【課題】従来技術を発展させた半導体ガスセンサを提供すること。
【解決手段】第１の端子部分が、半導体本体（２０）の表面に設けられたパッシベーション層（３０）を貫通する第１の成形部分（１１２）を有し、該第１の成形部分（１１２）は、参照電位に接続された導電性層（１１５）を備えた底面を有し、該第１の端子部分と制御電極（１００）とは第１の接合材（１３０）を用いて電気的接続かつ摩擦接続的に結合されている。第２の端子部分と前記制御電極（１００）とは第２の接合材（１４０）を用いて少なくとも摩擦接続的に結合されており、前記第１の接合材（１３０）は前記成形部分を少なくとも部分的に充填し、前記制御電極（１００）と前記導電性層（１１５）とを接続する。 （もっと読む）

【課題】小型化および低コスト化を図るとともに、コンクリートの品質劣化を防止しつつ、測定対象物の状態を測定し、その測定結果に基づく情報を鉄筋の腐食前の計画的または予防的な保全に活用することができるセンサー装置およびセンサー装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー装置１は、不測定対象部位の環境変化に伴って表面に不動態膜を形成するか、または、表面に存在した不動態膜を消失させる第１の金属材料で構成された第１の電極３と、第１の電極３に対して離間して設けられ、第１の金属材料とは異なる第２の金属材料で構成された第２の電極４と、基板２１と、基板２１の一方の面側に設けられ、第１の電極３と第２の電極４との電位差を測定する機能を有する集積回路５０とを含む機能素子５とを備え、第１の電極３および第２の電極４は、それぞれ、集積回路５０上に設けられている。 （もっと読む）

【解決手段】化学センサは、第１のトランジスタと第２のトランジスタとを備える電子機器である。第１のトランジスタは、第１の半導体とカーボンナノチューブとから作られる半導体を備えている。第２のトランジスタは、第２の半導体から作られる半導体層を備えており、カーボンナノチューブは含んでいない。この２種類のトランジスタは、化学化合物への応答という点で異なっており、その応答の差を利用し、特定の化学化合物の属性を決定することができる。
【効果】この化学センサは、爆発性化合物、例えば、トリニトロトルエン（ＴＮＴ）の使い捨て可能なセンサとして有用であろう。この電子機器を分析器とともに使用し、分析器は、電子機器によって作られた情報を処理する。 （もっと読む）

【課題】 センサ感度を向上させることが可能なセンサ素子を提供する。
【解決手段】
本発明のセンサ素子は、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_{（１−ｘ１−ｙ１）}Ｉｎ_ｙ１Ｎ（０≦ｘ１≦１、０≦ｙ１≦１、ｘ１＋ｙ１≦１）からなり、上部３Ａに稜線部３Ａ’を有する半導体部３と、半導体部３上に稜線部３Ａ’を覆うように設けられた、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_{（１−ｘ２−ｙ２）}Ｉｎ_ｙ２Ｎ（０≦ｘ２≦１、０≦ｙ２≦１、ｘ２＋ｙ２≦１）からなり、かつｘ１≠ｘ２またはｙ１≠ｙ２となるように設定されている半導体層４と、上部３Ａ側から平面透視して半導体部３上に稜線部３Ａ’と重なるように設けられた、特定の物質が接触することによって該物質との間で電荷の移動が起こる検知電極５と、半導体層４上に検知電極５を間に挟むように一対で設けられた、間の半導体層４に流す電流における検知電極５への電荷の移動による変化を検出する検出電極６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガスの検出感度とガスの脱離を両立することができる有機電界効果トランジスタ式ガスセンサおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】有機半導体層を有する電界効果トランジスタ１と、電界効果トランジスタ１の温度を制御する温度制御機構２４とを備える有機電界効果トランジスタ式ガスセンサ３である。 （もっと読む）

【課題】ナノ物体を外部電気システムに接続する素子、及びその素子を作る方法を提供する。
【解決手段】特に分子の特性評価に適用される本発明によると、以下を備える素子が作られる：ナノ物体（２）に接続される上部接触パッド（８）を備えた上部層（１６）；外部電気システム（４）に接続される下部接触パッド（１２）を備えた下部層（１８）；前記下部層上にあり、前記下部パッドと接触する電気的貫通ビア（２２）を備えた接着層（２０）；前記接着層と前記上部層の間にあり、前記上部パッドを前記下部パッドに接続するための導電ライン（２５）及び電気的ビア（２６）を備えた少なくとも２つの層（２２、２４）。 （もっと読む）

【課題】化学感応性電界効果トランジスタが自己診断機能によって、該化学感応性電界効果トランジスタの少なくとも１つの動作の仕方を良好に識別できるようにすること。
【解決手段】前記課題は、化学感応性電界効果トランジスタのドレインコンタクトとソースコンタクトとの間に電圧（Ｕ_ＤＳ）を調整し、該ソースコンタクトとゲート電極との間に電圧（Ｕ_Ｇ）を調整するステップ（１０２）と、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を使用して化学感応性電界効果トランジスタの動作の仕方を監視するために、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を検出するステップ（１０４）とを有する方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】欠陥を制御されたナノチューブを含み、物理または化学量を検出するためのセンサの提供することにある。
【解決手段】典型的なナノチューブ・センサ１９は、信号処理回路２１と接続して使用され、この信号処理回路２１は、電力を供給し、そしてセンサからの信号を処理して、検出された量に比例した出力を生成する。ナノチューブは、シリコン酸化物などからなるベース・フィルム２３上に配置され、ナノチューブの各端に電極２５を含む。信号処理回路２１は、限定されるものではないがひずみ、圧力、湿度および光などの検出された量を示す出力信号２７を供給する。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めることである。
【解決手段】本発明は、とりわけガスセンサ用の化学的感受性電界効果トランジスタである電界効果トランジスタの製造方法に関する。使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めるために、本方法の枠内で、ゲート絶縁保護層（３）が形成され、このゲート絶縁保護層は、ゲート絶縁層（２）をさらなるプロセス化の際に環境の影響から保護し、ゲート電極層形成前に部分的にまたは完全に除去される。さらに本発明は、この種の電界効果トランジスタおよびその使用法に関する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ等を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサ１は、半導体基板３と、半導体基板３上に設けられた半導体領域５と、半導体領域５の上面に設けられたソース電極７及びドレイン電極９と、半導体基板３の裏面３ｂ上に設けられたバックゲート電極１１とを備え、半導体基板３と半導体領域５とはｐｎ接合Ｊを構成し、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅには、複数の孔部１５が形成されており、複数の孔部１５は、それぞれ、半導体領域５の上面５ｕから半導体基板３に向かって延びると共に、半導体基板３には至っておらず、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅ及び複数の孔部１５の側面１５ｓは、オープンゲート５ｇを構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低電力応用のために、室温または環境温度で動作する敏感で選択性のあるセンサが必要とされる。
【解決手段】気相または液相中の、化学的またはバイオ化学的な検体をセンシングするための、低電力センシングに関し、所定の検体をセンシングするために、デバイス中でのセンシング層４０としての、粒界の無い薄い連続した膜の使用に関する。使用において、センシング層は検体に露出した表面を有する。センシング層の電気的なインピーダンスは、センシング層の露出表面上の、所定の検体の吸収に応じて変化する。センシング層は、好適には約１ｎｍと約３０ｎｍの間の範囲、例えば約１ｎｍと約３０ｎｍの間の膜厚を有する。好適には、センシング層はアモルファス層である。 （もっと読む）

本発明は、ガス感応電極と対向電極ユニットより成るガス電極／対向電極系を有する電界効果に基づくガスセンサを用いて、ガス種混合物中の２種以上のガス種を検出する方法に関する。複数のガス種を検出することができるように、種々の周波数を有する交流電圧又は交流電流が印加され、それによって、ガス感応電極はガス種に感応するようになる。生じる交流電流又は生じる交流電圧は、その際、ガス電極／対向電極系で測定され、かつガス種の存在及び／又は濃度は、生じる交流電流又は生じる交流電圧から定められる。
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【課題】測定信号に及ぼす環境変量の影響が十分に補償された、二酸化炭素の検出を可能とするガスセンサを提供する。また、空気中の二酸化炭素濃度を表すガス測定値を発生させるための方法を提供する。
【解決手段】ガス測定値を出力するための少なくとも１つのガスセンサ、湿度測定値を出力するための少なくとも１つの湿度センサ、及び前記湿度測定値を用いて前記ガス測定値を補正するための機構を有する、空気の二酸化炭素含有量を検出するための装置であって、前記ガスセンサが、二酸化炭素に応答し且つ第１級アミノ基を有するガス感知材料を備えており、ここで、前記ガスセンサが、前記材料の仕事関数を評価することによってガス測定値を発生するように構成されている装置。 （もっと読む）

【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】酸素を含有する空気中で、低濃度の水素を検出可能な水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】板状の圧電体１１、圧電体１１の表面の一部に配置されたパラジウム―プラチナ合金からなる薄膜状のガス感応部３２、及びガス感応部３２に接するガスの水素濃度に依存するガス感応部３２の物性の変化を検出する検出部として機能する櫛歯状の電極２２を備える水素ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

本発明は、ガス混合気中のガス成分を検出するためのガスセンサのセンサ素子に関している。ここでは電界効果トランジスタ及び／又はダイオードが含まれており、検出すべきガスと接触した場合に電流通流に変化を生じ、さらに保護キャップによってガス混合気の直接の進入から保護されるように固定されている。さらに前記保護キャップ（１８）は、加熱手段（２４）と、ガラス形成剤（３４）及び／又は酸化触媒コンバータ（３２）を有している。
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【課題】絶縁体層への吸着分子の比較的弱い相互作用（物理吸着）と誘電性を検出する機能を利用することにより、脱離性や繰り返し性を向上させることと、検体ガスの種類とその濃度を同時的に検出する事を可能にする。
【解決手段】本発明は、金属層、絶縁体層、半導体層より構成されるMISキャパシタ構造、或いは該MISキャパシタ構造を含む電界効果トランジスタFETを利用する。絶縁体層は、多数の貫通型細孔を設けた電気的に不活性な材質製の基板に分子吸着性絶縁層を塗膜して形成する。絶縁体層の一方の側に半導体層を、かつ他方の側に金属層を形成すると共に、貫通型細孔を通して検出すべきガス或いは液体が通過できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】水の感度を低下させた、エタノール用ガスセンサ。
【解決手段】有機電界効果トランジスタ１００の構成は、導電性基板１０表面にゲート絶縁膜２０が形成されている。このゲート絶縁膜２０の表面２０ｓはフッ化オルガノシリル化処理されている。その上に有機半導体（有機材料）から成るチャネル形成層３０が形成されている（１．Ａ）。
有機電界効果トランジスタ２００の構成は、誘電体基板１１表面にゲート電極４１ｇが形成され、それを覆うようにゲート絶縁膜２１が形成されている。このゲート絶縁膜２１の表面２１ｓが、フッ化オルガノシリル化処理されている。ゲート絶縁膜２１の表面２１ｓには、ソース電極４１ｓとドレイン電極４１ｄが形成され、有機半導体から成るチャネル形成層３１が形成されている（１．Ｂ）。 （もっと読む）