【課題】簡易な光量補正ロジックを追加することで、正確な光量補正を行い、濃度を正確に算出できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】周波数変調方式のレーザ式ガス分析計において、同期検波回路の検出信号から測定対象ガスについての受光光量実測値および測定対象ガスのガス濃度指示値を取得し、ガス濃度指示値とオフセット吸収係数とを用いて測定対象ガスの受光光量理論値を算出し、受光光量理論値から受光光量実測値を引いて算出した光量変動分と、同期検波回路の検出信号から取得したスパンを用いて測定対象ガスの濃度真値を算出するようなレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】装置内における伝送効率を自動で校正することのできるレーザレーダ装置を得る。
【解決手段】光検出器８は、送信光学系７ａ、７ｂからの出射光のパワーに相当するモニタ信号を出力する。光検出器１０は、測定媒質１００を通過した光を受信し、その値に対応した受信信号を出力する。信号処理装置１２は、送信光学系７ａ、７ｂからの出射光に対する光検出器１０の結合効率を示す値に基づいて、吸収波長の大きい光の振幅または電力と吸収波長の小さい光の振幅または電力とを補正し、その差異から測定媒質１００に対する光学的厚みを測定する。 （もっと読む）

【課題】センサに導入された試料の温度をより正確に推定することができる、携帯型医療機器を提供する。
【解決手段】試料が導入されるセンサ１０がセンサ接続部３０に接続される。温度推定部３３は、センサ１０に導入された試料の温度を推定する。測定処理部３４は、温度推定部３３で推定された試料の温度に基づく補正を行って試料に対する測定処理を実行する。温度検出部２６は、本体２３の内部に設置されて温度を検出する。温度推定部３３は、処理装置（２４、２５）で処理が開始されたタイミングにおいて温度検出部２６で検出された温度である処理開始時温度を記憶し、少なくとも、処理開始時温度が記憶された際に開始された処理装置（２４、２５）での処理が終了するまでの間は、処理開始時温度を試料の温度として推定する。 （もっと読む）

【課題】金属表面の溝の幅が狭くて深いので、溝の加工が困難である従来の赤外光源に対して、加工のし易い赤外線光源、該赤外線光源を用いたセンサ及びガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体１５と、最表面が金属からなる放射体１４とを備えた赤外線光源１０１であって、前記放射体１４の表面には、一定方向に延びる矩形状の断面を有する溝１４が一定周期で形成されており、当該一定周期をＰ、当該溝１４の幅をＷ 、当該溝１４の深さをＤとした場合に、Ｗ ＞０.５Ｐ、Ｄ／Ｗ＜０.５である、Ｐ、Ｗ及びＤに対して、前記赤外線光源１０１から放射される赤外線の強度のピーク波長が、所望の特定波長と一致するようにＰ、Ｗ及びＤを定めたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】広範囲で且つ空間的に連続的な水素濃度分布を計測するのに適した水素検知用光ファイバ及びその製造方法を提供する。併せて従来技術よりも量産性及び信頼性の点で優れた効果を発揮し、更にはこの水素検知用光ファイバの特徴を最も有効に活用できる水素検知システムを提供する。
【解決手段】コア１１とクラッド１２とを有する石英系光ファイバ１０と、石英系光ファイバ１０のクラッド１２表面の外周を囲むように、パラジウム微粒子を溶媒に分散してなるペーストを塗布、焼結して形成された水素感応膜としてのパラジウム含有被覆層１３と、を備えた水素検知用光ファイバ１及びその製造方法、並びにこれを用いた水素検知システムである。 （もっと読む）

【課題】圧力センサ等の気圧測定装置を追加装備することなく、測定環境に応じた正確なガス測定値を得る。
【解決手段】測定部１２は、被測定ガスの所定パラメータについて測定値を得る。標高取得部１４は、設置場所の標高を示す標高情報を取得する。気圧算出部１５は、前記標高情報に基づいて前記設置場所における気圧を算出する。補正部１３は、前記気圧の算出値に基づいて前記測定値を補正する。 （もっと読む）

【課題】測定時のＳ／Ｎ比（シグナル／ノイズ比）の低下を抑制し、短時間の測定で精密な測定を行い、リアルタイム性の向上が図られるような光学的検知装置を提供する。
【解決手段】測定用の光が通過する測定光路と、前記測定光路に測定用の光を照射する光源と、前記測定光路を通過した光を受光し、吸収スペクトルの検出を行う検出器と、を有し、前記測定光路と前記光源とを連結させる第１の連結路と、前記測定光路と前記検出器とを所定の間隔でもって連結させる第２の連結路と、が設けられ、前記第１の連結路は前記測定光路と前記光源との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第２の連結路は前記測定光路と前記検出器との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第１の連結路及び前記第２の連結路の内部を排気する排気機構と、前記第１の連結路及び前記第２の連結路の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構と、を備えた光学的検知装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】観察装置の反射ミラーの反射面で結露すると、反射ミラーに入射した光が乱反射してしまい、付着物検出の精度が落ちてしまうという問題があった。
【解決手段】観察装置は、観察対象の少なくとも一部である透光板における表面領域を照射する照射部と、照射部からの照射光が表面領域で反射した反射光を受光する撮像素子と、照射部から撮像素子まで光を中継する中継光学系に含まれる反射ミラーと、反射ミラーにおける反射面と異なる箇所である他箇所に直接または熱伝導部材を介して結合されている電子部品が搭載された回路基板とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素（ＳｉＦ₄）を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から１００〜１８０℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に５〜５０℃に冷却し、しかる後、急速に５〜５０℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による光導入面及び光導出面の間の拡縮を防止する。
【解決手段】被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５に設けられてセルブロック６の外部からの光を流路に導入する光導入面７と、流路５において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光をセルブロック６の外部に導出する光導出面８と、セルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６と、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定領域の上流側に位置する装置において所定の時刻に発生し、測定領域を流通する目的ガスの濃度等の時間変化を測定する際に、測定領域やその近傍の吸着ガスによる影響を排除し、目的ガスの濃度等の時間変化をリアルタイムで決定する。
【解決手段】予め測定領域１３の下流側で吸引しつつ測定領域１３の上流側で所定時刻に発生する目的ガスの濃度等を、測定領域１３に所定波長の光を入射し、測定領域１３を通過した光を検出することにより測定する装置において、目的ガスの発生前に参照範囲設定部２３が使用者に設定させた参照範囲内の時系列データに基づいて、ベースライン演算部２４がベースラインを作成する。 （もっと読む）

【課題】セル内でサンプルガスを発生させることでサンプルガスの損失を防止する。
【解決手段】測定光が通過する光透過窓２Ａ、２Ｂを有しており、サンプルＷが配置されるセル本体２１と、前記セル本体２１内に配置されたサンプルＷからサンプルガスを生成させるサンプルガス生成手段２２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】測定期間中に周辺温度の変動があった場合にも対象物の正確な光断層画像を容易に取得することができる光断層画像取得装置を製造する方法を提供する。
【解決手段】光断層画像取得装置１は、ＯＣＴに拠って対象物２の光断層画像を取得するものであって、光源部１１、干渉部１２、参照光学系１３、反射体１４、照射光学系１５、レンズ１６、検出部１７および解析部１８を備える。本発明の光断層画像取得装置製造方法は、このような光断層画像取得装置１を製造する際に、一本の光ファイバから各々所定長の第１光ファイバおよび第２光ファイバを切り出し、参照光学系１３において光を導く光導波路として第１光ファイバを用いるとともに、照射光学系１５において光を導く光導波路として第２光ファイバを用いる。 （もっと読む）

【課題】反応物が効率的に加熱又は冷却され製造費用の増加が抑制される検査チップ及び計測装置を提供する。
【解決手段】流路形成体、誘電体媒体及び導電体膜が検査チップに設けられる。流路形成体の表面には、接合領域及び露出領域が設けられる。流路形成体には、反応物収容空間及び熱媒体収容空間が形成される。反応物収容空間は、接合領域に開口を有し、露出領域に反応物出入口を有する。熱媒体収容空間は、露出領域に熱媒体出入口を有する。誘電体媒体の表面には、入射領域、反射領域及び出射領域が設けられる。入射領域へ入射した励起光が反射領域に全反射され出射領域から出射する。導電体膜の第１の主面は、接合領域に接合される。導電体膜の第２の主面は、反射領域に密着する。 （もっと読む）

【課題】低濃度から高濃度までの広い範囲でガス濃度を精度良く測定できるガス濃度測定装置。
【解決手段】半導体レーザ1aを有する光源1と、低周波信号を発生する低周波信号発生器11bと、高周波変調信号を発生する高周波信号発生器11cと、低周波発生器からの低周波信号に高周波変調信号を重畳させて光源の駆動電流を発生する光源駆動電流発生器11aと、ガスを封入し且つ半導体レーザからのレーザ光を入射するガスセル5と、ガスセルからのレーザ光を受光する受光素子8とを有するガス濃度測定装置において、半導体レーザを駆動する時に受光素子からの信号に基づき低周波信号に高周波変調信号を重畳させるか否かを判断する判断回路12dと、高周波信号発生器に接続され、判断回路の出力結果に応じてオン／オフするスイッチSW1とを有する。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの温度と温度センサで検出される温度との実質的な差を解消し、高感度な赤外線センサおよびこれを用いたＮＤＩＲガス濃度計を提供する。
【解決手段】開口部51から入射する光のうち所定の波長の赤外線のみを下流側に透過する光学フィルタ2と、前記光学フィルタを透過した赤外線を光電変換して電気信号として出力する光電変換部32を有する赤外線センサ素子3とを備えた赤外線センサ1であって、前記赤外線センサは、前記赤外線センサ素子の温度を測定する温度センサを赤外線センサ素子と熱的に一体構成にして樹脂封止5している赤外線センサ。前記光電変換部から出力された電気信号に対して前記温度センサで得られた温度に基づいて補正する信号処理用ＩＣ4と、前記信号処理用ＩＣと接続された配線端子とをさらに備え、該信号処理用ＩＣは前記温度センサを有し、前記配線端子と赤外線センサ素子とを積層してバンプ配線により続する。 （もっと読む）

【課題】包装機に設けたレーザー式ガス濃度計により全数の包装容器について当該容器を損傷することなく内部の特定ガスの濃度を迅速に測定することができるガス濃度測定方法を提供すること。
【解決手段】特定波長のレーザー光を発信器によって特定ガスに照射する機能を有するレーザー発生部と、その発信器から発振され特定ガスを通過するレーザー光を受信器によって受光し、そのガスにより吸収されたレーザー光の強度を測定してその強度から当該ガスの濃度を出力させる機能を有するレーザー受光部とからなるレーザー式ガス濃度計Ｍを用い、包装容器内に被包装物を充填してガス置換を行なってから開口部の密封を施す包装機の製品排出経路に、発信器と受信器を所定間隔に配置したレーザー式ガス濃度計のガスパージ室を設け、そのガスパージ室内にパージガスを流した状態にて発信器と受信器の間を通過する包装容器内の特定ガスの濃度を測定する。 （もっと読む）

【課題】被験者の体温に影響されることなく被験者の放射する赤外線から血中のエチルアルコールを正確に検知して酒気帯びの判定精度を高める。
【解決手段】撮像制御部３８は、被験者１８の赤外線放射光からのエチルアルコールの吸収波長λ１を含む第１波長帯域の受光量Ｖｄ１、第１波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ２を含む第２波長帯域の受光量Ｖｄ２、第１波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ３を含む第３波長帯域の受光量Ｖｄ３の各々を検知し、エチルアルコール検出部４０は受光量Ｖｄ１、Ｖｄ２の差分ΔＶｄとしてエチルアルコール含有度を算出し、温度検知部４２は受光量Ｖｄ２、Ｖｄ３から被験者の温度を算出し、判定部はエチルアルコール含有度を検知温度により温度補正して酒気帯び状態であるか否かを判定する。 （もっと読む）