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Fターム[2G060HA00]の内容

電気的手段による材料の調査、分析 (24,887) | センシング部に関する回路 (654)

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【課題】高温多湿な環境下においても長期に渡って安定して使用することができ、温度特性とともに初期容量差によるノイズを低減することのできる容量式湿度センサを提供する。
【解決手段】周囲の湿度変化に応じて容量値が変化する検出部と、当該検出部に対する基準容量部とを備える容量式湿度センサ100であって、検出部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第1感湿膜151を有する第1湿度センサ素子161を含み、基準容量部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第2感湿膜152を有し、第1湿度センサ素子161と直列接続され、第1湿度センサ素子161とは湿度変化に対する容量値変化の傾きが異なる第2湿度センサ素子162と、当該第2湿度センサ素子162と並列接続され、湿度変化に対して容量値が一定のコンデンサ170とを含むようにした。 (もっと読む)


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