【課題】鉄筋が施工された後、腐食が始まるまでの期間、測定対象物の状態変化を測定し、得られた情報をコンクリート構造物の計画的な保全に活用することができるセンサー装置を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー装置１は、隣接する空孔同士が連通した連続空孔を有する多孔質体で構成された第１の電極３と、第１の電極３に対して離間して設けられた第２の電極４と、第１の電極３と第２の電極４との電位差を測定する機能を有する機能素子５１とを有し、機能素子５１で測定された電子差に基づいて、測定対象部位の状態を測定し得るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ安価にターゲットを解析する。
【解決手段】凹部２は、深堀エッチングにより半導体基板１上に形成されている。センサ部５は、凹部２内に形成された電界効果デバイスであって、ゲート領域にセットされたターゲットの試薬に対する反応に応じて電気的特性を変化させる。ポンプ部６Ａ、６Ｂは、センサ部５に対する試薬を含む液体の供給及び排出の少なくとも一方を行うために凹部２内に形成されている。カバー部３は、凹部２を覆うように半導体基板１に張り合わされ、凹部２に対する液体の注入口と排出口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】低電力応用のために、室温または環境温度で動作する敏感で選択性のあるセンサが必要とされる。
【解決手段】気相または液相中の、化学的またはバイオ化学的な検体をセンシングするための、低電力センシングに関し、所定の検体をセンシングするために、デバイス中でのセンシング層４０としての、粒界の無い薄い連続した膜の使用に関する。使用において、センシング層は検体に露出した表面を有する。センシング層の電気的なインピーダンスは、センシング層の露出表面上の、所定の検体の吸収に応じて変化する。センシング層は、好適には約１ｎｍと約３０ｎｍの間の範囲、例えば約１ｎｍと約３０ｎｍの間の膜厚を有する。好適には、センシング層はアモルファス層である。 （もっと読む）

【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】酸素を含有する空気中で、低濃度の水素を検出可能な水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】板状の圧電体１１、圧電体１１の表面の一部に配置されたパラジウム―プラチナ合金からなる薄膜状のガス感応部３２、及びガス感応部３２に接するガスの水素濃度に依存するガス感応部３２の物性の変化を検出する検出部として機能する櫛歯状の電極２２を備える水素ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で自己診断機能を有するガスセンサを提供する。
【解決手段】２つの電界効果型トランジスタからなり、該２つの電界効果型トランジスタのゲート絶縁膜２４上にゲート電極を設け、該ゲート電極によりガスを検知するガスセンサ３０であって、一方の電界効果型トランジスタに設けられた第一ゲート電極５と、他方の電界効果型トランジスタに設けられた第二ゲート電極６と、前記第一ゲート電極５と前記第二ゲート電極６との間を配線により接続して同電位あるいは一定電圧差の直流電圧あるいは交流電圧を印加する電圧印加手段と、を備え、前記第一ゲート電極５と前記第二ゲート電極６とは、それぞれ異なる金属からなるとともに、一方の電界効果型トランジスタと他方の電界効果型トランジスタの構造を同じにする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）を有し、上記感受性の構成部材（３）上に熱的に残らず分解可能な材料からなるマスキング層（３１）を設け、上記感受性の構成部材（３）を上記マスキング層（３１）によりほぼ完全に覆い、上記マスキング層（３１）上に温度安定性の材料からなる保護層（３３）を設け、上記マスキング層（３１）を熱分解又は低温運転する酸素プラズマによって除去するセンサ素子（１）の製造方法に関する。本発明は、更に、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）及び温度安定性の材料からなる保護層（３３）を有し、上記感受性の構成部材（３）は上記温度安定性の材料からなる上記保護層（３３）により覆われていて、上記感受性の構成部材（３）及び上記保護層（３３）は互いに間隔を空けて配置されている、センサ素子に関する。
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【課題】性能が長期間安定して維持され、特性が安定して製造歩留りが高く、応答速度が大きいガスセンサを提供する。
【解決手段】 ｎ型ＳｉＣ基板１の表面から内部へと設けられたｐ型領域６と、ｐ型領域の表面に配置された触媒３と、触媒３の上に位置するｐ側電極１１と、ソース電極２１およびドレイン電極２２と、基板内でｐ型領域に接してソースとドレインとを繋ぐｎ型チャネルと、半導体基板のｎ型領域の裏面に位置するｎ側電極１２とを備え、触媒３を介在させて、ｎ側電極とｐ側電極との間に電圧を加えて、ｐｎ接合１５に逆バイアス電圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を可能にする、冒頭で述べた種類のガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ（１）は少なくとも１つの導電性のガス感知層（７）を有し、当該ガス感知層（７）は目標ガスと接触可能な表面領域（９）を有し、当該表面領域内での仕事関数は表面領域と接触している目標ガスの濃度に依存している。少なくとも１つの電気ポテンシャルセンサは、エアギャップ（８）を介して表面領域（９）に容量結合している。表面領域（９）は少なくとも１つの繰り抜き部によって構造化され、当該繰り抜き部内に、ガス感知層（７）と導電結合されている平坦な材料要素（１８）が配置され、当該材料要素の材料はガス感知層（７）の材料と異なり、且つ金属、および／または、金属を含有する化合物を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】プラチナ膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサにおいて、プラチナとゲート絶縁膜（酸化シリコン膜）との密着性を維持しつつ、高濃度の水素ガスにさらされても水素被毒を抑制できる特徴をもち、かつ、パラジウム膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサと同程度以上の水素応答強度を実現するデバイス構造を提供する。
【解決手段】ゲート構造において、プラチナ微結晶５間の結晶粒界６（粒界近傍領域７を含む）に酸素をドープした非晶質のチタン、プラチナ−チタン拡散層からなるＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を形成した構造とする。さらに、結晶粒界６にＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を有するプラチナ微結晶５の下に、酸素ドープチタン膜３(酸素をドープした非晶質のチタン、非晶質酸化チタン、または、酸化チタン微結晶が混じり合った膜)を形成した構造とする。 （もっと読む）

【課題】タンパク質、核酸、炭水化物、脂質およびステロイド等の検体を検知する。
【解決手段】ナノワイヤを含む電子デバイスが、その製造方法および用途とともに記載される。ナノワイヤはナノチューブおよびナノワイヤでよい。ナノワイヤの表面は選択的に官能基化されている。ナノ検出器デバイスが記載される。タンパク質、核酸、炭水化物、脂質およびステロイド等の検体によりゲート制御される電界効果トランジスタのアレイより構成されたナノセンサである。 （もっと読む）

化学的および生物学的な化学種を検出し、かつ放射線の変化を検出するソリッドステート電界効果トランジスタセンサが開示される。デバイスは、多孔性または構造化されたチャネルの区画を含むことにより、デバイス感度を向上させる。感知された生物学的、化学的または放射線の変化がチャネルのコンダクタンスの指数関数的な変化を引き起こすように、デバイスはフルデプレート型モードにおいて動作する。一実施形態において、チャネルの上に重なる誘電体層と、該誘電体層の上に重なる材料の層とをさらに備え、該材料の層は、放射性、化学的および生物学的な化学種から成るグループから検出される標的化学種と相互作用し、該材料の層は、連続的な層または離散的なアイランドのいずれかである。
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【課題】センサヘッドを構成する個々のＣＮＴ−ＦＥＴにばらつきが有っても、ばらつきのない測定値が得られるようにすること。
【解決手段】ＣＮＴ−ＦＥＴバイオセンサ装置１は、ソース−ドレイン間にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を形成したカーボンナノチューブ電界効果トランジスタ（ＣＮＴ−ＦＥＴ）でなるセンサヘッド２と、濃度が未知の蛋白質又はＤＮＡを測定して得られた上記センサヘッド２の出力値から上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する演算部３とを備え、上記演算部３は、濃度の変化に対して同一出力しか得られない濃度の上記蛋白質又はＤＮＡを予め測定して得られた上記センサヘッド２の出力値を記憶する記憶部３０を備え、上記記憶部３０に記憶された出力値を用いて、上記センサヘッド２の出力値を校正して、上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する。 （もっと読む）

【課題】可能な限り簡単な構造のナノデバイスから多くの情報量を読み出すことが可能な、高機能、高感度の観測装置を提供する。
【解決手段】金属性カーボンナノチューブ１０１の両端に電極１０２、１０３が接続され、これと平行に接地電極１０４が形成される。電極１０２、１０３は、それぞれプローブ針１０６、１０７と接触し、同軸ケーブル１０８により高周波測定部１０５と接続している。高周波電源１０９が、特定範囲の周波数の信号を出力し、反射波・透過波検出回路１１０が、その反射波および透過波を測定する。制御部１１１は、高周波電源１０９からの信号の振幅と反射波・透過波検出回路１１０の検出結果からＳパラメータの周波数依存性を測定し、その結果に基づいて、吸着分子１１２を同定し、吸着分子１１２の量を検出する。 （もっと読む）

本発明は、半導体ボディ１２の表面上に形成されると共に、第１の端部において第１の導電接続領域１３に接続され、第２の端部において第２の導電接続領域１４に接続される、少なくとも１つのメサ型の半導体領域１１を構成している物質を検知する一方、検知されるべき物質３０からなる流体２０は、前記メサ型の半導体領域１１に沿って流れることができ、及び検知されるべき前記物質３０は、前記メサ型の半導体領域１１の電気特性に影響を及ぼしうる、半導体センサ装置１０に関し、メサ型の半導体領域１１は、その後長軸方向に見ると、第１の半導体材料からなる第１の半導体サブ領域１及び前記第１の半導体材料とは異なる第２の半導体材料からなる第２の半導体サブ領域２を有する。本発明によれば、前記第１の半導体材料は、IV族の元素材料からなり、前記第２の半導体材料は、III-V族化合物からなる。サブ領域１及び２の間の界面化学の違いにより、病気を知らせるたんぱく質が結合される抗体のような物質３０が、所望の第１の領域１にさらに選択的に取り付けられることができる。
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【課題】電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ）を用いたＦＥＴ型ガスセンサの加熱電力を最小化し、長寿命化を図る。
【解決手段】ＦＥＴのゲート絶縁膜上に成膜される感応電極３１に二つの端子１０、１１を設け、異なる電位を与えて電流を流す。加熱が必要な感応電極３１自体に電流を流すことで感応電極３１が発熱体となるので、最も効率よくＦＥＴ型ガスセンサを加熱できる。また、端子１０、１１は温度検出部の一部を構成し、加熱された感応電極３１の温度を測定する。 （もっと読む）

それぞれのバイオセンサセル（１０）が感知ゾーンを備えるバイオセンサセル（１０）及び複数のバイオセンサセル（１０）を備えるバイオセンサアレイ。第１の感知電極（２４）、第２の感知電極（２５）、及び感知電極（２４、２５）を隔てるギャップ（２７）が、感知ゾーン内に配列される。第１の感知電極（２４）は、ギャップ（２７）を使って第２の感知電極（２５）から電気的に絶縁される。捕捉分子（２８）は、感知ゾーン内に固定化され、電界効果トランジスタ（１６）は、ゲート電極（１９）、ソース電極（１７）、及びドレイン電極（１８）を有し、第１の感知電極（２４）は、電界効果トランジスタ（１６）のゲート電極（１９）に電気的に接続され、第２の感知電極（２５）は、ゲート電圧に電気的に接続可能である。本発明は、さらに、生体分子などの標的分子を検出する方法を実現する。 （もっと読む）

【課題】 電源を内蔵したセンサ装置において、低消費電力と広濃度範囲の計測を両立する。
【解決手段】低濃度域に感度をもつ低消費電力のFET方式センサと高濃度域に感度を有するヒータ加熱が必要なセンサとを組み合わせてセンサ装置とする。動作例を示せば、常時、ガス漏洩を検知する際は、低濃度域のセンサを動作させ、ヒータへの通電は遮断する。FET方式センサが第1の設定閾値を越える値を検出したところでヒータ加熱を開始する。ヒータが第2の閾値の温度を越えた場合、高濃度域センサの起動が完了したと判断し、それ以後は、第3の設定閾値以下の濃度はFET方式センサの出力値、閾値以上の場合は高濃度域センサの出力値をセンサ装置の出力とする。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物半導体と水素吸蔵性金属との接合を用いたガスセンサにおいて、周囲のガス雰囲気に影響されずに高感度で水素濃度を測定することができる水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体とＰｄ系金属等の水素吸蔵性金属との接合により形成されるセンサ素子を有する水素ガスセンサにおいて、前記水素吸蔵性金属表面が、その少なくとも一部において、シリカ膜等の、水素ガスを透過し、かつ、酸素ガスの拡散を抑制する機能を有する膜でコートされている。 （もっと読む）