【課題】分光エリプソメータにおいて、高精度なフォーカス調整を実現する。
【解決手段】分光エリプソメータ１では、光源３１からの光が、照明部３の光学系を介して基板９の測定面９１へと傾斜しつつ入射し、受光部４の光学系を介して受光デバイス４２２へと導かれ、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の分光強度に基づいて偏光解析が行われる。また、分光エリプソメータ１のフォーカス調整では、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の所定の波長帯の合計光量に基づいて測定面９１のフォーカス位置が求められる。このように、分光エリプソメータ１では、偏光解析に利用される光学系とフォーカス調整に利用される光学系とを共通とすることにより、温度変化等による光学系の変化の影響を排除し、より高精度なフォーカス調整を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】より正確にレファレンス値（基準値）を算出した上で、より誤差の少ない測定結果を出力することが可能な溶液特性測定装置および溶液特性測定方法を提供する。
【解決手段】駆動機構７０は、サンプル台７２を駆動することによって、エミッタユニット２８からのテラヘルツ波Ｔ１の伝搬経路上に、第１サンプル容器および複数の第２サンプル容器のうち１つのサンプル容器を選択的に配置する。アンテナユニット５８は、サンプル容器を透過した後のテラヘルツ波Ｔ２を受信する。第１サンプル容器はサンプルを収容しており、複数の第２サンプル容器は溶媒を収容している。複数の第２サンプル容器のセルギャップは、テラヘルツ波Ｔ１の伝搬経路に沿った厚みが互いに異なるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な構成によって、より適切な周波数スペクトルをもつテラヘルツ波を発生することができる測定装置を提供する。
【解決手段】第１テラヘルツ波発生源２０は、パルス光Ｌ５（波長：７８０ｎｍ）を受けてテラヘルツ波Ｔ１を発生し、第２テラヘルツ波発生源３０は、パルス光Ｌ２（波長：１．５６μｍ）を受けてテラヘルツ波Ｔ２を発生する。検出部４０は、パルス光Ｌ５およびＬ２と共通のパルス光光源１０で発生したパルス光Ｌ６に応答して、測定対象ＯＢＪを透過した後のテラヘルツ波Ｔ１，Ｔ２の強度に応じた測定信号を出力する。 （もっと読む）

分光光度計で得られる光学スペクトルの信号対ノイズ比を増加させる。干渉計は、光源ビームに干渉効果を導入する。二重ビーム構成は、干渉効果を有する光源ビームをリファレンスビームとサンプルビームに分岐する。リファレンスビームは、リファレンス物質と相互作用して、リファレンス検出器によって検出される。サンプルビームは、サンプル物質と相互作用して、サンプル検出器によって検出される。サンプルの光学スペクトルは、検出されたリファレンスビームと検出されたサンプルビームとの差分に基づいている。
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【課題】
本発明は実時間工程診断ができる分光分析器に関するものであって、より詳細には、反応器に収容される反応副産物または反応物にビームを入射しかつ出射される出射ビームを測定することにより、反応副産物または反応物の定量及び定性分析ができるようにする実時間工程診断ができる分光分析器を提供する。
【解決手段】
本発明はビームが入射される入射窓と、前記入射窓に入射されたビームが入射されて反応副産物または反応物の実時間工程診断ができるように反応副産物または反応物を一時収容する収容部と、前記収容部内から入射されたビームが反応副産物または反応物によって屈折及び散乱されて出射される出射窓と、前記収容部内部に装着されて前記入射窓に入射されたビームが前記収容部内部を少なくとも１回以上往復するように反射して前記出射窓に出射させる反射ミラーを含み、内部が真空状態となる反応器；前記反応器から出射されたビームを検出する検出器；検出されたビームの強度を用いて試料の定性及び定量を分析する分析器；とを含めてなることを特徴とする実時間工程診断ができる分光分析器を提供する。 （もっと読む）

【課題】構造が単純となり、耐用年数が伸び、検査精度が向上して、オンライン検査にも使用できる長光路大気監視測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、開放式または閉鎖式の長光路大気監視測定装置であり、この装置は光学発生部と信号処理部が含まれる。光学発生部は、投光器、受光器および複数個の凹面鏡またはプリズムが含まれる。これら凹面鏡またはプリズムは、投光器と受光器の間の必要な光学距離を形成する。信号処理部は、光ファイバー２１、分光器２２、スキャナー２３、光検出素子２４、コンピュータ２５が含まれ、これらは順次接続される。光ファイバー２１の入力端子は、受光器に接続される。 （もっと読む）

【課題】ダブルパス配置のATR装置において、共鳴幅が広がるのを抑えて、高精度の検知を可能とする。
【解決手段】
検知装置は、光源400と、観測対象が隣接して保持される金属膜407aと、プリズムと、反射部材である凹面鏡408と、検出器413と、を備えている。凹面鏡408は、光源400より出射され金属膜407aによって反射された光を反射させ、当該光を再び金属膜407aに入射させる。プリズムは、金属膜407aが設けられる平面と、金属膜407aに入射する光を平行化させる曲面と、を有している。検出器413は、金属膜407aにより再び反射された光を検出し、金属膜407aに生ずる表面プラズモンを用いて観測対象の光学的特性の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】
透過率測定において、凸凹様々な曲率を有するレンズを高精度に測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】
測定光が光検出手段に到達する光路中に、被検レンズを介在させて測定光を通過させた場合と、被検レンズを介在させない場合の光検出強度を計測し、その対比により被検レンズの透過率を算出する手段であって、被検レンズを光路中に介在させた場合と介在させない場合の、被検レンズの形状、材質、光路中の位置、測定波長による光束の収束又は発散に起因する測定誤差分を予め測定しておき、測定値を補正する。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモン共鳴、または局在表面プラズモン共鳴を用いたセンシングの精度を向上させる。
【解決手段】光源101からのコリメートされた出力光を、放物面鏡104を介してプラズモン素子105上に集光し、プラズモン素子105からの反射光を、放物面鏡104によって再びコリメートする。放物面鏡104からの、コリメートされた光を、プラズモン素子105への入射面に平行なスリット106と、スリット106に垂直な方向に分散を与える回折格子107によって処理し、２次元検出器108で検出する。２次元検出器108で検出される像では、入射面に平行な方向に、プラズモン素子105の反射光の、プラズモン素子105への入射光の波数に対する依存性が現れ、入射面に垂直な方向に周波数に対する依存性が現れ、これを、ベクトル的に解析する。 （もっと読む）

【課題】高速に汗蒸気中のアルコール濃度検出が可能な高精度飲酒検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ハンドル１３の一部に配され、掌の汗蒸気を取り込む汗蒸気導入口１５と、汗蒸気導入口１５に配した透湿膜１７と、透湿膜１７の表面に設けた一対の接触検出電極と、汗蒸気導入口１５に吸気側を接続したポンプ２５と、汗蒸気導入口１５の奥部に設けた第１、第２アルコールセンサ１９、２０と、接触検出電極、ポンプ２５、および第１、第２アルコールセンサ１９、２０が接続された制御回路とからなり、制御回路は接触検出電極間の抵抗値が既定抵抗値の範囲内の時にのみポンプ２５で汗蒸気を吸引して気化させ、その時の第１、第２アルコールセンサ１９、２０の出力が飲酒規制値以上であれば運転者が飲酒していると判断するようにしたので、高速、かつ高精度に運転者の飲酒を判断できる。 （もっと読む）

本発明は、散乱光を測定するための装置に関し、装置は、試料に焦点を合わせることのできる電磁放射を備えた少なくとも一つの集束要素と、検出器と、試料により散乱された電磁放射を検出器に導くことができる検出器光学システムを備える。装置は、環状ビームを形成する手段を備え、その環状ビームは、少なくとも一つの集束要素によって試料内の焦点に焦点を合わせることができる。試料により散乱された電磁放射は、環状ビームに囲まれた領域内で拡散し、検出光学システムにより検出することができる。
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【課題】 テラヘルツ電磁波が全反射するプリズムと試料界面の近傍に存在する試料のスペクトル測定が可能であり、またテラヘルツ領域における試料の複素屈折率を測定することも可能であるテラヘルツ分光手法および装置を提供すること。
【解決手段】 テラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置は、テラヘルツ電磁波が全反射する際に生じるテラヘルツ周波数を有する表面波（エバネッセント波）を利用する。装置はポンプビーム及び信号ビームの２つの励起レーザをテラヘルツ電磁波発生用光学結晶へ入射しテラヘルツ電磁波を発生するテラヘルツ電磁波光源部と、テラヘルツ電磁波を入射してエバネッセント波を発生するためのプリズムとを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】緊急な測定が可能な医用光度計を提供することにある。
【解決手段】凹面回折格子８により、光源１からの光から単色光を分光する。凹面回折格子８により分光された単色光は、フローセル１４内の試料に照射され、通過した光は検知器１５により受光される。制御演算手段１３は、受光検出された信号に基づいて試料成分を分析する。ここで、光源１としては、異なるピーク発光波長を有する複数のＬＥＤ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆを用いている。制御演算手段１３は、異なるピーク発光波長を有する複数のＬＥＤの内、測定波長に近接する波長のＬＥＤを発光させ、他のＬＥＤを消灯するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の解決すべき課題はリニアアレイ型検出器を用いたマッピング測定装置において、各検出素子間の特性の相違を解消することにある。
【解決手段】 直交軸Ｘ，Ｙで規定される試料表面上の所定領域５０の試料情報を、Ｘ方向に配列された複数個Ｎの検出素子１８Ａ〜１８Ｊを有したリニアアレイ型検出器１８をＹ方向に走査することにより取得するマッピング測定装置１０において、
測定領域の各測定点（１，１）〜（８，８）に対し、前記検出器１８の少なくとも複数の素子で測定を行い、その平均値を得ることを特徴とするマッピング測定装置。 （もっと読む）

【課題】光学特性の測定精度を向上させるとともに、被測定物に対する焦点合わせをより容易に行なうことのできる光学特性測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】測定用光源１０は、被測定物の光学特性の測定に用いられる測定光を生成し、測定光は被測定物の光学特性の測定範囲の波長を含む。観察用光源２２は、被測定物への焦点合わせや測定位置の確認に使用される観察光を生成し、観察光は被測定物での反射可能な波長を含むように選択される。このように測定光と観察光とをそれぞれ独立に共通の対物レンズ４０を介して被測定物に照射することにより、光学特性の測定精度の向上と被測定物に対する焦点合わせの容易化とを同時に実現する。 （もっと読む）

【課題】濁度と色度を検出する部分の光学系の構造とランプ光量変動の補正手段を有する濁色度計を実現する。
【解決手段】透明容器中の微粒子を含む測定液に光を照射する光照射手段と、前記測定液を透過した光の濁度に関する光量を測定する第１光検出器と、前記微粒子によって散乱した光の濁度に関する光量を測定する第２光検出器と、前記測定液を透過した光の色度に関する光量を測定する第３光検出器とを具備する濁色度計において、前記第１光検出器の測定時の検出光量を第１光検出器の所定時前の検出光量で除した第１の比率と、前記第２光検出器の測定時の検出光量を第２光検出器の前記所定時前の検出光量で除した第２の比率とが同じ割合で変動した場合に、前記第１の比率を用いて、前記第３光検出器の検出信号の光源の電源電圧変動による誤差を補正する光源電源電圧変動誤差補正手段を具備したことを特徴とする濁色度計である。 （もっと読む）

【課題】非接触、非破壊で、文化財を移動させることなく、文化財の材料の化学的性質を検査、分析すること。
【解決手段】文化財の被検査部を可視像で撮影する可視像撮像装置（２６）と、前記可視像撮影装置（２６）で撮影される前記被検査部に照射されるレーザー光を発生するレーザー光源と、前記被検査部から反射された散乱光を分光する分光部（１８）と、前記分光部（１８）で分光された特定の波長の光に基づいてラマンイメージ画像を撮像するラマンイメージ撮像装置（２２）と、を有する分光分析装置（４）と、前記可視像撮像装置（２６）で撮像された前記被検査部の可視像と、前記被検査部のラマンイメージ画像とを対応づけて記憶する画像記憶手段と、を備えた文化財検査装置（１）。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて基板の傾斜角を測定するとともに小型化する。
【解決手段】分光エリプソメータ１の照明部３は測定用光源部３１および補助光源部３４を有し、補助光源部３４からの補助光は測定用光源部３１からの光と共にポーラライザ３２を介して基板９上へと導かれる。基板９にて反射された補助光はアナライザ４１を介して遮光パターン撮像部４４にて受光され、遮光パターンの像が取得される。演算部５では、遮光パターンの像に基づいて基板９の傾斜角が求められ、傾斜角を利用しつつ偏光解析が行われる。分光エリプソメータ１では、基板９の傾斜角を測定するための光学系の一部と、偏光状態を取得するための光学系の一部とが共有されるため、小型化可能とされる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、複数の検出素子に対する検査を連続して行うことを可能とする。
【解決手段】液状検体が置かれるセンサ部位２１１と、検出光を偏向させてセンサ部位２１１に検出光を照射させるプリズム２０２とを有する検出素子１０１を用い、プラズモン共鳴を利用して液状検体を検査する検査装置である。検出光を出射する光源１０５と、センサ部位２１１によって反射された検出光を受光してその強度を検出する受光素子１１１と、検出素子１１１をプリズム２０２に入射する検出光の光軸に対して直交する方向に移動させるリニアガイド１０３とを有する。そして、リニアガイド１０３によって検出素子１０１を移動させて、プリズム２０２への検出光の入射位置を変化させることによって、センサ部位２１１への検出光の照射角度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】碍子型避雷器の内部に液体が侵入したか否かを検出できる碍子型避雷器の吸湿検出方法、碍子型避雷器の吸湿劣化検出方法、および碍子型避雷器の吸湿検出装置を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とし残部が不可避的不純物からなる酸化亜鉛素子１０１と、酸化亜鉛素子１０１を内部に収容し碍子からなる碍子管１０２とを含む碍子型避雷器１００の吸湿検出方法である。まず、碍子型避雷器１００の外表面にテラヘルツ波を放射する放射工程を実施する。そして、酸化亜鉛素子１０１から反射されるテラヘルツ波を受信する受信工程を実施する。そして、テラヘルツ波受信工程で受信されたテラヘルツ波の波形を検出する検出工程を実施する。そして、検出工程で検出された波形と、正常状態の波形とを比較して分析することによって、内部の吸湿状態を検査する検査工程を実施する。 （もっと読む）