【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し、ウェッジプリズム型試料７の第１面７０１で反射した後に窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束か、または窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し第１面７０１から試料７内部に入射し第２面７０２の裏面で反射した後に第１面７０１を経て試料７外部へ射出し、窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束が、コリメータ部５に戻りコリメータミラー５０２で集光された後にミラースリット５０１のミラー面５０１ａで反射された光束を受信する測定光デテクタ１１と、試料回転ステージ８の回転制御を行い、測定光デテクタ１１からの出力と回転角度検出部８ａで検出された試料回転ステージ８の回転角度との関係に基づき、試料７の屈折率を算出する解析制御部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供する。
【解決手段】サンプル５にテラヘルツ波１０１を照射する照射手段１０と、複数のマイクロミラー７を有し、マイクロミラー７のそれぞれがサンプル５からのテラヘルツ波１０３を反射するマイクロミラーアレイ６と、単一の受光素子から構成され、マイクロミラーアレイ６からのテラヘルツ波１０５を検出して電気信号に変換する検出手段２０と、電気信号を処理して、サンプル５のイメージング画像を得る画像処理部７２と、複数のマイクロミラー７を制御する制御部７１を備える。複数のマイクロミラー７は、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能である。制御部７１は、傾斜角度を変えるマイクロミラー７を特定するための走査アドレス情報７１ａを保持し、マイクロミラー７のそれぞれの傾斜角度を変える。 （もっと読む）

【課題】有毒な化学物質を求めて周囲空気を監視する分光検出システムを提供する。
【解決手段】このシステムは、１０億分の１（ｐｐｂ）以下のレベルの、様々な神経ガスおよびびらん剤、ならびに有毒工業用化学製品を含む広範囲の化学成分を検出しかつ識別し、小型で携帯型の複数気体分析器とすることができる。このシステムは、誤警報（たとえば、偽陽性または偽陰性）を最小限にし、高い特定性を特徴とし、適用分野に応じて、数秒〜数分程度の応答時間で動作することができる。システムは、フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）分光計１０、気体試料セル２２、検出器３０、埋込み式処理装置３４、表示装置３８、電源、空気ポンプ、加熱要素、および他の構成部品が、試料を収集するための空気取入れ口と、外部装置と接続して機能するための電子通信開口とを備えるユニットに搭載された、完全に内蔵式の分析器とすることができる。 （もっと読む）

【課題】
複合混合物に含まれる検体を迅速かつ正確に特定し、そして定量化する装置及び方法が開示される。
【解決手段】
本装置は、データ収集／分析装置に接続される超高感度キャビティ増幅分光計を備える。本方法では、種々の検体の吸収率断面積を含むデータベースを使用して、サンプルの組成を数値的に特定する。 （もっと読む）

【課題】波面の分解能を改善した波面測定装置の提供。
【解決手段】電磁波パルス１の電場強度に関する信号を検出する検出部３と、電磁波パルスの伝搬経路として第一の伝搬経路と前記第一の伝搬経路と異なる領域に前記第一の伝搬経路と異なる長さの第二の伝搬経路とを備えるように前記検出部に到達する電磁波パルスを遅延させる遅延光学部と、前記検出部により検出された電場強度に関する信号を用いて電磁波パルスの時間波形を構成する波形構成部４ａと、前記電磁波パルスの時間波形と前記遅延光学部における前記第一、前記第二の伝搬経路の長さに関する情報とに基づき電磁波パルスの波面を取得する波面取得部４ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単な非分散型赤外ガスセンサを提供する。
【解決手段】１つの光源２と、光源を取り囲み、光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部１４と、それぞれ異なる位置に配置され、反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部６と、を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、光源を頂点とし、複数の赤外線検出部を結んで形成される仮想円Ｃを底面とした仮想円錐が形成されるように、光源及び赤外線検出部が配置されており、凹曲面は、仮想円の外周上に設定される第１焦点Ｆ_１と、光源を第２焦点Ｆ_２とする楕円体を、第１焦点と第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体ＥＬ_１、ＥＬ_２であって、第１焦点を仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される。 （もっと読む）

【課題】 測定精度を向上させることができる分光光度計を提供すること。
【解決手段】 試料セル６と、試料セル６に測定光を出射する光源部５０と、試料セル６を通過した測定光を検出する光検出器１２と、光源部５０からの測定光が光検出器１２に一定周期で入射しないようにする遮光部４１と、遮光部４１で遮光された遮光期間と、光検出器１２で得られた出力強度信号とを対応付けて記憶する記憶部２３４と、記憶部２３４に記憶された入射期間の出力強度信号Ｓと遮光期間の出力強度信号ＤＳとに基づいて、透過率又は吸光度を算出する制御部２３１とを備え、一周期として入射期間と遮光期間とをこの順で実行する分光光度計２６０であって、制御部２３１は、第Ｎ周期の入射期間の出力強度信号Ｓ_Ｎに含まれる第（Ｎ−１）周期の入射期間の出力強度信号Ｓ_Ｎ−１の影響を除去した第Ｎ周期の真出力強度信号ｓ_Ｎを算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ電磁波の検出または発生が効率良く行われ、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置を提供する。
【解決手段】基板３と、基板３上に積層された半導体積層群５と、を備え、半導体積層群５は、第１化合物半導体層５１と、第１化合物半導体層５１上に、第１化合物半導体層５１と屈折率が異なると共に励起光の表面反射を低減できる層厚で成長させた第２化合物半導体層５２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】キャリア寿命を短縮（制御）することで、テラヘルツ電磁波の発生または検出を効率良く行うことのできる光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の電磁波発生検出装置１は、基板３と、基板３上に成長させたバッファ層４と、バッファ層４上に成長させた半導体層５と、を備え、半導体層５は、光電効果が生じる領域内に転位を有した光伝導基板２を備え、半導体層５上に形成されたアンテナ６を備えている。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を用いた試料測定方法を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。 （もっと読む）

【課題】分析対象試料に赤外線とＸ線とを同時に透過させて測定することができると共に、装置の小型化を図ることができる赤外透過スペクトル測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線を照射するための赤外線発生器１０と、赤外線発生器１０からの赤外線を分析対象試料３０に向けて反射させる第１反射鏡１１と、分析対象試料３０を透過した赤外線を赤外線検出器１３に向けて反射させる第２反射鏡１２とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置において、分析対象試料３０に照射するためのＸ線発生器２０と、分析対象試料３０を透過したＸ線を受光する小角散乱検出器２１または広角散乱検出器２２のいずれか一方または両方とを備え、Ｘ線を挟んだ一方の側に第１反射鏡１１を配置し、Ｘ線を挟んだ他方の側に第２反射鏡１２を配置した。 （もっと読む）

【課題】測定精度の低下をなく短時間で測定可能なテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ビームスプリッター２と、第１レーザ光よりテラヘルツ波を発するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構１１、第２レーザ光に基づく検出タイミングでテラヘルツ波発振アンテナ５によりテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、テラヘルツ波路中に測定対象物１００を設置し、時間遅延機構１１によりの時間遅延を変化させた時のテラヘルツ波受信アンテナ８での検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づき時間遅延機構１１が与える時間遅延の範囲を所定の範囲に制御する制御部５７と、信号強度データのピーク値に基づき測定対象物１００の特徴を検査する検査部（データ処理部５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】目的成分の検出に最適な波長を決定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】所定波長の光を励起光として試料に照射し該励起光の照射を受けて試料が発する蛍光のうち所定波長の光を検出する蛍光測定装置において、目的成分を含まない溶媒を前記試料とし、励起波長（又は蛍光波長）を所定の範囲で走査して得られた第１の蛍光スペクトルと、目的成分を含む溶媒を前記試料とし、励起波長（又は蛍光波長）を所定の範囲で走査して得られた第２の蛍光スペクトルとを記憶する記憶手段７３と、第１の蛍光スペクトルと第２の蛍光スペクトルに基づいて各波長における目的成分の蛍光強度値を求めると共に、第１の蛍光スペクトルから各波長における溶媒由来のノイズ量の推定値を求め、前記目的成分の蛍光強度値とノイズ量の推定値の比から各波長における推定ＳＮ比等の感度指標を求める最適波長決定部７７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】波長フィルタの入射角依存性に起因した赤外線受光量の減少を抑制する。
【解決手段】第１反射鏡80と第２反射鏡81によって赤外線の光路(図１の破線参照)が略コ字形に変更されている。そのため、波長フィルタ５の赤外線の入射角(波長フィルタ５表面の法線方向との為す角。以下、同じ。)がほぼ零度となっており、従来例に比べて波長フィルタ５の入射角依存性の影響を受け難くすることができる。その結果、波長フィルタ５を通過して受光部４に到達する赤外線量を増やすことができて気体成分の検出精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】配線の簡単化及び低背化を図る。
【解決手段】発光部３及び受光部４がそれぞれ半導体ベアチップ(発光ダイオードチップ及びフォトダイオードチップ)で構成されるとともに、発光部３から受光部４への赤外線の光路が直線状ではなく折れ線状に変更されている。したがって、パッケージ型の発光ダイオードやフォトダイオードが使用される従来例に比べて、本実施形態は配線の簡単化が図れるという利点がある。また、本実施形態では第１反射鏡80と第２反射鏡81によって赤外線の光路(図１の破線参照)が略コ字形に変更されているので、光路が略Ｖ字形である従来例と比較して、光路長を短縮せずに上下方向の高さ寸法を小型化(低背化)することができる。 （もっと読む）

【課題】測定状態と校正状態との切り換えが簡単で、校正を容易に行うことができ、しかも正確な校正を行うことが可能な試料非吸引採取方式のガス分析計を提供する。
【解決手段】壁部に開口部２４、２６が形成された外筒１４と内筒１６とからなる導管１２であって、外筒または内筒を回転させることにより、外筒の開口部と内筒の開口部とが連通して内筒内にガス５６が流入する測定状態と、外筒および内筒の一方の壁部が他方の開口部を閉塞して内筒内にガスが流入しない校正状態とに切り換え可能な導管を具備するガス分析計１０とする。そして、測定状態において、導管の一端側から内筒内のガスに光を照射し、透過光を検出することによりガス中の成分濃度を求めるとともに、校正状態において、内筒内に校正用ガスを充填するとともに、導管の一端側から内筒内の校正用ガスに光を照射し、透過光を検出することにより校正を行う。 （もっと読む）

【課題】小型かつ薄型で、測定精度の高い簡易な構成の赤外線ガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明の赤外線ガスセンサは、赤外光を含む光を発する赤外光源１と、この赤外光源１からの赤外線を受ける赤外線センサ５と、この赤外線センサ５上に配置された特定の波長を通すバンドパスフィルタ7と、赤外光源１と赤外線センサ５とを支持する基板２と、赤外光源１と赤外線センサ５とを覆うドーム型筐体9とを備えている。赤外線センサ５の受光面の視野内に赤外光源１の発光面はなく、赤外光源１から発した光は、ドーム型筐体９の内面に反射して赤外線センサ５に入射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された凹部の深度を、非破壊、非接触で検査できるとともに、高速に検査できるようにする技術を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は、ポンプ光の照射に応じて、基板Ｗに向けてテラヘルツ波を照射する照射部１２と、プローブ光の照射に応じて、基板Ｗを透過したテラヘルツ波の電場強度を検出する検出部１３と、テラヘルツ波が検出部１３に到達する時間と、検出部１３における検出タイミングを遅延させる遅延部１４とを備える。また、基板検査装置１００は、基板Ｗの第１領域を透過した第１テラヘルツ波の時間波形を構築する時間波形構築部２１と、基板Ｗの第２領域を透過した第２テラヘルツ波について、特定の検出タイミングで検出される電場強度と、前記時間波形とを比較することにより、第１テラヘルツ波と第２テラヘルツ波の位相差を取得する位相差取得部２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜の物性を非破壊かつ高精度で測定することができる物性測定装置及び物性測定方法を提供する。
【解決手段】薄膜の物性を測定する装置において、レーザ発生源と、薄膜を励起する励起手段と、レーザ発生源が発生するレーザの偏光方向を制御する制御手段と、該制御手段により制御されたレーザを受光することによりｐ偏光およびｓ偏光のテラヘルツ波を発生し、励起手段により励起にされた薄膜にテラヘルツ波を照射する照射手段と、照射手段によりテラヘルツ波が照射された薄膜で反射したｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波を検出する検出手段と、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波夫々の振幅及び位相スペクトルを測定する測定手段と、測定手段が測定した振幅及び位相スペクトルに基づいて、検出手段により検出されたｐ偏光及びｓ偏光のテラヘルツ波の振幅比及び位相差を測定する手段とを備える。 （もっと読む）