【課題】検査システムに搭載される金属グレーティング構造体を有するセンサは、半導体製造プロセスが不可欠であり、構造的に開口部から共鳴する入射光が基板に透過するため共鳴度合いに影響を与えており、さらに共鳴度合いの大きいセンサが要望されている。
【解決手段】検査システムは、光電変換素子の受光面上に光を透過するレジスト材料を用いて間隔を空けてストライプ状にパターン形成された表面プラズモンを誘起させるグレーティング構造体と、グレーティング構造体を含み波状に覆い被膜する光が不透過な導電体と、光電変換素子からの電圧信号を出力する出力電極と、で構成された光束の入射角度又は入射位置により出力値を変化するセンサからなるＳＰＲセンサを搭載する。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のバルブ２と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のバルブ８と、前記圧力検出手段４から検出された圧力を変換し前記第二のバルブへ信号を送る制御器７と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】大まかな撮像を行うための低解像度モードと、詳細な画像を得る高解像度モードを備え、特に高解度像モードにおける断層像の撮像を高速化することが可能となる光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】測定光を照射した被検査物からの戻り光と、該測定光に対応する参照光とを合波した光に基づいて前記被検査物の断層画像を取得する光断層画像撮像装置であって、
前記測定光の光束径を変更する光束径変更手段と、
前記合波した光を分光する分光手段と、
前記光束径変更手段により前記測定光の光束径を大きくした場合、前記分光された光の照射される範囲を狭くする範囲変更手段と、
前記範囲変更手段からの光を検出する検出手段と、
を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設されたバルブ２と、前記第二のポンプ９の回転数を制御する制御手段と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】製造を容易化すると共に光学系に依存する光量損失を抑えるのに好適な光走査型プローブを提供すること。
【解決手段】可撓管と、可撓管内に軸中心に回転自在に支持された走査光伝送用の光ファイバと、光ファイバと一体に回転する、該光ファイバからの走査光を発散光束から平行光束もしくは収束光束へ変換する正のパワーを持った対物レンズとを有し、走査光を偏向して被写体に照射する偏向面を対物レンズに設ける。 （もっと読む）

【課題】高速に測定を行うことができるスペクトル計測装置を実現すること。
【解決手段】波長可変光源１０はＥｒドープ超短パルスレーザファイバー１１とＥＯＭ１２と偏波保持シングルモードファイバーを有し、パルス光の強度を変更することで出力される光ソリトンパルスの波長を掃引することができる。波長可変光源１０からの光ソリトンパルスは、櫛歯状分布ファイバー２０によって断熱ソリトンスペクトル圧縮され、スペクトルが狭窄化される。この狭窄化された光ソリトンパルスは試料７０を透過してフォトダイオード４０ａにより受光され、デジタルオシロスコープ５０によって光強度が計測される。この時間波形と、波長可変光源１０での波長掃引との関係から、試料７０の吸収スペクトルを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】測定精度の低下をなく短時間で測定可能なテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ビームスプリッター２と、第１レーザ光よりテラヘルツ波を発するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構１１、第２レーザ光に基づく検出タイミングでテラヘルツ波発振アンテナ５によりテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、テラヘルツ波路中に測定対象物１００を設置し、時間遅延機構１１によりの時間遅延を変化させた時のテラヘルツ波受信アンテナ８での検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づき時間遅延機構１１が与える時間遅延の範囲を所定の範囲に制御する制御部５７と、信号強度データのピーク値に基づき測定対象物１００の特徴を検査する検査部（データ処理部５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴによる干渉像の生成と眼底カメラによる眼底像の生成とを一連の動作として好適に行うことが可能な眼科装置を提供する。
【解決手段】眼科装置は、干渉像生成部と、眼底像生成部と、前眼部像生成部と、解析部とを有する。解析部は、干渉像生成部による信号光の照射前から干渉像生成部による干渉光の検出の終了直後までの間に前眼部像生成部により生成された第１画像と、干渉像生成部による干渉光の検出の終了後であって眼底像生成部による照明光の照射前に前眼部像生成部により生成された第２画像とを解析してずれを求める。 （もっと読む）

【課題】４層以上で構成される赤外線放射素子と比較して、放射効率は維持しながらも薄型化を可能にし、熱容量を低減させて、応答性を向上させ、かつ消費電力を低減させる。
【解決手段】赤外線を放射する板状の赤外線放射体１の周部が支持基板２により支持される。赤外線放射体１は、目的波長の赤外線に対して透明かつ熱絶縁性を有し目的波長の赤外線に対する光路長が当該赤外線の４分の１波長の奇数倍となる厚み寸法に形成された熱絶縁層１１と、熱絶縁層１１の一方の面に形成され通電による温度上昇で赤外線を放射する機能と赤外線を透過させる機能とを有する放射層１２と、熱絶縁層１１の他方の面に形成され目的波長の赤外線を反射する反射層１３とからなる。支持基板２は、放射層１２と反射層１３とを空間に露出させるように熱絶縁層１１の周部を支持する。 （もっと読む）

【課題】分析対象試料に赤外線とＸ線とを同時に透過させて測定することができると共に、装置の小型化を図ることができる赤外透過スペクトル測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線を照射するための赤外線発生器１０と、赤外線発生器１０からの赤外線を分析対象試料３０に向けて反射させる第１反射鏡１１と、分析対象試料３０を透過した赤外線を赤外線検出器１３に向けて反射させる第２反射鏡１２とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置において、分析対象試料３０に照射するためのＸ線発生器２０と、分析対象試料３０を透過したＸ線を受光する小角散乱検出器２１または広角散乱検出器２２のいずれか一方または両方とを備え、Ｘ線を挟んだ一方の側に第１反射鏡１１を配置し、Ｘ線を挟んだ他方の側に第２反射鏡１２を配置した。 （もっと読む）

【課題】 前眼部正面撮影専用の光学系を用いずに、好適に眼の断層像を取得できる。
【解決手段】 光源から出射された光束を測定光と参照光に分割し、被検眼から反射された測定光と参照光との干渉状態を検出器により検出する干渉光学系と、駆動手段を有し、深さ方向の撮影位置を調整するため測定光と参照光との光路長差を変更する光路差変更手段と、検出器からの出力信号に基づいて被検眼像を取得する画像取得手段と、被検眼像を出力するモニタと、撮影位置を虹彩に合わせて被検眼虹彩像をモニタに出力させるため、駆動手段を動作させる第１の調整と、第１の調整後に発せられる駆動指令信号に応答して駆動手段の駆動を制御し、撮影部位を虹彩から所定部位にシフトさせる第２の調整を行う撮影位置調整手段と、を備え、画像取得手段により被検者眼の所定部位の断層像を取得する。 （もっと読む）

【課題】ＩＲに基づく技法を用いて、サンプル中の１つまたは複数の生体分子を定量する方法、そのような方法で用いられるサンプルホルダーデバイスならびにそのようなサンプルホルダーデバイスを製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）サンプルを封じ込めるための、疎水性領域でとり囲まれた親水性領域を含む多孔膜を備えるサンプルホルダーを提供するステップ；（ｂ）膜の親水性領域をサンプル体積と接触させるステップ；（ｃ）膜上の前記サンプル体積を乾燥させるステップ；（ｄ）膜上の前記サンプル体積を４０００−４００ｃｍ−１のスペクトル範囲内の１つの波長または前記スペクトル範囲の任意の部分を含む赤外線ビームに曝露するステップを含み、こうして赤外線吸収スペクトル内の１つまたは複数の吸収ピーク面積が、サンプル中の１つまたは複数の生体分子の量と相関性を有する前記赤外線吸収スペクトルを得る。 （もっと読む）

【課題】被測定物体からの強反射光の影響を低減させて被測定物体の撮影を行うことが可能な干渉光計測装置を提供する。
【解決手段】干渉光計測装置は、低コヒーレンス光を出力する光源を有する。干渉光学系は、光源からの低コヒーレンス光を信号光と参照光とに分割し、被測定物体による信号光の反射光と参照光路を経由した参照光とを重畳させて干渉光を生成して検出する。走査部は、被測定物体に対する信号光の照射位置を走査する。特定部は、信号光の反射光が強反射状態にあるときの走査部による照射位置である強反射位置を特定する。制御部は、強反射位置に対して信号光を再度照射させるときに、光源を制御して低コヒーレンス光の光量を低下させる。 （もっと読む）

【課題】配線の簡単化及び低背化を図る。
【解決手段】発光部３及び受光部４がそれぞれ半導体ベアチップ(発光ダイオードチップ及びフォトダイオードチップ)で構成されるとともに、発光部３から受光部４への赤外線の光路が直線状ではなく折れ線状に変更されている。したがって、パッケージ型の発光ダイオードやフォトダイオードが使用される従来例に比べて、本実施形態は配線の簡単化が図れるという利点がある。また、本実施形態では第１反射鏡80と第２反射鏡81によって赤外線の光路(図１の破線参照)が略コ字形に変更されているので、光路が略Ｖ字形である従来例と比較して、光路長を短縮せずに上下方向の高さ寸法を小型化(低背化)することができる。 （もっと読む）

【課題】撮影する被写体の断層画像を被写体の基準面から深さ方向に容易に調整することができる光干渉断層画像生成装置及び光干渉断層画像生成方法を提供すること。
【解決手段】光干渉断層画像生成装置（１）は、レーザ光を照射する光源１１と、レーザ光を被写体（Ｓ）に照射する計測光と参照ミラー２１に照射する参照光に分配する光分割器（１２）と、被写体（Ｓ）の内部で散乱して戻って来た散乱光を受光するプローブ（３０）と、参照ミラー２１から反射して戻って来た反射光と散乱光とを合成させて干渉光を生成する光合波器（１６）と、を有し、干渉光を解析して光干渉断層画像を生成する。レーザ光は、可干渉距離が１０ｍｍ以上である高コヒーレント光である。プローブ（３０）は、計測光を被写体（Ｓ）に集光させる集光レンズ３４と、集光レンズ３４と被写体（Ｓ）との距離を調整して集光点を調整する集光点調整機構３５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】波長フィルタの入射角依存性に起因した赤外線受光量の減少を抑制する。
【解決手段】第１反射鏡80と第２反射鏡81によって赤外線の光路(図１の破線参照)が略コ字形に変更されている。そのため、波長フィルタ５の赤外線の入射角(波長フィルタ５表面の法線方向との為す角。以下、同じ。)がほぼ零度となっており、従来例に比べて波長フィルタ５の入射角依存性の影響を受け難くすることができる。その結果、波長フィルタ５を通過して受光部４に到達する赤外線量を増やすことができて気体成分の検出精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子に対する太陽光の影響を有効に抑制する。
【解決手段】撮像装置は、指２００から到来する光を受光する複数の受光素子３４を基板３２の面上に形成した受光部３０と、受光部３０と指２００との間に設置されたバンドパスフィルター６４Aと、近赤外光を検査光として指２００に照射する光源とを具備する。バンドパスフィルター６４Aの透過率がピークとなる波長λFと、検査光の強度がピークとなる波長λLとは、近赤外光の波長域ＢL内における太陽光の吸収線の波長と一致する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、存在を検出する対象物質と結びつくことで分子の構造が変化する高分子材料を試料に加えて、高分子材料の分子の構造の変化を検知することで、試料における対象物質の存在を容易に検出できる物質センシング方法及び物質センシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る物質センシング装置は、照射手段（光源３、干渉計４）と、測定手段（検出器５）と、検出手段（コンピュータ６）とを備える。照射手段は、対象物質と結びつくことで分子の構造が変化する高分子材料７を加えた試料２に対してテラヘルツ光を照射する。測定手段は、テラヘルツ光の照射による試料２のテラヘルツ光の吸収スペクトルを測定する。検出手段は、測定手段で測定した吸収スペクトルに基づき試料２における対象物質の存在を検出する。 （もっと読む）

【課題】低濃度から高濃度までの広い範囲でガス濃度を精度良く測定できるガス濃度測定装置。
【解決手段】半導体レーザ1aを有する光源1と、低周波信号を発生する低周波信号発生器11bと、高周波変調信号を発生する高周波信号発生器11cと、低周波発生器からの低周波信号に高周波変調信号を重畳させて光源の駆動電流を発生する光源駆動電流発生器11aと、ガスを封入し且つ半導体レーザからのレーザ光を入射するガスセル5と、ガスセルからのレーザ光を受光する受光素子8とを有するガス濃度測定装置において、半導体レーザを駆動する時に受光素子からの信号に基づき低周波信号に高周波変調信号を重畳させるか否かを判断する判断回路12dと、高周波信号発生器に接続され、判断回路の出力結果に応じてオン／オフするスイッチSW1とを有する。 （もっと読む）

【課題】容易にテラヘルツ波の出射方向を変更することができるテラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置および計測装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波発生装置１は、パルス光を発生する複数の光源３と、前記複数の光源３で発生したパルス光が照射されることによりテラヘルツ波を発生するアンテナ２とを備え、前記アンテナ２は、ギャップ２３を介して対向配置された１対の電極２２を複数有しており、前記複数の光源３の各々は、前記複数の１対の電極２２のうちそれぞれ異なる前記１対の電極２２間に前記パルス光を照射し、前記複数の１対の電極２２のうち少なくとも２つの前記１対の電極２２間に、互いにタイミングをずらしてパルス光を照射するよう構成されている。 （もっと読む）