【課題】テラヘルツ電磁波の検出精度を向上させることができるテラヘルツ放射顕微鏡、これに用いられる、光伝導素子、レンズ及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】光伝導素子は、基材と、電極と、膜材とを具備する。前記基材は、光源から発生したパルスレーザーが、観察対象であるデバイスに照射されることにより発生するテラヘルツ電磁波が入射する入射面を有する。前記電極は、前記基材に形成され、前記基材の入射面に入射された前記テラヘルツ電磁波を検出する。前記膜材は、前記基材の前記入射面に形成され、前記テラヘルツ電磁波を透過させ、前記パルスレーザーを反射させる。 （もっと読む）

【課題】効率良く安価に電磁波パルスの測定精度を向上する技術を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置１００は、テラヘルツ波を試料Ｗに照射する照射部１２と、試料Ｗを透過したテラヘルツ波の電界強度を検出する検出部１３と、レーザ光源１１から検出部１３までの光路長を段階的に変更することによって、検出部が前記電磁波パルスの電界強度を検出するタイミングを段階的に変更する遅延部１４と、光路長を変更する変更範囲を設定する変更範囲設定部２３とを備えている。変更範囲設定部２３は、遅延部１４が、光路長を第１の変更範囲で段階的に変更した場合に、前記試料を透過または反射した前記電磁波パルスが前記検出部で検出されるときの前記光路長を含む前記光路長の範囲を、第２の変更範囲に設定する、前記遅延部１４は、光路長を変更範囲Ｒ２で段階的に変更する際に、光路長を変更範囲Ｒ１で段階的に変更する場合よりも細かく変更する。 （もっと読む）

【課題】電磁波パルスを利用して取得される試料の情報の画像化を、効率良く行う技術を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波測定装置１００は、照射部１２を試料Ｗに対して相対的に移動させる移動機構１５と、検出部１３に入射するプローブ光ＬＰ１２の光路長が互いに相違する第１の測定用光路長、第２の測定用光路長および第３の測定用光路長のそれぞれに設定されるように遅延部１４を制御する制御部１７を備えている。また、テラヘルツ波測定装置１００は、検出部１３にて検出された電界強度を、ＲＧＢの階調特性を示す階調データに変換するデータ変換部２５と、検出部１３にて検出される電界強度に関する情報が前記階調データに応じた色調で表現された画像を生成する画像生成部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ電磁波の検出または発生が効率良く行われ、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置を提供する。
【解決手段】基板３と、基板３上に積層された半導体積層群５と、を備え、半導体積層群５は、第１化合物半導体層５１と、第１化合物半導体層５１上に、第１化合物半導体層５１と屈折率が異なると共に励起光の表面反射を低減できる層厚で成長させた第２化合物半導体層５２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】キャリア寿命を短縮（制御）することで、テラヘルツ電磁波の発生または検出を効率良く行うことのできる光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の電磁波発生検出装置１は、基板３と、基板３上に成長させたバッファ層４と、バッファ層４上に成長させた半導体層５と、を備え、半導体層５は、光電効果が生じる領域内に転位を有した光伝導基板２を備え、半導体層５上に形成されたアンテナ６を備えている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】音響波検出において受信膜に膜厚分布が存在している場合でも、高感度特性を実現することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】測定光が入射される第１のミラー、第１のミラーと対向配置されており被検体からの音響波が入射される第２のミラー、第１のミラーおよび第２のミラーに挟まれて設けられた音響波受信層、および、補償層を含む共振器と、音響波の入射による音響波受信層の変形に応じた第１のミラー及び第２のミラーの間の光路長の変化を検出する検出器を有し、補償層における屈折により、音響波受信層の膜厚分布による光路長のばらつきが補償される音響信号受信装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、存在を検出する対象物質と結びつくことで分子の構造が変化する高分子材料を試料に加えて、高分子材料の分子の構造の変化を検知することで、試料における対象物質の存在を容易に検出できる物質センシング方法及び物質センシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る物質センシング装置は、照射手段（光源３、干渉計４）と、測定手段（検出器５）と、検出手段（コンピュータ６）とを備える。照射手段は、対象物質と結びつくことで分子の構造が変化する高分子材料７を加えた試料２に対してテラヘルツ光を照射する。測定手段は、テラヘルツ光の照射による試料２のテラヘルツ光の吸収スペクトルを測定する。検出手段は、測定手段で測定した吸収スペクトルに基づき試料２における対象物質の存在を検出する。 （もっと読む）

【課題】屈折率や透過係数など電磁波に対する試料の光学特性を従来よりも高精度に評価する。
【解決手段】光学特性評価装置１において、センサ部３０は、複数の第１の貫通スリット３１Ａが所定の間隔ごとに形成された第１の金属層３１と、第１の金属層３１と間隔をあけて平行に設けられ、複数の第２の貫通スリット３２Ａが所定の間隔ごとに形成された第２の金属層３２と、第１および第２の金属層間に挿入され、試料を保持可能な保持体３３とを含む。電磁波源１０は、複数の第１の貫通スリット３１Ａの間隔および複数の第２の貫通スリット３２Ａの間隔よりも長い波長を有する電磁波を、第１の金属層３１と交差する方向からセンサ部３０に照射する。検出器２０は、センサ部３０を透過した電磁波、またはセンサ部３０から反射された電磁波を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を担保しながらも、ランニングコストや被験者の負担を軽減でき、全血中のヘモグロビン濃度及び血漿中のＣＲＰ濃度を迅速かつ簡便に測定できる血液分析装置を提供する。
【解決手段】全血に溶血試薬及び免疫試薬を供給して第１試料を生成する試薬供給手段２０と、第１試料に光を照射する第１光源３０と、第１試料を透過した光の強度を示す第１光強度信号を出力する第１光検出手段４０と、第１試料に希釈液を供給して、第１試料を所定倍率に希釈し、第２試料を生成する希釈手段６０と、第２試料に光を照射する第２光源７０と、第２試料を透過した光の強度を示す第２光強度信号を出力する第２光検出手段８０と、第２光強度信号の値に基づいて、ヘモグロビン濃度を算出するＨｇｂ算出部５１と、第１光強度信号の値及びヘモグロビン濃度に基づいて血漿中のＣ−反応性蛋白質濃度を算出するＣＲＰ算出部５０とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を回避しつつ計測精度を確保できる全反射分光計測装置を提供する。
【解決手段】全反射分光計測装置１では、テラヘルツ波発生素子３２が設けられた内部全反射プリズム３１の入射面３１ａに対し、被測定物３４が配置される反射面３１ｃが鈍角となっている。これにより、テラヘルツ波発生素子３２で発生したテラヘルツ波Ｔを第１光学面３１ｄに対して垂直に近い状態で入射させることが可能となり、テラヘルツ波Ｔの広がり角度に対して第１光学面３１ｄのサイズを最小化できる。したがって、装置の大型化を回避できる。また、このことは、同一のサイズの第１光学面３１ｄで対応できるテラヘルツ波Ｔの広がり角度を大きくできることを意味し、テラヘルツ波Ｔの損失を抑えることで反射分光計測の精度を確保できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でデッドエリアを低減できる光伝導アンテナ、及びこのような光伝導アンテナを用いたテラヘルツ波発生方法を提供する。
【解決手段】光伝導アンテナ３１では、各電極３３のパッド部３５に対し、電極３３の配列順に徐々に増加又は徐々に減少するように直流電圧源２４からの電圧が印加される。これにより、発生するテラヘルツ波Ｔの極性が電極３３ごとに少しずつ変化し、テラヘルツ波Ｔが電極３３毎に反転して出力が打ち消されることを防止できる。光伝導アンテナ３１では、従来のような遮光マスクや電極間の切り離し部分が存在しないので、電極３３自体を除いてデッドエリアが存在せず、テラヘルツ波Ｔの発生効率を確保できる。また、光路長差を形成するためのガラス板を用いず、各電極３３に印加する電圧の調整によってテラヘルツ波Ｔの極性を調整しているので、構成の簡素化が図られる。 （もっと読む）

【課題】金属材料サンプルのサブミリ波反射特性（反射損失、反射率）を高精度に測定するための装置、及び方法を提供する。
【解決手段】本発明は、温度の異なる２つの熱放射体それぞれから発生する放射光について、当該放射光が参照経路を進行した場合と金属材料サンプルによる反射を伴って測定対象経路を進行した場合とで異なるサブミリ波の強度を測定し、当該測定結果を用いてサンプルの反射特性を算出するための装置、及び方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】干渉成分を簡単な構成により精度良く補正できるようにする。
【解決手段】サンプルガスが供給されるセル２の一端側に赤外光源３を設け、セル２の他端側に赤外線検出部４を設けた赤外線ガス分析計１００において、赤外線検出部４が、測定成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長域の赤外線強度を検出する測定成分検出器４１と、干渉成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長域の赤外線強度を検出する干渉成分検出器４２とを有し、干渉成分検出器４２及び測定成分検出器４１が、セル２の他端側からこの順に光学的に直列配置されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線スペクトル吸収に伴うガス圧変動を利用した赤外線吸収式ガス分析計において、ＳＯ_２の検出目的に使用するフローセンサのＮｉ素子の腐食を防止し、フローセンサの耐用期間を伸ばすことを目的とする。
【解決手段】Ｎｉ素子の正常部側面には表面のみにＮｉＳＯ_４が付着し、腐食部には深部までＮｉＳ_２が生成していると推定される。よって、ＮｉがＳＯ_２で硫化されてＮｉＳ_２が生成されるとＮｉが深部まで腐食して断線するが、Ｎｉが硫化してもＮｉＳＯ_４として表面のみに止まり深部まで進行しなければ、断線の問題は生じない。また、Ｎｉは１００℃以下では、ＮｉＳＯ_４として存在し、１００℃以上でＮｉＳ_２が生成することが分かった。そこで、フローセンサの抵抗金属箔の温度を１００℃以下にすることにより、ＮｉＳ_２の生成を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、エタノール等の特定成分の濃度を測定できる気体分析装置を提供すること。
【解決手段】特定成分を含む気体試料にテラヘルツ波を照射して、前記気体試料による吸収強度を取得する計測部３と、前記吸収強度に基づいて前記特定成分の濃度を算出する解析部５と、を備えることを特徴とする気体分析装置１。前記テラヘルツ波は、気体試料に含まれる前記特定成分の吸収強度が、前記気体試料に含まれるバックグラウンド成分による吸収強度よりも大きい周波数領域であり、かつ、バックグラウンド成分の吸収スペクトル形状の平坦な周波数領域であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】光学窓やセルの内壁を簡単に清掃することができ、しかも、ガス入口からセル本体内に導入されたガスが滞留することなくスムーズにガス出口に流れるようにして、ガスの置換を速やかに行うことのできるガス分析計用試料セルを提供することを目的とする。
【解決手段】セルの一端に設けられたガス入口から、他端に設けられたガス出口に向けて試料ガスを流通させるガス分析計用試料セルにおいて、両側の端部にネジ部が形成された円筒形状のセル本体（１１）と、赤外線透過材料よりなる光学窓（１３a、１３ｂ）を保持すると共に、セル本体のねじ部（１６a、１６ｂ）と螺合して、ガス入口側の端部、ガス出口側の端部を封止するように取り付けられる入口側、出口側の窓ホルダー（１４a、１４ｂ）とを備えてなり、入口側の窓ホルダー（１４a）にガス入口管（１２a)を、出口側の窓ホルダー（１４ｂ）にガス出口管(１２ｂ）を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】光励起により効率良く比較的高強度のテラヘルツ波を発生したり、パルス幅の比較的狭いテラヘルツ波を発生したりすることができる発生素子などを提供する。
【解決手段】テラヘルツ波発生素子は、電気光学結晶のコア部４を含む光導波路と、導波路を光が伝搬することで導波路から発生するテラヘルツ波を空間に取り出す光結合部材７と、テラヘルツ波を反射する反射層６または反射面を有する。反射層６や反射面は、コア部４を挟んで光結合部材７の設けられた側とは反対側の位置に設けられる。反射面は、光導波路を伝搬する光の振幅が充分低下するだけの距離をコア部４から隔てた位置に設けられる。光結合部材７の出射面に対するテラヘルツ波の入射角がブリュースター条件を満たす様に設定されてもよい。同じ構成で逆過程によりテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出素子として用いられる。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の測定において、テラヘルツ波との関連性が低い信号成分を抑制することが可能なテラヘルツ波の時間波形を取得するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波の時間波形を取得するための装置及び方法において、第１の速度パターンにより遅延光学部１０３を駆動して第１の時間波形を取得し、第１の速度パターンと異なる第２の速度パターンにより遅延光学部１０３を駆動して第２の時間波形を取得する。第１の時間波形と第２の時間波形を平均して最終的な時間波形を得る。 （もっと読む）

【課題】拡散性を抑制する光学系を用いて低水分から高水分にわたって高精度の測定が可能な水分計を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を斜め方向から被測定物に照射し、該被測定物を透過した透過光をなだらかな曲率を有するミラーで反射させて集束し、再度前記被測定物を透過させて赤外線に感度のある検出器に入射させるように構成した。 （もっと読む）