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Fターム[2G059NN04]の内容

Fターム[2G059NN04]に分類される特許

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【課題】圧力センサ等の気圧測定装置を追加装備することなく、測定環境に応じた正確なガス測定値を得る。
【解決手段】測定部12は、被測定ガスの所定パラメータについて測定値を得る。標高取得部14は、設置場所の標高を示す標高情報を取得する。気圧算出部15は、前記標高情報に基づいて前記設置場所における気圧を算出する。補正部13は、前記気圧の算出値に基づいて前記測定値を補正する。 (もっと読む)


【課題】天然ガスの水分を検出するように構成された、光スペクトル法による水分分析器を提供する。
【解決手段】水分分析器10は、天然ガスを封入し、案内する吸収セル20を含む。水分分析器はまた、吸収セル内の天然ガスの圧力を減少させることができる圧力制御装置38を含む。水分分析器は、吸収セル内の天然ガスを通って光を透過することができる発光装置12、ならびに天然ガスを通って透過され、吸収セルを出る光の強度を検出することができる光検出器26を備える。 (もっと読む)


【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素(SiF4)を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から100〜180℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に5〜50℃に冷却し、しかる後、急速に5〜50℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 (もっと読む)


【課題】測定領域の上流側に位置する装置において所定の時刻に発生し、測定領域を流通する目的ガスの濃度等の時間変化を測定する際に、測定領域やその近傍の吸着ガスによる影響を排除し、目的ガスの濃度等の時間変化をリアルタイムで決定する。
【解決手段】予め測定領域13の下流側で吸引しつつ測定領域13の上流側で所定時刻に発生する目的ガスの濃度等を、測定領域13に所定波長の光を入射し、測定領域13を通過した光を検出することにより測定する装置において、目的ガスの発生前に参照範囲設定部23が使用者に設定させた参照範囲内の時系列データに基づいて、ベースライン演算部24がベースラインを作成する。 (もっと読む)


【課題】被測定ガスの圧力が比較的大きく変化する状況の下でも目的成分の濃度を高い精度で測定することのできるレーザ吸光方式のガス分析装置を提供する。
【解決手段】発光波長が可変であるレーザ光源10と、レーザ光源10の発光波長が予め定められた一定の周期で走査されるようにレーザ光源10へ供給する駆動電流を変化させる駆動電流制御手段72、80、90と、被測定ガスが導入される測定セル20と、レーザ光源10から出射され測定セル20を通過した後のレーザ光を検出する光検出部30とを具備し、光検出部30により得られる検出信号に基づいて被測定ガス中の目的成分の濃度を求めるガス分析装置において、駆動電流制御手段72、80、90によって、前記検出信号上に現れる目的成分由来の吸収ピークの時間幅が、予め定められた目標値に近づくようにレーザ光源10へ供給する駆動電流を制御する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ガス圧力の変化およびに気圧変化に対して不変の、あるいは、少なくとも影響が少ない微量ガス濃度測定を可能にする方法に関するものである。
【解決手段】この方法は、圧力センサおよび圧力のキャリブレーションを必要としない。さらに、この方法は、背景ガス中に存在する他のガス種、あるいは、対象ガスに相互干渉する背景ガス自体にも適用可能である。これにより、他のガス種および/または背景ガスの相互干渉パラメータの圧力依存性を除去することができる。ガス濃度を正確に測定する新規の方法は、レーザーの波長変調振幅を圧力依存性が最小になるように最適化することに基づいている。 (もっと読む)


【課題】既存の光プローブを用いて測定対象への光プローブの押付力を確認することができる光断層画像化装置、及び、その光プローブ押付力推定方法を提供する。
【解決手段】接触領域検出部484は、干渉信号から測定対象Sに対して光プローブ500が接触している領域を検出する。押付力推定部490は、接触領域検出部484で検出された接触領域の情報に基づいて、接触範囲の大きさを求める。そして、求めた接触範囲の大きさが、あらかじめ設定された適正範囲内か否かを判定して、測定対象Sに対する光プローブ500の押付力の適否を推定する。 (もっと読む)


【課題】 フッ素系有機溶媒などの溶媒が流れる流路同士を液密に接続するために有用なシール材、および前記シール材を備えたフローセルを提供すること。
【解決手段】 材質が金からなる流路同士を液密に接続するためのシール材、および光軸に対して傾斜した斜板で仕切られた参照液と試料液を通過させるための二つの中空部を有し前記光軸に対して直交する方向に前記参照液または前記試料液を通過させるための流入口および流出口を設けた直方体のセルと、セルに設けた流入口および流出口と接続する配管と、セルに設けた流入口および流出口と配管とを液密に接続するための前記シール材と、を備えたフローセルにより、前記課題を解決した。 (もっと読む)


光音響ガス検出器及び光音響ガス検出法が開示される。検出器は、レーザ源、音響共振器及び、検出器の軸長に沿って配置された、少なくとも1つの音叉を備える。検出器は広い温度範囲にわたって1つ以上の測定対象ガスの濃度の高速測定を実施することができる。
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【課題】被測定ガスの圧力が急激に且つ大きく変化する状況下でも、コストを掛けずに特定ガス成分濃度を精度良く算出する。
【解決手段】LD波長走査用電圧発生部37によりレーザ光の波長を走査しつつ光検出部8で得られた検出信号に基づくデータを取得するに先立ち、圧力計12で計測した被測定ガスの圧力値を測定時圧力推定部282に取り込む。波長走査に伴うデータの取得の直後にも同様に、圧力計12による被測定ガスの圧力値を測定時圧力推定部282に取り込む。測定時圧力推定部282は定められた補正式を用いて、吸収ピークが現れる波長走査の中心波長ν0の信号取得時点での被測定ガスの圧力を推定し、推定圧力値を圧力補正データ記憶部283に与えて圧力に対応したプロファイル関数値φ(ν0)を取得する。濃度演算部281はこのプロファイル関数値を用いることで、圧力依存性が補正された正確なガス濃度を算出する。 (もっと読む)


【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】測定対象ガス1を流すガスセル5と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル内の圧力を検出する圧力検出手段4と、前記ガスセルの上流に配設された第一のポンプ3と、前記ガスセルの下流に配設された第二のポンプ9と、前記ガスセルの上流に配設された第一のバルブ2と、前記ガスセルの下流に配設された第二のバルブ8と、前記第二のバルブの気体吸入口と前記第二のポンプの下流とを接続するガスライン7と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段により検出された圧力に基づき、ガスセル内の圧力を制御する。 (もっと読む)


【課題】フローセルを備えた検出器を用いた測定において、室温変動に起因するノイズを低減した検出器を提供する。
【解決手段】本発明の液体クロマトグラフ用の検出器は、フローセル6の出口部分に圧力センサ9を備え、この圧力センサ9の信号を元にフローセル6の出力側の圧力を一定にするための熱交換部8を備えている。したがって、フローセル6の出力側の圧力を一定にすることができ、室温変動によって、廃液ライン内の液体の圧力が変化することに起因するノイズを低減することができる。 (もっと読む)


【課題】小型でかつ簡便なセンサ形状を有し、測定ガスの流量変化や温度変化などの外乱変化に対して安定して測定することができるようにした赤外線センサの製造方法及び赤外線センサを提供すること。
【解決手段】ウェハ10を切り離して複数のセンサ素子13を形成する第1のダイシング工程と、この第1のダイシング工程により切り離されたセンサ素子13をリードフレーム14に搭載し、ワイヤ16とともに樹脂によりモールドされたセンサ素子13とリードフレーム14を個片化する第2のダイシング工程と、第1のダイシング工程の前段において、ンサ素子13の受光面13aに光学フィルタ12を形成するフィルタリング工程とを有し、センサ素子13の受光面13aに光学フィルタ12を直接一体的に形成する。 (もっと読む)


ガスの濃度、特にガスの成分の乾燥モル分率を測定するためのガス分析器システムおよび方法。前記システムおよび方法により、高速フラックス測定を含む多くの環境モニタリング用途のための、ガス密度および/またはガスの乾燥モル分率の迅速な測定を可能となる。新規の連結設計により、流路を内包するセルの工具不要の取り外しが可能となり、現場における光学要素の清掃が可能である。

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【課題】波長変調スペクトロスコピー装置を較正する方法を提供すること。
【解決手段】サンプル気体内の検体濃度を計測するように構成された波長変調スペクトロスコピー装置を較正する幾つかの方法を開示する。本方法の各々は、それに関する検体濃度の決定を可能とさせるサンプル気体が危険な気体であるか否かによらず比較的安全な気体を用いた較正及び再較正を可能にしている。本発明の一実施形態では、そのサンプル気体に関する第1の傾斜係数及び較正関数を決定すること(この後で、同じまたは異なるサンプル気体に関する第1の傾斜係数及び第2の傾斜係数に基づいて換算係数を決定し、後続の較正(または、再較正)においてこれを使用し較正関数をスケール換算することが可能である)によってサンプル気体特異的な較正を実現している。本発明の別の実施形態では、可変の気体組成及び一定の気体組成における検体濃度の決定を可能とさせるようにサンプル気体に非特異的な較正を実現している。 (もっと読む)


【課題】低濃度でも正確に温度および圧力補正を行うことができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】受光器12で受光した光強度から、μcom5において、光強度信号比(Iabs/Iref)を算出して、測定対象の気体分子の温度に依存する吸収断面積σ(T)を算出し、そして、温度補正した濃度Cx(T)を算出してから濃度Cx(T)を補正して圧力補正後の濃度Cx,calibを算出する。 (もっと読む)


【課題】 ブライス型示差屈折率計において、アパーチャの幅を必要以上に狭めることなく、かつフローセルの断面積を必要以上に大きくしない条件で、幅広い屈折率の溶媒に対応可能な示差屈折率計を提供すること。
【解決の手段】 ブライス型示差屈折率計のうち、アパーチャ及び/またはフローセルを、溶媒の屈折率に応じて、フローセルの高さ方向に平行な軸を中心に回転させることで、前記課題を解決することができた。 (もっと読む)


【課題】気体サンプル室内の圧力を一定に保つことができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】濃度測定装置1の二酸化炭素モジュール2内の圧力を絶対圧センサ43で測定し、その測定結果と予め設定した基準圧力設定値とを減算して、基準圧力設定値よりも二酸化炭素モジュール2内の圧力が低い場合は、ポンプ45のモータの回転数を高めて二酸化炭素モジュール2内に供給する雰囲気の流速を上げ、基準圧力設定値よりも二酸化炭素モジュール2内の圧力が高い場合は、ポンプ45のモータの回転数を低くして二酸化炭素モジュール2内に供給する雰囲気の流速を下げている。 (もっと読む)


【課題】 ブライス型示差屈折率計において、ポンプの脈動による圧力変動や温度変動により溶媒の屈折率が変化した場合にも位置検出光センサへの照射位置のシフトの影響を受けず、かつ不感帯も生じない示差屈折率計を提供すること。
【解決の手段】 ブライス型示差屈折率計のうち、位置検出光センサを分割されていない位置検出素子とし、フローセルを通過した透過光の偏向を前記位置検出素子で検出することで前記課題を解決することができた。 (もっと読む)


複数成分流れにおける粒子監視、特にインライン粒子監視及び対象物の選択操作のためのシステム及び方法が開示される。例示のシステムは、不透明な流体キャリア中の粒子などの成分を監視するための検出システムを含むことができる。例示のシステムは、少なくとも第1の波長範囲の光波に不透明な流動性試料を閉じ込めることと、流動性試料を第1の方向に圧縮し、同時に試料を流動性試料の流れの方向と平行かつ第1の方向に垂直な第2の方向に制限し、同時に試料を第1及び第2の方向に垂直な第3の方向に伸長することを含む。試料が第1の方向に圧縮された時、試料は、第1の波長範囲内の少なくとも1つの波長に透明になり、粒子検出のための光学的手段が使用可能になる。システムはまた、検出成分を流体キャリア中の他の成分から操作するための弁又はアクチュエータなどの装置を含むことができる。制御装置又は他の処理装置が、検出成分のデータを受け取って処理し、関心のある成分を残りの流動性試料と区別することができる。成分が認識されると、制御装置は、流れ操作装置を検出システムと同期させて、流体キャリアから検出成分を操作する。
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