【課題】酸素濃度が異なる場合にも対応して窒素濃度の値を求めることができるシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法および抵抗のシフト量を算出する方法を提供する。
【解決手段】窒素をドープしたシリコン単結晶中の窒素濃度を算出する方法であって、前記窒素ドープシリコン単結晶における、酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率と窒素酸素ドナーを消去する熱処理後の抵抗率との差から求められるキャリア濃度差分Δ［ｎ］と、酸素濃度［Ｏｉ］と、窒素濃度［Ｎ］との相関関係を予め求めておき、該相関関係に基づいて、前記キャリア濃度差分Δ［ｎ］と前記酸素濃度［Ｏｉ］とから、窒素ドープシリコン単結晶中の未知の窒素濃度［Ｎ］を算出して求めるシリコン単結晶中窒素濃度算出方法。 （もっと読む）

【解決手段】 土壌特性測定装置１は、車両フレーム６における移動方向前方側に設けられた左右一対の掘削体１２，１２と、各掘削体１２，１２の底面に取り付けられた切断手段３２とを備えている。
掘削体１２、１２を下降させて茶園の畝間４の土中に挿入した状態で前進させることにより土壌を掘削することができる。その際には畝間４の土中に張った茶樹２の根が上記切断手段３２の切断部材３１によって切断される。
【効果】 茶樹２の根が切断されることにより、その後の茶樹２の成長を活性化して収量を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】 流体のモル浸透圧濃度を測定するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】 本発明の流体のモル浸透圧濃度を測定するためのシステム200は、実質的に平面の層225と、前記層の上に配置された受け入れ部分235と、前記層の下に配置された少なくとも一つの棚230と、前記受け入れ部分の周辺部の内部にあり、前記層を通って延在するホール240と、を有するホルダ205と、スルー・ホール260と、前記受け入れ部分の内部形状に実質的に一致する外部形状とを有するガイド210と、を含み、前記ガイドが前記受け入れ部分の中に受け入れられると、前記ホールと前記スルー・ホールは互いに位置合わせされ、さらに前記ホールと前記スルー・ホールは試験部位と位置合わせされるように配置され、前記少なくとも一つの棚に隣接して配置された電極270をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】広範囲の化学物質の種類及び濃度を高精度且つ容易に判別する。
【解決手段】化学物質判別回路１は、化学物質を含む電極部５を有する非線形発振回路２とファンクションジェネレータ３をスイッチＳＷを介して接続されて構成されている。化学物質判別回路１の制御回路２０は、スイッチＳＷがＯＦＦしているときに非線形発振回路２から出力された電圧の固有振幅及び固有周波数を取得し、スイッチＳＷがＯＮし、ファンクションジェネレータ３から非線形発振回路２へ正弦波が印加されて非線形発振回路２に同調が生じている状態において非線形発振回路２から出力された電圧の同調振幅及び同調周波数と、同調が生じている状態におけるファンクションジェネレータ３からの入力振幅及び入力周波数とを取得し、取得された固有振幅、固有周波数、同調振幅、同調周波数、入力振幅及び入力周波数に基づいて、化学物質の種類及び濃度を判別する。 （もっと読む）

【課題】特定のガスを検知する機能を備えた無線タグを提供する。
【解決手段】二つのアンテナ６１−１、６１−２と、アンテナ６１−１、６１−２から識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する送信回路６２と、アンテナ６１−１、６１−２と送信回路６２を一括収容した樹脂製のタグ体６３と、タグ体６３から露出した第１感応部６８−１と、第１感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２と、を備え、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２の電気抵抗率が変化することにより、アンテナ６１−１、６１−２から送信される信号が変化するように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、素子カバーの目詰まりやヒータによるセンサ素子の過剰加熱といったＰＭセンサの故障を、より好適に検出することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るＰＭセンサの故障検出装置は、ＰＭセンサのセンサ素子の表面温度を検出する素子温度検出手段を備えており、センサ素子の周囲を排気が通過することで低下するセンサ素子の表面温度の単位時間当たりの低下量を該素子温度検出手段の検出値に基づいて算出する。そして、ヒータによってセンサ素子を加熱した時の、ＰＭセンサの周囲を通過する排気の流量に対するセンサ素子の表面温度の単位時間当たりの低下量の割合に基づいて、ＰＭセンサの故障を検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、シリコン単結晶ウェーハの評価方法において、５ｎｍ以上の比較的厚い酸化珪素膜をシリコン単結晶ウェーハの表面に容易に形成することができ、かつ安定してＣ−Ｖ特性を測定することのできるシリコン単結晶ウェーハの評価方法を提供する。
【解決手段】 シリコン単結晶ウェーハの表面に酸化珪素膜を堆積させ、該酸化珪素膜上に水銀電極を接合してＣ−Ｖ特性を測定することを特徴とするシリコン単結晶ウェーハの評価方法。 （もっと読む）

【課題】 誘電性ポリマーの表面温度だけでなく、内部の温度をリアルタイムに特定することができるようにする。
【解決手段】 キャパシタンス計測部６により計測されたＮ個の電極２_１〜２_Ｎ間のキャパシタンスから、誘電性ポリマーにおける複数の位置の比誘電率ε_ｒ（ｆ，Ｔ）を特定する誘電率又は比誘電率分布特定部７を設け、温度分布特定部８が、温度−誘電率又は比誘電率マップ記憶部４により記憶されている温度−誘電率又は比誘電率マップを参照して、誘電率又は比誘電率分布特定部７により特定された複数の位置の比誘電率ε_ｒ（ｆ，Ｔ）の各々に対応する温度Ｔを特定することで、誘電性ポリマーの温度分布を求める。 （もっと読む）

【課題】測定感度の高い粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の粒子状物質検出装置１００は、板状の素子基材１１、素子基材１１に配設された一対の計測電極１２ａ，１２ｂを備え、それぞれの計測電極１２ａ，１２ｂは、平面的に配列された複数の櫛歯部１３と、各計測電極１２ａ，１２ｂの複数の櫛歯部１３をその一端で連結する櫛骨部１４とを有する櫛歯状の電極であり、それぞれの計測電極１２ａ，１２ｂの櫛歯部１３が、隙間を空けて相互にかみ合わされるように配置されてなり、且つ、少なくとも一方の計測電極１２の櫛骨部１４は、誘電体からなる櫛骨被覆部１５によって被覆されている。この粒子状物質検出装置１００は、一対の計測電極１２ａ，１２ｂ及びその周囲に粒子状物質を付着させ、一対の計測電極１２ａ，１２ｂ間の電気的特性の変化を測定することにより粒子状物質の検出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】測定感度及び測定精度の高い粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の粒子状物質検出装置１００は、板状の素子基材１１、素子基材１１に配設された一対の計測電極１２を備え、それぞれの計測電極１２は、平面的に配列された複数の櫛歯部１３と、各計測電極１２の複数の櫛歯部１３をその一端で連結する櫛骨部１４とを有する櫛歯状の電極であり、それぞれの計測電極１２の櫛歯部１３が、隙間を空けて相互にかみ合わされるように配置されてなり、且つ、少なくとも一方の計測電極１２の櫛骨部１４は、誘電体からなる櫛骨被覆部１５によって被覆されている。この粒子状物質検出装置１００は、一対の計測電極１２及びその周囲に粒子状物質を付着させ、一対の計測電極１２ａ間の電気的特性の変化を測定することにより粒子状物質の検出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】ＰＭセンサの異常を好適に検出することができるセンサ制御装置を提供する。
【解決手段】ＰＭセンサ１７は、排気中に含まれるＰＭ（導電性粒子状物質）を付着させる被付着部と、被付着部に互いに離間して設けられる一対の対向電極とを有し、一対の対向電極間の抵抗値に応じた検出信号を出力する。マイコン４４は、ＰＭセンサ１７によるセンサ検出値に基づいてＰＭ堆積量を算出する。ＰＭセンサ１７には、被付着部に付着したＰＭを燃焼除去させるべく被付着部を加熱するヒータ部３５が設けられている。マイコン４４は、ヒータ部３５による加熱期間にセンサ検出値を取得し、該取得したセンサ検出値に基づいて、ＰＭセンサ１７の異常診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】粒子状物質検出センサの検出誤差を解消して粒子状物質の量を精度良く求めることができるセンサ制御装置を提供する。
【解決手段】ＰＭセンサ１７は、ガス中に含まれるＰＭ（導電性粒子状物質）を付着させる被付着部と、被付着部に互いに離間して設けられる一対の対向電極とを有し、一対の対向電極間の抵抗値に応じた検出信号を出力する。ＰＭセンサ１７には、被付着部に付着したＰＭを燃焼除去させるべく被付着部を加熱するヒータ部３５が設けられている。マイコン４４は、ヒータ部３５の加熱によるＰＭの燃焼除去直後にセンサ検出値を取得し、該取得したセンサ検出値に基づいて被付着部からＰＭを除去した状態でのセンサ検出値である第１センサ基準値を算出してその第１センサ基準値を第１学習値として記憶し、その記憶した第１センサ基準値に基づいて、センサ検出値について補正を実施する。 （もっと読む）

【課題】粒子状物質検出センサの検出誤差を解消して粒子状物質の量を精度良く求めることができるセンサ制御装置を提供する。
【解決手段】ＰＭセンサ１７は、ガス中に含まれるＰＭ（導電性粒子状物質）を付着させる被付着部と、被付着部に互いに離間して設けられる一対の対向電極とを有し、一対の対向電極間の抵抗値に応じた検出信号を出力する。ＰＭセンサ１７には、被付着部に付着したＰＭを燃焼除去させるべく被付着部を加熱するヒータ部３５が設けられている。マイコン４４は、ヒータ部３５の加熱によるＰＭの燃焼中にセンサ検出値を取得し、該取得したセンサ検出値に基づいて一対の対向電極間の抵抗が減少変化した状態でのセンサ検出値であるセンサ基準値を算出してそのセンサ基準値を学習値として記憶し、その記憶したセンサ基準値に基づいて、センサ検出値について補正を実施する。 （もっと読む）

【課題】排気ガス中のＰＭ検出に用いられる電気抵抗式の粒子状物質検出センサにおいて、検出精度が低下するのを防止し、安定したセンサ出力を得る。
【解決手段】エンジンＥ／Ｇの排気管ＥＸに装着されるＰＭセンサ１のガスセンサ素子１０を、検出用電極１１、１２を有する検出部１００にヒータ部３００を積層して構成する。制御回路２は、始動時にヒータ部３００へ通電して検出部１００の温度を微粒子状物質ＰＭが燃焼可能な温度Ｔ１にて予め設定した時間Ｓ１保持する始動時燃焼制御を実施し、その後通常時制御を行い、微粒子状物質ＰＭの残留による誤検出を防止する。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価な構成でありながら、トンネル内壁面と型枠との間の空隙にコンクリートを打設する際において、コンクリートの充填状態を精度良く、かつ信頼性高く検知することができるコンクリート充填検知装置及びコンクリート充填装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るコンクリート充填検知装置は、型枠２０からコンクリート打設部側へ先端が突出して配設される筒状の中空部材１００（１２０）と、中空部材先端（１２０Ａ）側の外側に取り付けられるコンクリート充填センサ２００と、を含んで構成され、前記筒状の中空部材１００（１２０）の中空部分１２８を介して型枠２０の内側と外側とが連通されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＦＺ法により窒素を添加しながら育成したシリコン単結晶インゴットを切断して作製したシリコンウエーハ、特には高抵抗率シリコンウエーハであっても、高精度、高信頼性でＰＮ判定を行うことができ、かつＰＮ（導電型）のシリコンウエーハ面内分布を判定することのできるＰＮ判定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 フローティングゾーン法（ＦＺ法）により窒素を添加しながら育成したシリコン単結晶インゴットを切断して作製したシリコンウエーハのＰＮ判定方法において、該シリコンウエーハの抵抗率を測定し、その後該シリコンウエーハに対して熱処理工程を行い、その後さらに該シリコンウエーハの抵抗率を測定し、熱処理工程後抵抗率から熱処理工程前抵抗率を引いた抵抗率差が正の場合は該シリコンウエーハの該熱処理工程前のＰＮ（導電型）はＮ型、負の場合はＰ型と判定することを特徴とするシリコンウエーハのＰＮ判定方法。 （もっと読む）

【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれる導電性の微粒子の濃度を検出するガスセンサにおいて、広い検出範囲を有するガスセンサを提供する。
【解決手段】セラミックス基板３０の表面に形成した検出部１０、２０に捕集、堆積する導電性微粒子ＰＭの堆積量Ｑによって変化する抵抗値Ｒ_１０、Ｒ_２０を測定して被測定ガス中のＰＭの濃度を検出するガスセンサ１であって、検出範囲の異なる複数の検出部１０、２０を具備すると共に、これらの複数の検出範囲ＤＲ_１０、ＤＲ_２０の一部が互いに重なるように設定する。 （もっと読む）

【課題】微粒子センサの電極に堆積した微粒子の除去を短持間で完了させると共に、電極に結合した炭素を除去する。
【解決手段】センサ素子部の一対の電極である第１電極間に所定の電圧を印加して、その出力に応じて気体中の微粒子量を推定する微粒子検知用センサに、第１電極の少なくとも一方の電極に接する固体電解質と、この固体電解質の、第１電極が接する面とは反対側の面に接する第２電極とを設ける。更に、第１電極及び第２電極を加熱する加熱手段と、第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電圧印加手段とを配置する。微粒子量検出の際に、第１電極に基準量以上の微粒子が堆積した状態となった場合、センサ素子部の温度を基準温度以上となるように制御すると共に、第１電極と第１電極に対して固体電解質を挟んで配置された第２電極との間に、基準電圧を印加するように制御する。 （もっと読む）

【課題】粒子状物質の検出が正常に行われているか否かを判断し、且つ、装置の異常を良好に検査することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の粒子状物質検出装置は、内燃機関３０の排気系３１に設けられた電極部２１と、電極部２１の電気的特性を検出する検出手段２３と、を備え、電極部２１に粒子状物質３６が付着することによる電気的特性の変化に基づいて排ガス３２に含まれる粒子状物質３６を検出する粒子状物質検出装置１００であり、電極部２１に付着する粒子状物質３６を除去する除去手段２５と、装置の使用初期の状態における初期の電気的特性と、除去手段２５によって電極部２１の表面に付着した粒子状物質３６を除去した状態で測定される電気的特性とを比較して、粒子状物質検出装置１００の異常を判定する異常判定手段２６と、を更に備えた粒子状物質検出装置１００である。 （もっと読む）

【課題】正確にＰＭ量を検出することができるＰＭセンサを提供する。
【解決手段】燃焼による排気が流れる雰囲気中に設置された放射器２と、放射器２の初期の固有周波数と同じ周波数で発振して信号を発生する発振回路３と、発振回路３からの信号を放射器２に給電したときの定在波比を検出する定在波比検出回路４と、この定在波比から放射器２に付着したＰＭ量を推定する推定回路５とを備えた。 （もっと読む）