反射率対光路差の明確なプロファイル（ミラー項の無いＡスキャン）を供給し、正の光路差と負の光路差との間に差を付けるか、又は光路差の選択された間隔で出力を与えるためのスペクトル干渉装置及びスペクトル干渉法が提供される。その装置は、光源からのビームを目標物体（５５）に送出し、物体ビームを生成する物体光学系と、参照ビームを生成する参照光学系とを備える。物体ビーム（４１’）及び参照ビーム（４２’）との間に間隙（ｇ）を生成するための変位手段（５７）が設けられる。回折格子及びプリズムのような光スペクトル分散手段（７）が、２つの相対的に変位したビームを受光し、それらのスペクトル成分をＣＣＤのような読取り素子上に分散させる。変位手段及び光スペクトル分散手段の組み合わせは、物体ビーム及び参照ビームの波列間に固有の光学的遅延を生成し、この固有の光学的遅延を干渉計内の光路差とともに用いて、干渉計内の光路差のためのチャネルドスペクトルを読取り素子上に生成することができる。

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【課題】
【解決手段】ファブリ・ペロー（ＦＰ）可変（波長可変）フィルタ分光計の高分解能、小型、堅牢、および低消費電力といった利点と、ＦＴおよび／または格子／検出器アレイの多チャネル多重化の利点とを兼ね備えた能力を備える分光計。主要な概念は、可変ＦＰフィルタを多次フィルタ条件に設計し、作動させることにある。次いで、このフィルタの後には「低分解能」の固定格子があり、この格子がフィルタ処理されたｎ次の信号を、好ましくは整合Ｎ素子組込み検出器アレイに分散して並列検出する。このシステムのスペクトル分解能は、きわめて高分解能を有するように設計できるＦＰフィルタによって決定される。Ｎ次の並列検出方式によって全積分または走査時間が１／Ｎに短縮され、単一チャネルの可変フィルタ法と同一分解能で同一の信号対雑音比（ＳＮＲ）を達成できる。 （もっと読む）

スペクトル測定システムからのデータのダイナミックレンジを改善可能な方法および装置を提供する。分光器測定を行う際、画像の品質と、ユーザが所望の特徴を区別する能力を改善することができる光源およびスペクトル測定システムを提供する。 （もっと読む）

真空紫外線スペクトラムで動作する分光検査システム（５００）が提供される。特に、該真空紫外線スペクトラムの反射率計測技術を使うシステムが度量衡応用での使用のため提供される。精密で繰り返し可能な測定を保証するために、光路（５０６，５０８）の環境が、該光路内に存在するガスの吸収効果を制限するよう制御される。なお起こる吸収効果の責めを負うために、該光路の長さは最小化される。更に吸収効果の責めを負うために、該反射率データは相対的標準に基準合わせされる。
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本発明の側面は、マイクロ電子フィーチャのアレイの対称性／非対称性を測定するための方法及び機構を提供する。本発明の一実施形態は、マイクロ電子デバイスにおける三次元構造の非対称性を測定する方法を提供する。本方法により、光は、マイクロ電子デバイスのマイクロ電子フィーチャのアレイに向けられる。光は、複数のマイクロ電子フィーチャの全長及び全幅を含むアレイの一部を照射する。アレイから散乱し戻された光は、一又はそれ以上の反射角、一又はそれ以上の波長、或いはそれらの組み合わせから成る群より選択された条件で検出される。本方法はまた、反射の余角からのデータを調べることを含む操作を実行することにより、戻り散乱光の一又はそれ以上の特性を調べることも含む。
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【課題】 レンズ特性（分光透過率特性と絞り特性）の測定と書き込み作業を効率化することのできるレンズ測定機及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 被検レンズ（１１）を装着するマウント部（１）と、光束を発する光源（２）と、被検レンズを介して入射した光束、及び、被検レンズを介さずに入射した光束について、波長毎の光強度を測定する測光手段（３）と、測光出力に基づいて分光透過率を検出する分光透過率検出手段（６ｂ）と、波長毎の光強度とカメラボディ内に設けられた他の測光手段の分光特性とから輝度データを算出する輝度算出手段（６ｃ）と、被検レンズ内の絞りを複数の位置に移動させて輝度データを測定して実効絞り値を検出する実行絞り値検出手段（６ｄ）と、分光透過率と実効絞り値を、被検レンズ内に設けられた記憶手段に記憶させる記憶制御手段（６ｅ）とを具備するレンズ測定機である。 （もっと読む）

ナノ構造の光学素子は、提供される入射放射の少なくとも１つの所定の第１の波長未満の幅を有する複数の開口のアレイを有する金属膜又は複数の金属アイランドを含む。金属膜又は金属アイランドは、入射放射が金属膜又は金属アイランド上の少なくとも１つのプラズモンモードと共鳴するように構成される。
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回折格子結合導波路の検知領域における生物学的物質（例えば、細胞、薬物、化合物）の存在を検出するために用いることができる回折格子結合導波路（１００）及び方法が説明される。回折格子結合導波路は、基板（１１２）、回折格子（１０８）及び屈折率が１.５以下の基板より高い屈折率を有する導波路膜（１０６）を有する。比較的低屈折率の基板が、導波路モードを導波路膜上の検知領域にある生物学的物質に向けてシフトさせ、よってその領域におけるモードのエバネッセントテールの電場強度を高めることにより、回折格子結合導波路の感度を実効的に高める。一実施形態において、回折格子導波路のアレイがマイクロプレートのウエル内に組み込まれる。

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所望の光学特性を有する光ビームを発生し、アレー状に配された試料に照射できる光検査システムおよび方法である。１つの実施の形態において、光学検査システムは光源、回折素子、およびコリメート光学系（例えば、単レンズ、ｆ−θレンズ、分割鏡、ファイバー・アレー）を含んでいる。光源から回折光学系に向けて光ビームが出射され、回折光学系は光ビームを受け、コリメート光学系に向け多数の光ビームを出射する。コリメート光学系は回折光学系から出射された光を受けて調整し、試料アレーに向け所望の光学特性を有する調整済み光ビームを出射する。光学検査システムの別の幾つかの実施の形態も記載されている。
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光源（１０２）がパラメトリック装置（１０６）をポンピングするために用いられるポンピング波（１０４）を発生する。パラメトリック装置（１０６）は縮退点またはその近傍に構成されて、広帯域出力（１０８）を発生する。広帯域出力（１０８）は化学剤（１１２）があるかもしれない遠隔地（１１０）に向けられる。広帯域出力（１０８）は遠隔地（１１０）を通して送波するかまたは遠隔地（１１０）から散乱させることができ、遠隔地（１１０）にある化学剤（１１２）は広帯域出力（１０８）の部分領域を吸収することができる。広帯域出力（１０８）を集光して、分散させて（１１４）、検出器アレイによって検出されるチャネルまたはサブバンドをつくることができる。検出器アレイはサブバンドの強度を多重化して、吸収スペクトルをつくることができる。吸収スペクトルは既知の化学剤のライブラリと比較することができ、遠隔地における化学剤の存在をリアルタイムまたはほぼリアルタイムに判定することができる。

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動脈壁の背後から散乱する光を収集するための分光器は、それぞれ第１及び第２ファイバと光学的に連通した第１及び第２ビーム方向転換器を含む。第１及び第２ビーム方向転換器は、それぞれ第１及び第２領域を照明するように配向されている。第２領域と第１領域との離間距離は、第１ビーム方向転換器と第２ビーム方向転換器との離間距離よりも大きい。
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【課題】 グルコース濃度の測定に際しても対象とする組織の温度を一定とすることで、より高い測定精度を得る。
【解決手段】 近赤外線の受発光間隔を中心間距離０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下に設定した近赤外光受発光手段を有して、該近赤外光受発光手段を生体表面に接触させて表面近傍組織に波長が１０００ｎｍ〜２５００ｎｍの近赤外光を照射するとともに近赤外光の吸収を測定することで生体中のグルコース濃度を測定する装置である。近赤外光受発光手段における生体の表面近傍組織との接触部分の温度を一定とする制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 検出器に導入する光の光量を増やし、Ｓ／Ｎ比を改善する。
【解決手段】 原子化部２をＸ、Ｙ軸方向に移動可能とし、分光器３の入口スリット３１の開口３１ａに対して、グラファイトチューブ２１の発光による円環状結像２１ａの位置を調整できるようにする。実際の分析に先立ち、原子化部２をＸ、Ｙ軸方向にそれぞれ移動させ、検出器４で得られる受光強度信号が最小になる位置を探すことにより、上記開口３１ａが円環状結像２１ａに掛からず、ほぼ内接するように原子化部２の位置を決定する。それにより、測定の妨害となるグラファイトチューブ２１の発光光が検出器４に入ることを抑さえつつ、光源１からの光をより多く検出器４に導入することができる。 （もっと読む）