【課題】細胞のような透明で微細な被写体を高い分解能で簡易に観察する。
【解決手段】試料Ａを載置する載置面６ａを有する光学結晶６と、該光学結晶６に向けて第１の電磁波Ｌ_２を載置面６ａとは反対側から照射する第１の照射系４および第２の電磁波Ｌ_１を照射する第２の照射系５と、該第２の照射系５から照射され試料Ａの載置面６ａにおいて反射した第２の電磁波Ｌ_１を検出する検出系７とを備え、第１の電磁波Ｌ_２は、パルス状のテラヘルツ波であり、第２の電磁波Ｌ_１は、テラヘルツ波Ｌ_２よりも波長が短いパルス状の電磁波であり、第１の電磁波Ｌ_２の照射領域と第２の電磁波Ｌ_１の照射領域の少なくとも一部が光学結晶６内の載置面６ａ近傍で重なるように、第１の照射系４と第２の照射系５が配置され、検出系７は、その合焦位置が光学結晶６の載置面６ａ近傍と一致するように配置されている観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光検出器の検出信号の強度を確認しながら調整を繰り返すという作業を行なわずに、テラヘルツ光学系のアライメントを容易に行なえるようにする。
【解決手段】テラヘルツ光発生器を、テラヘルツ光を透過する光透過性基板１と、光透過性基板１の第１の面に形成され、可視光を発光する発光素子２と、光透過性基板２の第２の面に形成され、テラヘルツ光を発生させる光伝導性アンテナ素子３とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記バンドパスフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】試料の大きさが小さい場合においても試料の物性を精度よく観察する。
【解決手段】観察範囲に対してパルス状のテラヘルツ波を照射して観察範囲で反射または透過した第１の電磁波Ｌ_２と、テラヘルツ波よりも波長が短いパルス状の第２の電磁波Ｌ_１とを電磁波Ｌ_２に対する電磁波Ｌ_１の入射タイミングを変更しながら光学結晶６に入射させ、光学結晶６で反射または透過した電磁波Ｌ_１の強度を取得し、電磁波Ｌ_１の強度と入射タイミングとに基づいて、電磁波Ｌ_２の時間変化を表す波形を生成する工程を、観察範囲内に試料Ａを配置した場合としない場合とについて行い、試料Ａを配置しない場合の電磁波Ｌ_２の波形における振動が存在する時間幅Ｔを算出し、試料Ａを配置した場合の電磁波Ｌ_２の波形から、その振動の開始時点後時間幅分経過した以降の波形成分を切り出し、試料Ａを配置した場合の電磁波Ｌ_２の波形成分をフーリエ変換する観察方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】コンクリートの化学的な劣化度の評価方法を提供する。
【解決手段】コンクリート１２に照射されたテラヘルツ波の吸光度を用いたコンクリートの化学的な劣化度の評価方法であって、前記コンクリート１２に一対のボーリング孔１４を形成し、第１光ファイバ４２により一方のボーリング孔１４ａの所定の深さ位置まで前記テラヘルツ波を導入して他方のボーリング孔１４ｂに向けて前記テラヘルツ波を照射し、前記他方のボーリング孔１４ｂに導入された第２光ファイバ４６を介して、前記テラヘルツ波の透過波を検出して前記吸光度を算出し、前記吸光度と、前記コンクリート１２と同一組成を有し劣化度が既知のコンクリートの吸光度と、を対比してなる。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光などの光が被測定物を透過したものの測定結果に生ずるジッタを抑制する。
【解決手段】被検出光パルスが、被検出光パルス出力部24から出力されてからトリガ信号出力器23に与えられるまでの時間をＴ１とし、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてから測定用信号出力器22に与えられるまでの時間をＴ２とし、被検出光パルスが被検出光パルス出力部24から出力されてから、被測定物2を透過して、測定用光パルスとして測定用信号出力器22に与えられるまでの時間をＴ３とし、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてからトリガ信号出力器23に与えられるまでの時間をＴ４としたときに、光測定装置1が、時間Ｔ１と時間Ｔ４との差と、時間Ｔ３と時間Ｔ２との差とが等しくなるように、時間Ｔ２を調整する光遅延部15を備える。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストの低下を図り、しかも、粉粒体の損傷を抑制して適正な測定を行える粉粒体の内部品質測定装置を提供する。
【解決手段】光が横断透過可能に構成された粉粒体収納容器Ｕが装填される装填箇所Ｐに対してその装填箇所Ｐを横断する横断方向に向けて計測用光を投光する投光手段１と、装填箇所Ｐからの光を受光する受光手段２とが、装填箇所Ｐの両側に振り分け配置され、装填箇所Ｐが、投光手段１と受光手段２との並び方向に沿って光を通過自在に構成され、粉粒体収納容器Ｕが、投光手段１と受光手段２並び方向に沿って光を透過させる状態で前記装填箇所Ｐに装填自在に構成され、受光手段２の受光用端部２Ａが、装填箇所Ｐに装填される粉粒体収納容器Ｕに近接する状態で配設されている。 （もっと読む）

【課題】遅延部の機械的移動による影響を抑制することができるテラヘルツ波の時間波形を取得するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波の発生部（１０１）と、テラヘルツ波の検出部（１０２）と、発生部と検出部とに照射される励起光の光路長差を変えるための第１の遅延部（１０３）と、励起光を発生部と検出部とに到達させるまでの時間差を変えるための第２の遅延部（１０４）を有する装置で、第２の遅延部における第１の光路長差で、第１の遅延部を用いて第１の時間波形を取得する。第２の遅延部を用いて、第１の光路長差を第２の光路長差に変える。第２の光路長差で、第１の遅延部を用いて第２の時間波形を取得する。取得された第１及び第２の時間波形を、第１及び第２の光路長差それぞれから予め定められた光路長差に合わせる。予め定められた光路長差に合わせられた第１及び第２の時間波形を加算平均する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の光学特性を測定する装置には、被測定物の形状等の制約があり、光強度の感度が悪いという問題があったので、平面から非平面まで測定可能で被測定物の制約条件がなく、感度の優れた全球散乱測定装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】２つの楕円体面鏡の各々の焦点の１つを共通焦点にして結合して、３つの焦点を一軸上に有する光学系である双楕円型光学系において、一方の楕円体面鏡を回転させ、回転される楕円体面鏡の焦点に集光する散乱光を検出して、被測定物の全球散乱を測定する。 （もっと読む）

【課題】標準ガスを用いることなく装置の経時変化等を簡単な操作でチェックすることができる分光吸光分析法によるガス分析装置を提供する。
【解決手段】ガスセル１を備えた分光吸光分析装置において、同一の吸光度を有する複数の光学フィルタの１枚及び複数枚を測定光の光路Ａ中に枚数を変えて逐次に挿入し、またその挿入位置から離脱させるフィルタ挿脱機構５を備える。この構成により、標準ガスの代わりに吸光度が２倍、３倍等に異なる複数の光学フィルタを光路中に逐次に挿入して、簡便に装置の性能チェックを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数種のガス成分を同時に検出可能とされた新規構造のマルチパスセルおよび複数種のガス成分を同時にかつ高精度で検出可能とされた小型化のガス測定器を提供する。
【解決手段】マルチパスセルは、セル本体内において、球面状または放物面状の反射面を有する２つの反射鏡が互いに光軸が一致する状態で対向配置され、各々の反射面上におけるレーザ光の反射点が反射鏡の光軸を中心とする円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する少なくとも一の光学測定系を具えてなり、当該多重反射光路は、反射鏡の光軸に沿って伸びる円環状空間領域内において形成されており、セル本体に対するレーザ光の入射位置と、セル本体外部へのレーザ光の出射位置とが互いに異なる位置とされるよう構成されている。ガス測定器は、上記マルチパスセルを具えてなる。 （もっと読む）

【課題】 複数種のガス成分を同時に検出可能とされた新規構造の複合型マルチパスセルおよび複数種のガス成分を同時にかつ高精度で検出可能とされた小型化のガス測定器を提供すること。
【解決手段】 複合型マルチパスセルは、セル本体内において、球面状または放物面状の反射面を有する２つの反射鏡が互いに光軸が一致する状態で対向配置され、各々の反射面上におけるレーザ光の反射点が反射鏡の光軸を中心とする円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する基準光学測定系を具えてなり、当該多重反射光路は、反射鏡の光軸に沿って伸びる円環状空間領域内において形成されており、この円環状空間領域の内側の円柱状空間領域内に、前記基準光学測定系とは互いに独立した、例えば非分散型赤外線吸収法などによる他の光学測定系が構成されている。ガス測定器は、上記複合型マルチパスセルを具えてなる。 （もっと読む）

【課題】 複数種のガス成分が同時に検出可能とされた新規構造の多層型マルチパスセルおよび複数種のガス成分を同時に高精度で検出可能とされた小型のガス測定器の提供。
【解決手段】 多層型マルチパスセルは、セル本体内に互いに光軸が一致する状態で対向配置された、球面状または放物面状の反射面を有する２つの反射鏡の各々の反射面上においてレーザ光の反射点が反射鏡の光軸を中心とする円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する基準光学測定系を具えてなり、当該多重反射光路は、反射鏡の光軸に沿って伸びる円環状空間領域内において形成されており、当該円環状空間領域内側の空間領域に、前記反射鏡の各々の反射面上におけるレーザ光の反射点が円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する他の光学測定系が少なくとも一つ位置されている。ガス測定器は、上記多層型マルチパスセルを具えてなる。 （もっと読む）

【課題】実時間での測定を行うことが可能な偏光特性測定装置及び偏光特性測定方法を提供すること。
【解決手段】光源１２から出射された光を、偏光子２２、第１の１／４波長板２４を介して試料３０に入射させ、試料３０を透過した光を、第２の１／４波長板４２、検光子４４を介して円錐ミラー６２の頂点に入射させる。第１の１／４波長板２４の各位置における主軸方位と、第２の１／４波長板４２の各位置における主軸方位の比が、それぞれ１：Ｎとなるように構成する。カメラ５０は、円筒形スクリーン６０の内面に投射されたリングビームＲＢを撮像し、画像データを演算装置７０に対して出力する。 （もっと読む）

【課題】容易に着脱でき、交換の際に光学調整の負担を軽減できる検出器およびその検出器を備えた赤外顕微鏡を提供すること。
【解決手段】検出器１８は、赤外顕微鏡の筐体に対してスライド自在に設けられるケース５０と、スライド方向に沿って筐体からの赤外光を内部に導く採光口５６と、ケース５０に内蔵され赤外光を検出する検出中心部とを備える。ケース５０は、筐体側の雌コネクタと接続して検出データを出力する雄コネクタ５８と、スライド方向に沿ってケースを移動させる引きねじ５２、突っ張りねじ５４と、ケースを筐体に固定する押えねじ６４とを有する。コネクタ同士の接続が解除される解除位置と、コネクタ同士が接続される接続位置とを結ぶ線は、スライド方向と平行である。ケース５０は、引きねじ５２によって解除位置から接続位置までスライドされた状態で、押えねじ６４によって筐体に固定される。 （もっと読む）

【課題】太陽などの光を利用して発電する光電池の開発研究や使用時において、簡便に光電池の分光感度スペクトルとともに、同時に光電池の電流電圧特性を測定する評価装置を提案する。
【解決手段】一つの白色光源３の周囲に２つの集光ミラー１，２を配置し、集光された光の一方は分光器４に導入され単色光に変換されたのち出射され、もう一方の光は擬似太陽光スペクトルフィルタ５を通じて出射され、これら二つの光は二分岐ファイバ８，９を通じて重畳されて被測定光電池１０１を照射することができる光電池の分光感度測定装置および電流−電圧特性測定装置、で分光感度測定および電流電圧特性測定を測定する。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の傾きが変更可能なミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】ミラー面に測定光を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光がミラー面で反射された光を反射する凹面形状の投射面２０ａ−１を備えた凹面投射部２０−１と、凹面投射部２０−１の投射面において反射された光を受光する受光部１９１と、受光部１９１が受光した光を元にミラーシステムの特性を測定する測定部１０４とをそなえる。 （もっと読む）

【課題】プロセスチャンバーの内部で発生したパーティクルによって、ガスフローセルの両端にあるミラーや光学窓等の表面が汚染されることがなく、正確な高感度ガス分析を継続して行なうことが可能なガスフローセルを提供する。
【解決手段】 長軸方向のほぼ中心に試料ガス導入口１８を１個、長軸方向に直交する方向に沿って設けたＴ型のガスフローセル１ａと、ガスフローセル１ａからの光学的情報を電気信号に変換する光電変換室７５とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおける排気ガス中の様々な物質が、水分計のセル中の反射鏡や窓に付着し、光学系における反射率や透過率を低下させ、分析感度が低下することを防止する。
【解決手段】半導体製造プロセス用吸光分析装置は、半導体製造プロセスの処理チャンバ３９の排気流路に接続された流路切換え機構５０と、レーザ光源からのレーザ光をセル内で多重反射させてガスによる吸光度変化を検出してプロセスガス中の水分濃度を測定する多重反射型水分濃度計測用吸光分析計５１とを備えている。流路切換え機構５０は、分析計５１を経て排気される流路と、分析計５１を経ないで排気されるバイパス流路とを切り換えるものである。その際、プロセスガス中のパーティクルを計測するパーティクル測定結果を流路切換えの判定基準として用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 物体からのテラヘルツ波のうち、物体における任意の位置からのテラヘルツ波を選択的に検出すること。
【解決手段】 以下を備える分析装置である。まず、発生部１０１から発生したテラヘルツ波を物体１０７における第１の位置１２１に集光させる第１の光学部１１１を備える。次に、物体１０７からのテラヘルツ波を第２の位置１２２に集光させる第２の光学部１１２を備える。また、第２の位置１２２に集光したテラヘルツ波を第３の位置１２３に集光させる第３の光学部１１３を備える。また、第３の位置１２３に集光したテラヘルツ波を検出するための検出部１０２を備える。そして、物体１０７からのテラヘルツ波のうち、物体１０７における第１の位置１２１からのテラヘルツ波を選択的に検出可能に構成される。 （もっと読む）