【課題】光ファイバを経由して入射される試料からの光を、分光器を用いて受光し試料の分光偏光パラメータを計測する分光偏光計測装置において、光ファイバの曲げ状態の変化による計測値への影響を除去し、計測を安定化させる。
【解決手段】分光器２０を用いて試料３０の分光偏光パラメータを計測する分光偏光計測装置１０は、試料３０からの光を受光する受光光学系５２を含む。受光光学系５２は検光子１６等で受光した光を分光器２０に送る光ファイバ１８と、光ファイバ１８の直前に設けられ、試料からの光を分散させる拡散板１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ用光プローブにおいて、シース交換時のシース長の調整を可能とし、且つシース交換後の十分な水密性の再現を実現させる。
【解決手段】光ファイバ１２挿通される配管具５１の外周中央にシール部材５２を装着する。配管具５１の一端の圧入部５５をシース１１の基端に圧入し、他端の挿入部５６を本体２０の略円筒状の取付孔３１に所望位置まで挿入する。保持具５３の開口部５８にシース１１の先端を挿入させることにより、シール部材５２を保持具５３と本体２０との間で挟持する。 （もっと読む）

【課題】入力電力に対する応答速度が速く且つ赤外線の出力の高出力化が可能な赤外線放射素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板からなる半導体基板１の一表面側に形成されたＩｒ膜からなるヒータ層３と、半導体基板１の上記一表面側で半導体基板１とヒータ層３との間に形成された多孔質シリコン層からなる多孔質部２とを備え、ヒータ層３へ電力を与えることによりヒータ層３から赤外線が放射される赤外線放射素子であり、半導体基板１と多孔質部２との界面がヒータ層３から多孔質部２側へ放射された赤外線を反射する凹曲面状の赤外線反射ミラー６を構成している。 （もっと読む）

【課題】試料の測定精度を向上し得るテラヘルツ分光装置を提案する。
【解決手段】テラヘルツ波発生素子と、楕円鏡と、テラヘルツ波発生素子で発生したテラヘルツ波を、楕円鏡がもつ第１焦点の焦点面に対して斜め方向から照射する光学レンズと、楕円鏡がもつ第２焦点に配置されたテラヘルツ波検出素子とを含むテラヘルツ分光装置とした。 （もっと読む）

【課題】入力電力に対する応答速度が速く且つ赤外線の出力の高出力化が可能な赤外線放射素子を提供する。
【解決手段】半導体基板１の一表面側に形成された凹所２の周部の複数箇所（２箇所）の間に架け渡された絶縁膜からなる梁部６にヒータ層３が設けられており、ヒータ層３へ電力を与えることによりヒータ層３から赤外線が放射される赤外線放射素子であり、凹所２が、半導体基板１の上記一表面側の一部を陽極酸化することにより形成した多孔質部１３を除去することに形成され、凹所２の内面がヒータ層３から放射された赤外線を所望の赤外線取出し方向へ反射する凹面ミラー２ａを構成している。 （もっと読む）

【課題】被検体内に挿入されるＯＣＴ用光プローブにおいて、プローブのロータリージョイントでの光挿入損失および光反射損失による測定精度の劣化の低減を、安価且つ安全に実現する。
【解決手段】
略円筒形のシース１１内の長手方向に光ファイバ１２を配置し、軸支部１４を光ファイバ１２の先端近傍で一体的に固定する。光ファイバ１２から出射した光Ｌ１を、先端光学系１５により被検体に向けて偏向させる。先端光学系１５を軸支部１４に対して回転自在に軸支させる保持部１６を、シース１１内で光ファイバ１２を被覆する可撓性シャフト１３の先端に固定する。 （もっと読む）

【課題】 検査環境などの変化にも対応し得る、汎用性の高い新規な検査装置を提供する。
【解決手段】 テラヘルツ波検出部１０４と、前記テラヘルツ波検出部で取得される信号を用いて、テラヘルツ波に関する第１の応答信号を成形する波形成形部１０５と、第１の測定条件を取得する測定条件取得部１０８と、測定条件に対応した第２の応答信号を記憶している応答信号記憶部１０９と、前記第２の応答信号を、前記応答信号記憶部から選択する選択部１１０と、前記第２の応答信号による逆畳込み演算を、前記第１の応答信号に対して行う信号処理部１０６とを有する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の伝搬状態、特に周波数特性を調整することができるテラヘルツ波を発生或は検出するための光伝導素子を提供することである。
【解決手段】キャリア発生層2801と、電極部2802と、アンテナ部2804と、キャリアから発生されるテラヘルツ波或はキャリアが検出するテラヘルツ波の伝搬状態を調整するための2つの調整スタブ2806と、を有する。2つの調整スタブ2806は、キャリアから発生されるテラヘルツ波の波長λ以下の長さを有する導体である。2つの調整スタブ2806は、電極部2802の長手方向の延長線上に接続される。調整スタブの端部2807は、アンテナ部2804と電極部2802との接続部分2808から波長λ以内の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】ｐＨ指示薬の劣化に基づく測定精度の低下を補正することができる水中の二酸化炭素濃度測定装置を提供する。
【解決手段】二酸化炭素濃度測定装置１は、等吸収点吸光度Ａ₀の変化率ΔＡ₀を測定し、変化率ΔＡ₀が予め定めた低下率以上低下すると、ｐＨ指示薬溶液が劣化したものと判定する劣化判定部３１を備える。ｐＨ値演算部２７は、劣化判定部３１がｐＨ指示薬溶液の劣化を判定した後は、等吸収点吸光度Ａ₀の変化率ΔＡ₀を用いて劣化分を補正する補正ｐＨ演算式を用いてｐＨ指示薬溶液のｐＨ値を演算する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の複屈折を、露光装置上で短時間、且つ、高精度に測定することができる露光装置を提供する。
【解決手段】第１のステージに保持されたレチクルのパターンを第２のステージに保持された基板に投影する投影光学系を備える露光装置であって、前記投影光学系を通過した光を撮像素子に入射させる結像光学系を含み、前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定する測定部と、前記測定部の校正時において、前記結像光学系の複屈折を測定するために前記投影光学系の物体面側に配置され、前記測定部からの光を反射して前記投影光学系を介さずに前記測定部に戻す校正部と、前記測定部によって前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定した結果から前記投影光学系の物体面側に前記校正部を配置して前記測定部によって測定した前記結像光学系の複屈折を分離して、前記投影光学系の複屈折を算出する算出部と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 構造をシンプルにすることで容易に小型化ができ、かつ低コストである、複数のガス成分を同時に測定可能な赤外線検知式ガス分析装置を提供する。
【解決手段】
複数のガス成分の分析に用いられる赤外線検知式ガス分析装置であって、赤外線を放出する光源と、該赤外線の受光により電気信号を発生する検出素子とを有し、該光源と該検出素子との間に、前記赤外線を波長に応じて分波する分波素子と、被測定ガスを流入させ前記赤外線を該被測定ガス中に透過させるための測定セルとを有している。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光を照射した同時刻のイベントの分光測定を行うテラヘルツ波電子線分光測定方法および装置を提供する。
【解決手段】マルチバンチの相対論的電子ビームが射出する長波長のコヒーレント放射光を集光して試料に照射し、前記試料を透過した透過光もしくは前記試料で反射した反射光を再び集光して次ぎ以降の電子バンチと正面衝突するように制御した状態で、逆コンプトン散乱によって生じた散乱光のスペクトルを測定し、前記光のスペクトルに基づいてテラヘルツ帯付近の波長の吸収もしくは反射スペクトルを測定する。 （もっと読む）

【課題】 インライン構造を保持しつつ従来に比べて物理的に細くできる手段を講じ、カテーテルの一部あるいは検査用カテーテルの全体として使用するのに適し、しかも、出射光の広がり角度を大きくすることができる光ファイバ内視生体検査装置を提供する。
【解決手段】外装パイプ２は、軸の軸方向に並行な中空孔３を有する。光ファイバ４は中空孔３内に設置されている。光反射部材９は、中空孔３内に光ファイバ４の先端と間隔を空けて設けられている。光反射部材９は、光ファイバ４の先端と対向する部位に光反射面となる先端面７が形成されている。外装パイプ２は透光性の材料で形成され、中空孔３内から先端面７で反射した光を出射させ、生体組織で反射した当該光の戻り光を入射させる。 （もっと読む）

【課題】固体試料又は気体試料に対して分析用レーザー光を照射する分光分析を改良する。
【解決手段】固体試料に対して分析用レーザー光を照射する分光分析のための試料ステージであって、試料ステージ１１１上に配置される固体試料１の分析される面に対して平行に、固体試料を運動させる平行運動機構を有する、試料ステージ；固体試料に対して分析用レーザー光を照射する分光分析のための固体試料冷却装置であって、試料の一部である測定対象箇所に向けて、冷媒を噴射して供給する、固体試料冷却装置；固体試料に対して分析用レーザー光を照射する分光分析のための試料ステージであって、第１の材料で作られている基材上に、第２の材料で作られている複数の分析領域が間隔を空けて配置されており、且つ第２の材料の熱伝導率が、第１材料の熱伝導率よりも大きい、試料ステージ等とする。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な計測装置により、容易にかつ迅速に水溶液中の重水濃度を計測できる重水濃度の計測方法と、それを用いた重水濃度の計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】７００〜１０５０ｎｍの波長範囲において軽水と重水の吸光度に顕著な差が存在し、この吸光度の差は、重水濃度に比例することが分かった。また、７００ｎｍ以下の波長範囲では、軽水と重水の吸光度にほとんど差が無いことを見出した。そこで７００〜１０５０ｎｍの波長範囲の所定の波長域の光を用いて重水を含む水溶液の吸光度を計測することにより重水濃度を計測可能であり、特に、９００〜１０００ｎｍの波長範囲の吸光度の計測により精度良く重水濃度を計測可能である。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの検査方法において、ナノインプリントのプロセス管理を目的とした場合には、パターンの正確な形状を計測する必要があり、製品の品質管理が目的の場合には、製品全数を検査する必要があるが、ＳＥＭやＡＦＭを用いた方法では、これらの要求を満たすことができない。
【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。 （もっと読む）

【課題】光学部の構成を簡単にすると共に厳密な光軸調整も不要にする。
【解決手段】鏡面冷却式露点計は、被測定気体に晒される楕円球面反射鏡１２と、楕円球面反射鏡１２を冷却するペルチェ素子１０と、楕円球面反射鏡１２に対してレーザ光を照射するレーザダイオード１と、楕円球面反射鏡１２からの反射光を受光するフォトダイオード２と、楕円球面反射鏡１２の温度を測定する温度センサ９と、反射光の強度に基づいて楕円球面反射鏡１２の結露を検出し、結露を検出したときに温度センサ９によって測定された温度を被測定気体の露点温度とする検知手段とを有する。レーザダイオード１は、出射面が楕円球面反射鏡１２の一方の焦点に位置するように配設され、フォトダイオード２は、入射面が楕円球面反射鏡１２の他方の焦点に位置するように配設される。 （もっと読む）

テラヘルツ時間領域スペクトロメータ走査型センサシステムは、可動式スキャナヘッドに固定された送信機及び受信機を含む。スキャナヘッドから遠隔に配置された静止レーザから発射される短パルスの形態の光ポンプ光は、関連した光ファイバ送信である時間パルス中継の変動が最小化されるように、制御された光ファイバケーブル配置を通って送信機及び受信機へ配信される。このようにして、光のパルスが光ファイバケーブルを通って送信されている時に、ケーブルの曲げを制御し、したがって、そうしなければ生じる可能性がある時間遅延の変動を最小化するために、光ファイバケーブルの移動は、規定された経路に沿って操作される。レーザから光ファイバ内に発射されたレーザ光のパルスは、一貫した（ｉ）到達時間、（ｉｉ）位相持続時間、並びに（ｉｉｉ）偏光状態及びエネルギーでケーブルを出る。
（もっと読む）

【課題】従来技術とは異なる手法によってテラヘルツ時間領域分光法を行い、テラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得するための装置の提供。
【解決手段】テラヘルツ波が発生部11で発生してから、このテラヘルツ波の波形情報として検出部12で検出されるまでの時間を変えるための遅延部14を有する。遅延部14は、発生部11により発生したテラヘルツ波の伝播距離を変えるように構成される。発生部11により発生したテラヘルツ波ごとに、検出部12で検出されたテラヘルツ波の波形情報と伝播距離とを関連付ける。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても高精度の測定を行うことができるテラヘルツ分光装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１からのパルス光Ｐ１をポンプ光Ｐ２とプローブ光Ｐ３とに分割するビームスプリッタ２と、パルス光Ｐ１の照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ光発生器３と、テラヘルツ波を検出するテラヘルツ光検出器９と、テラヘルツ光発生器３及びテラヘルツ光検出器９の少なくとも一方の近傍に設けられ、テラヘルツ波の利用効率を向上させるレンズ４，８とを備えているテラヘルツ分光装置において、周囲温度の変化によるシリコンレンズ４，８の屈折率の変化に応じてプローブ光Ｐ３の光路長を変える光路長補正部材１１をプローブ光Ｐ３の光路中に配置した。 （もっと読む）