△ｎ（ｎ１−ｎ０）と、得られた密度の値ｄ１の空気の密度の値ｄ０との差△ｄ（ｄ１−ｄ０）とから算出される比（△ｄ／△ｎ）に基づいて、予め取得された、パラフィン系ガスの屈折率に対する密度の比と、当該燃焼性ガスの燃焼熱量との相関関係から、被検査ガスを構成する燃焼性ガスの熱量を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察装置の反射ミラーの反射面で結露すると、反射ミラーに入射した光が乱反射してしまい、付着物検出の精度が落ちてしまうという問題があった。
【解決手段】観察装置は、観察対象の少なくとも一部である透光板における表面領域を照射する照射部と、照射部からの照射光が表面領域で反射した反射光を受光する撮像素子と、照射部から撮像素子まで光を中継する中継光学系に含まれる反射ミラーと、反射ミラーにおける反射面と異なる箇所である他箇所に直接または熱伝導部材を介して結合されている電子部品が搭載された回路基板とを備える。 （もっと読む）

【課題】散乱光の空間分布がマイクロラフネスの差異に応じて、前方／後方／側方と色々な方向に変化することについて配慮し、特にエピタキシャル成長ウェハに出現するステップ・テラス構造は散乱光分布に異方性が生じることに配慮した表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】試料１表面に光を照明し、光軸の方向が互いに異なる複数の検出光学系５１，５２により散乱光の空間分布を検出し、試料１表面の空間周波数スペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】短時間のうちに高精度にガスバリア性を評価することを可能とするガスバリア性積層フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】基材２と、基材２に形成されたガスバリア膜３と、を有するガスバリア性積層フィルム１の検査方法であって、ガスバリア膜３の屈折率を測定し、当該屈折率の測定値と、予め測定したガスバリア膜３のガス透過度とガスバリア膜３の屈折率との関係とから、ガスバリア膜３のガスバリア性を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率良く安価に電磁波パルスの測定精度を向上する技術を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置１００は、テラヘルツ波を試料Ｗに照射する照射部１２と、試料Ｗを透過したテラヘルツ波の電界強度を検出する検出部１３と、レーザ光源１１から検出部１３までの光路長を段階的に変更することによって、検出部が前記電磁波パルスの電界強度を検出するタイミングを段階的に変更する遅延部１４と、光路長を変更する変更範囲を設定する変更範囲設定部２３とを備えている。変更範囲設定部２３は、遅延部１４が、光路長を第１の変更範囲で段階的に変更した場合に、前記試料を透過または反射した前記電磁波パルスが前記検出部で検出されるときの前記光路長を含む前記光路長の範囲を、第２の変更範囲に設定する、前記遅延部１４は、光路長を変更範囲Ｒ２で段階的に変更する際に、光路長を変更範囲Ｒ１で段階的に変更する場合よりも細かく変更する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し、ウェッジプリズム型試料７の第１面７０１で反射した後に窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束か、または窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し第１面７０１から試料７内部に入射し第２面７０２の裏面で反射した後に第１面７０１を経て試料７外部へ射出し、窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束が、コリメータ部５に戻りコリメータミラー５０２で集光された後にミラースリット５０１のミラー面５０１ａで反射された光束を受信する測定光デテクタ１１と、試料回転ステージ８の回転制御を行い、測定光デテクタ１１からの出力と回転角度検出部８ａで検出された試料回転ステージ８の回転角度との関係に基づき、試料７の屈折率を算出する解析制御部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】広い波長帯域の測定光を用いて縦分解能に優れた断層画像の提供を行う。
【解決手段】光干渉断層装置において、光源から出射された光を参照光と測定光に分割する手段と、分散特性が異なる第一の分散補償手段と第二の分散補償手段と、前記測定光を被測定検体に照射することによる戻り光と、前記第一の分散補償手段及び前記第二の分散補償手段とを透過した前記参照光とを干渉させて干渉光を得る手段と、前記干渉光に基づき、前記被測定検体の断層像を取得する手段と、を有することとする。 （もっと読む）

【課題】好適に接着剤の硬化状態を測定することのできる装置を提供する。
【解決手段】硬化状態測定装置１０は、先端面から光を出射する第２光ファイバ２６と、接着剤３６を保持するプローブ１８であって、第２光ファイバ２６の先端面に接着剤３６が接触した状態で接着剤３６に光を照射するプローブ１８と、第２光ファイバ２６の先端面と接着剤３６との界面で反射した後、第２光ファイバ２６に戻った光を検出する検出器２０と、第２光ファイバ２６の先端面からの出射光量に対する検出器２０での検出光量の割合から、接着剤３６の屈折率を算出するコンピュータ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】様々な種類の液体を適切に検出することが可能であり、かつ組み付け性のよい漏液センサを提供する。
【解決手段】本体部３と、被浸水面との間に一定の隙間を形成する足部９５を有し、前記本体部３に装着される透光性の検出アタッチメント９と、前記足部９５を前記被浸水面に当接させた状態で前記本体部３を前記被浸水面に取り付ける取付具５と、前記取付具５に対して前記本体部３をロックさせるロック部と、を備えた漏液センサ１であって、前記本体部３には、凹状の第一アリ溝７５が設けられる一方、前記取付具５には、前記本体部３の第一アリ溝７５に嵌合して前記ロック部と共に前記本体部３を抜け止めする凸状のアリガタ５４が設けられた構成であり、更に前記検出アタッチメント９には、前記取付具５の前記アリガタ５４に対して嵌合する凹状の第二アリ溝１５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体導入部内に液体を浸入させやすくすることが可能な漏液検出装置を提供する。
【解決手段】基台１２には、ケースの検出側端面と密着する密着面４１と、該密着面４１の裏側部分に凹設された液体導入部Ｇ１とが設けられており、投光素子から出射された光を液体導入部Ｇ１を介して受光素子で受光し、その受光量に基づき液体導入部Ｇ１内における液体の有無を検出する。そして、基台１２には、液体導入部Ｇ１からケース側端面１２ｄまで貫通された空気孔６１が形成され、基台１２のケース側端面１２ｄには、空気孔６１から密着面４１の外縁部４１ａまで延びる溝部６２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】非常に優れた検出感度を有するＳＰＲセンサセルおよびＳＰＲセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のＳＰＲセンサセルは、検知部と、該検知部に隣接するサンプル配置部とを備える。検知部は、アンダークラッド層と、少なくとも一部が該アンダークラッド層に隣接するように設けられたコア層と、コア層を被覆する金属層とを有する。コア層は３５重量％以上のハロゲンを含む。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物を構成する各材料を視覚的に区別できる光学顕微鏡観察用試料の製造方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法であって、複数種の構成材料を含む前記観察対象物の少なくとも１種の材料が変質する温度で前記観察対象物を加熱する加熱工程を実施することにより、前記観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法等を提供する。 （もっと読む）